專利名稱：觀察窗擋板結(jié)構(gòu)及具有該擋板結(jié)構(gòu)的腔體觀察窗裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及真空腔機械領(lǐng)域，特別涉及一種觀察窗擋板結(jié)構(gòu)以及具有該觀察 窗擋板結(jié)構(gòu)的腔體觀察窗裝置。
背景技術(shù)：
真空或高真空蒸鍍過程中，需要對真空腔體內(nèi)部蒸鍍情況進行觀察，腔體外連接 有觀察窗，觀察窗一般為一玻璃塊。但由于腔體內(nèi)存在污染源，該污染然擴散到玻璃塊上會降低玻璃塊的能見度，影 響觀察效果。因此，急需一種觀察窗擋板結(jié)構(gòu)，使到當不需要觀察時把玻璃塊與腔體隔絕，從而 保持玻璃塊觀察時的清晰度。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種觀察窗擋板結(jié)構(gòu)，包括擋板旋轉(zhuǎn)機構(gòu)以及擋板，所 述擋板旋轉(zhuǎn)機構(gòu)還包括法蘭座、中心軸、內(nèi)磁體固定環(huán)、外磁體固定環(huán)以及具有一腔體的隔 套，所述隔套固接于所述法蘭座上，所述法蘭座開設(shè)有貫通自身的第一通孔，所述中心軸插 設(shè)于所述第一通孔中并且所述中心軸兩端伸出所述法蘭座，所述中心軸的兩端分別為磁體 承載端以及固接所述擋板的擋板承載端，所述磁體承載端容置于所述腔體內(nèi)，所述內(nèi)磁體 固定環(huán)固接于所述磁體承載端上，所述擋板固接于所述擋板承載端上，所述內(nèi)磁體固定環(huán) 上至少固接有兩個內(nèi)磁體，所述外磁體固定環(huán)旋轉(zhuǎn)的套設(shè)于所述隔套上，所述外磁體固定 環(huán)對應(yīng)所述內(nèi)磁體處固接若干個與所述內(nèi)磁體極性相反的外磁體。所述法蘭座包括法蘭基座以及與所述法蘭基座固接的凸筒，所述第一通孔貫穿所 述基座以及所述凸筒。所述隔套包括隔套基座以及與所述隔套基座固接的凸軸，所述腔體開設(shè)于所述隔
套基座內(nèi)。所述隔套螺釘固接于所述法蘭座上，所述法蘭座與所述隔套之間設(shè)有密封圈。所述磁體承載端外側(cè)開設(shè)有插槽，所述內(nèi)磁體固定環(huán)固套于所述插槽上。所述凸軸上固套有軸承，所述外磁體固定環(huán)固套于所述軸承上從而使所述外磁體 固定旋轉(zhuǎn)的套設(shè)于所述隔套上。本實用新型還提供一種腔體觀察窗裝置，包括具有通孔的法蘭組合、玻璃體、連接 管、以及觀察窗擋板結(jié)構(gòu)，所述玻璃體嵌設(shè)于所述法蘭組合的外端，所述法蘭組合的內(nèi)端與 所述連接管的一端固接，所述連接管的另一端與腔體接通，所述觀察窗擋板結(jié)構(gòu)固設(shè)于所 述法蘭組合上，所述觀察窗擋板結(jié)構(gòu)包括擋板旋轉(zhuǎn)機構(gòu)以及擋板，所述擋板旋轉(zhuǎn)機構(gòu)還包 括法蘭座、中心軸、內(nèi)磁體固定環(huán)、外磁體固定環(huán)以及具有一腔體的隔套，所述隔套固接于 所述法蘭座上，所述法蘭座開設(shè)有貫通自身的第一通孔，所述中心軸插設(shè)于所述通孔中并 且所述中心軸兩端伸出所述法蘭座，所述中心軸的兩端分別為磁體承載端以及固接所述擋板的擋板承載端，所述磁體承載端容置于所述腔體內(nèi)，所述內(nèi)磁體固定環(huán)固接于所述磁體 承載端上，所述擋板固接于所述擋板承載端上，所述內(nèi)磁體固定環(huán)上至少固接有兩個內(nèi)磁 體，所述外磁體固定環(huán)旋轉(zhuǎn)的套設(shè)于所述隔套上，所述外磁體固定環(huán)對應(yīng)所述內(nèi)磁體處固 接若干個與所述內(nèi)磁體極性相反的外磁體，所述通孔對應(yīng)所述玻璃體的內(nèi)側(cè)具有與所述擋 板形狀大小匹配的擋孔部分，所述擋板承載端伸進所述法蘭組合對應(yīng)所述擋孔部分與腔體 之間的通孔，所述擋板閉合時擋住所述擋孔部分。