專利名稱：Oled制備過程中的絲網(wǎng)型蒸發(fā)源及蒸發(fā)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種OLED制程中絲網(wǎng)型蒸發(fā)源及蒸發(fā)方法，屬于顯示、發(fā)光、光 電、電光轉(zhuǎn)換應(yīng)用領(lǐng)域，主要應(yīng)用于器件的制備，特別涉及一種用真空蒸鍍技術(shù)而制備 的大尺寸OLED制備過程中的絲網(wǎng)型蒸發(fā)源及蒸發(fā)方法。其優(yōu)勢是相對于傳統(tǒng)的方法掩 膜版在制程中不易發(fā)生形變，從而提高器件的生產(chǎn)良率。
背景技術(shù)：
有機電致發(fā)光技術(shù)，由于材料廣泛，發(fā)光效率高，制成的器件輕薄、省電低功 耗、自發(fā)光、響應(yīng)速度快等特點，而得到長足進步和廣泛應(yīng)用。但是，因為目前在材料 方面主要選用的是小分子材料，對應(yīng)的是真空蒸鍍技術(shù)，傳統(tǒng)的技術(shù)中所采用的布局是 從上至下依次為基板、掩膜版、蒸發(fā)源(含材料、坩堝、加熱源)。小尺寸器件基本已 過關(guān)，如索尼的11英寸OLED彩色電視機已經(jīng)量產(chǎn)，但成本較高，使得售價高達2500美 金。影響產(chǎn)品良率的因素有很多，但較關(guān)鍵的是掩膜版技術(shù)，傳統(tǒng)方法中，掩膜版置于 基板下方，使用過程中由于重力極易發(fā)生形變，產(chǎn)生誤差，使其良率下降。當(dāng)然目前也有激光轉(zhuǎn)印技術(shù)，可實現(xiàn)大尺寸基板制備，但尚不成熟，尤其是中 間轉(zhuǎn)印體的制備技術(shù)難度大成本高。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點，提供了一種克服或減少掩膜版形 變，提高大尺寸顯示器基板的良率的OLED制備過程中的絲網(wǎng)型蒸發(fā)源及蒸發(fā)方法。為達到上述目的，本發(fā)明的絲網(wǎng)型蒸發(fā)源包括真空室以及置于真空室內(nèi)自上而 下依次設(shè)置的熱源、金屬絲網(wǎng)坩堝、掩膜版和基板，有機或金屬材料置于金屬絲網(wǎng)坩堝 中或其上，掩膜版緊貼在基板上。本發(fā)明的金屬絲網(wǎng)坩堝根據(jù)不同有機或金屬材料的顆粒性狀而采用不同目數(shù)和 形狀的金屬絲網(wǎng)坩堝。發(fā)明的絲網(wǎng)型蒸發(fā)方法為熱源對金屬絲網(wǎng)坩堝中的有機或金屬材料加熱，產(chǎn) 生向下的蒸發(fā)過程，經(jīng)掩膜版在基板上形成所需圖形。本發(fā)明與傳統(tǒng)方式相比，特別是在大尺寸有機器件(如OLED彩色電視)制備過 程中，由于掩膜版緊貼基板且置于基板之上，不易產(chǎn)生形變，可有效提高產(chǎn)品良率。本 發(fā)明與激光轉(zhuǎn)印技術(shù)相比成本較低，且現(xiàn)有真空技術(shù)完全可以實現(xiàn)。


圖1是本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本發(fā)明金屬絲網(wǎng)坩堝的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步詳細(xì)說明。參見圖1，2，本發(fā)明包括真空室以及置于真空室內(nèi)自上而下依次設(shè)置的熱源 1、金屬絲網(wǎng)坩堝3、掩膜版4和基板5，有機或金屬材料2置于金屬絲網(wǎng)坩堝3中或其 上，掩膜版4緊貼在基板5上。