所述法蘭組合包括第一法蘭、第二法蘭以及第三法蘭，所述第二法蘭一端固接所 述第一法蘭，另一端與所述第三法蘭的一端固接，所述擋孔部分設(shè)于所述第二法蘭內(nèi)，所述 觀察窗擋板結(jié)構(gòu)固設(shè)于所述第二法蘭上，所述擋板承載端伸到所述第二法蘭對應(yīng)所述擋孔 部分與腔體之間的通孔。所述玻璃體嵌設(shè)于所述第一法蘭內(nèi)以擋住所述通孔，所述第一法蘭、第二法蘭對 應(yīng)所述玻璃體的邊緣的兩側(cè)分別延伸有第一凸緣、第二凸緣，所述第一凸緣與所述玻璃體 之間設(shè)有密封圈，所述第二凸緣與所述玻璃體之間設(shè)有密封圈以及中心環(huán)，所述密封圈設(shè) 于第一法蘭的內(nèi)壁以及所述中心環(huán)之間并抵頂所述第一法蘭的內(nèi)壁以及所述中心環(huán)。所述第二凸緣之間形成所述擋孔部分，所述中心軸的擋板承載端伸進第二法蘭對 應(yīng)所述第二凸緣與腔體之間的通孔。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型觀察窗擋板結(jié)構(gòu)的擋板設(shè)于觀察窗玻璃體與腔體之 間的通孔處，不需要觀察時，旋轉(zhuǎn)擋板擋住通孔，防止玻璃體被腔體內(nèi)的污染源污染而影響 觀察效果。通過以下的描述并結(jié)合附圖，本實用新型將變得更加清晰，這些附圖用于解釋本 實用新型的實施例。

圖1為本實用新型腔體觀察窗裝置與腔體連通的剖視示意圖。圖2為本實用新型腔體觀察窗裝置的剖視結(jié)構(gòu)圖。圖3為圖1中沿剖面線A-A的剖視圖。圖4為本實用新型觀察窗擋板結(jié)構(gòu)的剖視結(jié)構(gòu)圖。圖5為本實用新型觀察窗擋板結(jié)構(gòu)的擋板旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的剖視示意圖。圖6為圖5所示擋板旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的法蘭基座的剖視示意圖。圖7為圖5所示擋板旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的隔套的剖視示意圖。圖8為圖5所示擋板旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的外磁體固定環(huán)的剖視示意圖。圖9為圖5所示擋板旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的內(nèi)磁體固定環(huán)的剖視示意圖。圖10為圖5所示擋板旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的中心軸的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
如圖1、圖2所示，該腔體觀察窗裝置100通過連接管40與腔體50連接，該腔體觀 察窗裝置100包括具有通孔的法蘭組合10、玻璃體20、以及觀察窗擋板結(jié)構(gòu)30，玻璃體20 嵌設(shè)于法蘭組合10的外端，法蘭組合10的內(nèi)端與連接管40的一端固接，連接管40的另一 端與腔體50連通，觀察窗擋板結(jié)構(gòu)30固設(shè)于法蘭組合10上。[0028]參考圖3至圖5，觀察窗擋板結(jié)構(gòu)30包括擋板旋轉(zhuǎn)機構(gòu)31以及擋板32。擋板旋 轉(zhuǎn)機構(gòu)31包括法蘭座311、中心軸312、內(nèi)磁體固定環(huán)313、內(nèi)磁體314、外磁體固定環(huán)315、 外磁體316以及隔套317。結(jié)合圖6，法蘭座311包括法蘭基座311a以及與法蘭基座一體成型的凸筒311b。 法蘭座311設(shè)有貫穿法蘭基座311a以及凸筒311b的第一通孔3111。法蘭基座設(shè)有墊圈容 置槽3112。結(jié)合圖7，隔套317包括隔套基座317a以及與隔套基座317a —體成型的凸軸 317b。隔套基座317a內(nèi)開設(shè)有腔體3171。隔套基座317a以及法蘭基座311a對應(yīng)開有螺孔 33，螺釘34旋合于螺孔33內(nèi)從而使隔套基座317a與法蘭基座311a固接。法蘭基座311a 與隔套基座317a之間設(shè)有密封圈318，密封圈318容置于墊圈容置槽3112中。結(jié)合圖5、圖7以及圖8，軸承319固套于凸軸317b上，外磁體固定環(huán)315固套于 軸承319上從而使外磁體固定環(huán)315旋轉(zhuǎn)的套設(shè)于隔套317上。具體地，外磁體固定環(huán)315 外端具有一卡孔3151，軸承319卡設(shè)于該卡孔3151內(nèi)；凸軸317b對應(yīng)軸承的外側(cè)套設(shè)有 軸用擋圈35，卡孔3151對應(yīng)軸承319的外側(cè)套設(shè)有孔用擋圈36，從而把軸承319固設(shè)于卡 孔3151內(nèi)。外磁體固定環(huán)315外側(cè)開設(shè)有若干個第一容置槽3152，外磁體316固設(shè)于第一 容置槽3152內(nèi)。結(jié)合圖4、圖9以及圖10，中心軸312的兩端分別為磁體承載端3121以及固接擋 板32的擋板承載端3122。中心軸312插設(shè)于法蘭座311的第一通孔3111中。中心軸312 的磁體承載端3121伸出法蘭基座311a并容置于腔體3171中；磁體承載端3121開設(shè)有插 槽3123，內(nèi)磁體固定環(huán)313固套于插槽3123上，本實施例中，內(nèi)磁體固定環(huán)313通過鍵聯(lián)接 固套于插槽3123上。內(nèi)磁體固定環(huán)313上對應(yīng)外磁體316處設(shè)有若干個第二容置槽3131。 第二容置槽3131內(nèi)固置有與外磁體316極性相反的內(nèi)磁體314。中心軸312的擋板承載端 3122伸出凸筒31b并與擋板32螺釘固接。參考圖2，法蘭組合10包括第一法蘭11、第二法蘭12以及第三法蘭13，第二法蘭 12—端固接第一法蘭11，另一端與第三法蘭13的一端固接。本實施例中，第一法蘭11、第 二法蘭12以及第三法蘭13通過螺釘14彼此固接。第二法蘭12具有與擋板32形狀大小 匹配的擋孔部分121，觀察窗擋板結(jié)構(gòu)30固設(shè)于第二法蘭12上，擋板承載端3121伸到擋孔 部分121的內(nèi)側(cè)。當擋板42閉合時擋住擋孔部分121。第一法蘭11、第二法蘭12對應(yīng)玻璃體20的邊緣的兩側(cè)分別延伸有第一凸緣112、 第二凸緣122，玻璃體20嵌設(shè)于第一凸緣112與第二凸緣122之間。第一凸緣112與玻璃 體20之間設(shè)有密封墊片15 ；第二凸緣122與玻璃體20之間設(shè)有密封圈16以及中心環(huán)17， 密封圈16設(shè)于第一法蘭11的內(nèi)壁以及中心環(huán)17之間并抵頂?shù)谝环ㄌm11的內(nèi)壁以及中心 環(huán)16。第二凸緣112之間空間形成擋孔部分121，中心軸32的擋板承載端伸進第二凸緣 112的內(nèi)側(cè)。擋板32的大小和形狀與擋孔部分121相配合，當擋板32閉合時擋住擋孔部分 121。本實施例中，擋板32以及擋孔部分121均為類扇形。旋轉(zhuǎn)外磁體固定環(huán)315，由于異性相吸引同性排斥，內(nèi)磁體314跟著旋轉(zhuǎn)，同時帶 動中心軸312進而帶動擋板32旋轉(zhuǎn)，根據(jù)觀察需要可實現(xiàn)擋板32的開啟與關(guān)閉。不需觀 察腔體50內(nèi)部情況時，關(guān)閉擋板32，防止玻璃體20被腔體50內(nèi)的污染源污染而影響觀察 效果。