所述的金屬絲網(wǎng)坩堝3根據(jù)不同有機或金屬材料的顆粒性 狀而采用不同目數(shù)和形狀的金屬絲網(wǎng)坩堝，金屬絲網(wǎng)坩堝其絲網(wǎng)目數(shù)應(yīng)在200目以上， 對金屬塊料則應(yīng)考慮在蒸發(fā)過程中的浸潤性而適當(dāng)選擇。本發(fā)明的蒸發(fā)過程如下熱源1對金屬絲網(wǎng)坩堝3中的有機或金屬材料2加熱， 產(chǎn)生向下的蒸發(fā)過程，經(jīng)掩膜版4在基板5上形成所需圖形。本發(fā)明以金屬絲網(wǎng)坩堝為關(guān)鍵部件，重新排布蒸鍍機構(gòu)，布局為由上至下依次 為加熱源、絲網(wǎng)坩堝、掩膜版和基板。熱源加熱金屬絲網(wǎng)坩堝，使其中有機或金屬材料 向下蒸發(fā)，經(jīng)掩膜版沉積在基板上，形成相應(yīng)圖形。由于電致發(fā)光有機材料是粉末狀， 顆粒之間摩擦力較大可以停留在金屬絲網(wǎng)坩堝上(或用易揮發(fā)有機溶劑將有機材料攪拌 成塊狀)，金屬材料一般都是塊狀，自然可以用金屬絲網(wǎng)坩堝承載。制備器件時，當(dāng)真空 度在10-4Pa左右可打開蒸發(fā)源，使待鍍材料從上向下蒸發(fā)，遇冷沉積在基板上成膜。由 于用基板承托掩膜版，重力只能使掩膜版更加貼緊基板而不會發(fā)生形變，這樣使得對位 準(zhǔn)確提高產(chǎn)品良率。本發(fā)明尤其是在大尺寸顯示器制備中優(yōu)勢明顯。本發(fā)明在蒸發(fā)裝置 布局方面有創(chuàng)新，除對絲網(wǎng)坩堝要求較高，其他方面現(xiàn)有真空技術(shù)均能實現(xiàn)，可大幅降 低生產(chǎn)成本，可使OLED彩色電視機早日量產(chǎn)。
權(quán)利要求
1.一種OLED制備過程中的絲網(wǎng)型蒸發(fā)源，其特征在于包括真空室以及置于真空 室內(nèi)自上而下依次設(shè)置的熱源(1)、金屬絲網(wǎng)坩堝(3)、掩膜版(4)和基板(5)，有機或金 屬材料(2)置于金屬絲網(wǎng)坩堝(3)中或其上，掩膜版(4)緊貼在基板(5)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的OLED制備過程中的絲網(wǎng)型蒸發(fā)源，其特征在于所述的 金屬絲網(wǎng)坩堝(3)根據(jù)不同有機或金屬材料的顆粒性狀而采用不同目數(shù)和形狀的金屬絲 網(wǎng)坩堝。
3.—種如權(quán)利要求1所述的OLED制備過程中的絲網(wǎng)型蒸發(fā)源的蒸發(fā)方法，其特征在 于熱源(1)對金屬絲網(wǎng)坩堝(3)中的有機或金屬材料(2)加熱，產(chǎn)生向下的蒸發(fā)過程， 經(jīng)掩膜版(4)在基板(5)上形成所需圖形。
全文摘要
OLED制備過程中的絲網(wǎng)型蒸發(fā)源及蒸發(fā)方法，包括真空室以及置于真空室內(nèi)自上而下依次設(shè)置的熱源、金屬絲網(wǎng)坩堝、掩膜版和基板，有機或金屬材料置于金屬絲網(wǎng)坩堝中或其上，掩膜版緊貼在基板上。熱源對金屬絲網(wǎng)坩堝中的有機或金屬材料加熱，產(chǎn)生向下的蒸發(fā)過程，經(jīng)掩膜版在基板上形成所需圖形。本發(fā)明與傳統(tǒng)方式相比，特別是在大尺寸有機器件(如OLED彩色電視)制備過程中，由于掩膜版緊貼基板且置于基板之上，不易產(chǎn)生形變，可有效提高產(chǎn)品良率。本技術(shù)與激光轉(zhuǎn)印技術(shù)相比成本較低，且現(xiàn)有真空技術(shù)完全可以實現(xiàn)。
文檔編號C23C14/24GK102021517SQ201010525440
公開日2011年4月20日 申請日期2010年10月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月29日
發(fā)明者牟強, 王秀峰 申請人:陜西科技大學(xué)