[0036]需要注意的是，若干個內(nèi)磁體314極性可交錯分布，如S-N-S-N等，也可全部均為S 或N ；若干個外磁體316也可交錯分布，如N-S-N-S，也可全部為N或S，與對應(yīng)的內(nèi)磁體314 極性相反；擋板旋轉(zhuǎn)機構(gòu)31可為本實施例的采用磁環(huán)傳動原理的擋板旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，還可為其 它形式的擋板旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，只要可使中心軸轉(zhuǎn)動即可；內(nèi)磁體固定環(huán)313可通過鍵聯(lián)接固套 于插槽3123上，也可通過其它固定方式固套于插槽3123上。以上結(jié)合最佳實施例對本實用新型進行了描述，但本實用新型并不局限于以上揭 示的實施例，而應(yīng)當涵蓋各種根據(jù)本實施例的本質(zhì)進行的修改、等效組合。
權(quán)利要求一種觀察窗擋板結(jié)構(gòu)，其特征在于包括擋板旋轉(zhuǎn)機構(gòu)以及擋板，所述擋板旋轉(zhuǎn)機構(gòu)還包括法蘭座、中心軸、內(nèi)磁體固定環(huán)、外磁體固定環(huán)以及具有一腔體的隔套，所述隔套固接于所述法蘭座上，所述法蘭座開設(shè)有貫通自身的第一通孔，所述中心軸插設(shè)于所述第一通孔中并且所述中心軸兩端伸出所述法蘭座，所述中心軸的兩端分別為磁體承載端以及固接所述擋板的擋板承載端，所述磁體承載端容置于所述腔體內(nèi)，所述內(nèi)磁體固定環(huán)固接于所述磁體承載端上，所述擋板固接于所述擋板承載端上，所述內(nèi)磁體固定環(huán)上至少固接有兩個內(nèi)磁體，所述外磁體固定環(huán)旋轉(zhuǎn)的套設(shè)于所述隔套上，所述外磁體固定環(huán)對應(yīng)所述內(nèi)磁體處固接若干個與所述內(nèi)磁體極性相反的外磁體。
2.如權(quán)利要求1所述的觀察窗擋板結(jié)構(gòu)，其特征在于所述法蘭座包括法蘭基座以及 與所述法蘭基座固接的凸筒，所述第一通孔貫穿所述基座以及所述凸筒。
3.如權(quán)利要求1所述的觀察窗擋板結(jié)構(gòu)，其特征在于所述隔套包括隔套基座以及與 所述隔套基座固接的凸軸，所述腔體開設(shè)于所述隔套基座內(nèi)。
4.如權(quán)利要求1所述的觀察窗擋板結(jié)構(gòu)，其特征在于所述隔套螺釘固接于所述法蘭 座上，所述法蘭座與所述隔套之間設(shè)有密封圈。
5.如權(quán)利要求1所述的觀察窗擋板結(jié)構(gòu)，其特征在于所述磁體承載端外側(cè)開設(shè)有插 槽，所述內(nèi)磁體固定環(huán)固套于所述插槽上。
6.如權(quán)利要求3所述的觀察窗擋板結(jié)構(gòu)，其特征在于所述凸軸上固套有軸承，所述外 磁體固定環(huán)固套于所述軸承上從而使所述外磁體固定旋轉(zhuǎn)的套設(shè)于所述隔套上。
7.一種腔體觀察窗裝置，包括具有通孔的法蘭組合、玻璃體、連接管、以及觀察窗擋板 結(jié)構(gòu)，所述玻璃體嵌設(shè)于所述法蘭組合的外端，所述法蘭組合的內(nèi)端與所述連接管的一端 固接，所述連接管的另一端與腔體接通，所述觀察窗擋板結(jié)構(gòu)固設(shè)于所述法蘭組合上，其特 征在于所述觀察窗擋板結(jié)構(gòu)包括擋板旋轉(zhuǎn)機構(gòu)以及擋板，所述擋板旋轉(zhuǎn)機構(gòu)還包括法蘭 座、中心軸、內(nèi)磁體固定環(huán)、外磁體固定環(huán)以及具有一腔體的隔套，所述隔套固接于所述法 蘭座上，所述法蘭座開設(shè)有貫通自身的第一通孔，所述中心軸插設(shè)于所述通孔中并且所述 中心軸兩端伸出所述法蘭座，所述中心軸的兩端分別為磁體承載端以及固接所述擋板的擋 板承載端，所述磁體承載端容置于所述腔體內(nèi)，所述內(nèi)磁體固定環(huán)固接于所述磁體承載端 上，所述擋板固接于所述擋板承載端上，所述內(nèi)磁體固定環(huán)上至少固接有兩個內(nèi)磁體，所述 外磁體固定環(huán)旋轉(zhuǎn)的套設(shè)于所述隔套上，所述外磁體固定環(huán)對應(yīng)所述內(nèi)磁體處固接若干個 與所述內(nèi)磁體極性相反的外磁體，所述通孔對應(yīng)所述玻璃體的內(nèi)側(cè)具有與所述擋板形狀大 小匹配的擋孔部分，所述擋板承載端伸進所述法蘭組合對應(yīng)所述擋孔部分與腔體之間的通 孔，所述擋板閉合時擋住所述擋孔部分。
8.如權(quán)利要求7所述的腔體觀察窗裝置，其特征在于所述法蘭座包括法蘭基座以及 與所述法蘭基座固接的凸筒，所述第一通孔貫穿所述基座以及所述凸筒。
9.如權(quán)利要求7所述的腔體觀察窗裝置，其特征在于所述隔套包括隔套基座以及與 所述隔套基座固接的凸軸，所述腔體開設(shè)于所述隔套基座內(nèi)。
10.如權(quán)利要求7所述的腔體觀察窗裝置，其特征在于所述隔套螺釘固接于所述法蘭 座上，所述法蘭座與所述隔套之間設(shè)有密封圈。
11.如權(quán)利要求7所述的腔體觀察窗裝置，其特征在于所述磁體承載端外側(cè)開設(shè)有插 槽，所述內(nèi)磁體固定環(huán)固套于所述插槽上。
12.如權(quán)利要求9所述的腔體觀察窗裝置，其特征在于所述凸軸上固套有軸承，所述 外磁體固定環(huán)固套于所述軸承上從而使所述外磁體固定旋轉(zhuǎn)的套設(shè)于所述隔套上。
13.如權(quán)利要求7所示的腔體觀察窗裝置，其特征在于所述法蘭組合包括第一法蘭、 第二法蘭以及第三法蘭，所述第二法蘭一端固接所述第一法蘭，另一端與所述第三法蘭的 一端固接，所述擋孔部分設(shè)于所述第二法蘭內(nèi)，所述觀察窗擋板結(jié)構(gòu)固設(shè)于所述第二法蘭 上，所述擋板承載端伸到所述第二法蘭對應(yīng)所述擋孔部分與腔體之間的通孔。
14.如權(quán)利要求7所示的腔體觀察窗裝置，其特征在于所述玻璃體嵌設(shè)于所述第一法 蘭內(nèi)以擋住所述通孔，所述第一法蘭、第二法蘭對應(yīng)所述玻璃體的邊緣的兩側(cè)分別延伸有 第一凸緣、第二凸緣，所述第一凸緣與所述玻璃體之間設(shè)有密封圈，所述第二凸緣與所述玻 璃體之間設(shè)有密封圈以及中心環(huán)，所述密封圈設(shè)于第一法蘭的內(nèi)壁以及所述中心環(huán)之間并 抵頂所述第一法蘭的內(nèi)壁以及所述中心環(huán)。
15.如權(quán)利要求7所示的腔體觀察窗裝置，其特征在于所述第二凸緣形成所述擋孔部 分，所述中心軸的擋板承載端伸進第二法蘭對應(yīng)所述第二凸緣與腔體之間的通孔。
專利摘要本實用新型公開了一種觀察窗擋板結(jié)構(gòu)，包括擋板旋轉(zhuǎn)機構(gòu)以及擋板，擋板旋轉(zhuǎn)機構(gòu)還包括法蘭座、中心軸、內(nèi)磁體固定環(huán)、外磁體固定環(huán)以及具有一腔體的隔套，隔套固接于法蘭座上，法蘭座開設(shè)有貫通自身的第一通孔，中心軸插設(shè)于第一通孔中并且中心軸兩端伸出法蘭座，中心軸的兩端分別為磁體承載端以及固接擋板的擋板承載端，磁體承載端容置于腔體內(nèi)，內(nèi)磁體固定環(huán)固接于磁體承載端上，擋板固接于擋板承載端上，內(nèi)磁體固定環(huán)上至少固接有兩個內(nèi)磁體，外磁體固定環(huán)旋轉(zhuǎn)的套設(shè)于隔套上，外磁體固定環(huán)對應(yīng)內(nèi)磁體處固接若干個與內(nèi)磁體極性相反的外磁體。該擋板設(shè)于觀察窗玻璃體與腔體之間，不需要觀察時，旋轉(zhuǎn)擋板擋住通孔，防止玻璃體被腔體內(nèi)的污染源污染。
文檔編號C23C14/24GK201626980SQ20102010883
公開日2010年11月10日 申請日期2010年1月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月29日
發(fā)明者劉惠森, 葉宗鋒, 楊明生, 王勇, 王曼媛, 范繼良, 郭遠倫 申請人:東莞宏威數(shù)碼機械有限公司