專利名稱:剖方機(jī)主軸的結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及一種主軸的結(jié)構(gòu),尤其是涉及一種剖方機(jī)主軸的結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù):
隨著半導(dǎo)體行業(yè)與太陽能技術(shù)的不斷提高,對硅片的加工要求也在提高。目前行 業(yè)內(nèi)廣泛采用線剖方機(jī)等機(jī)床對硅料進(jìn)行加工處理。目前的剖方機(jī)是將一根鋼線(切割 線)由放線輥引出,通過導(dǎo)線輪后到由四根相互垂直排列的主軸上安裝的切割輪,組成為 一個(gè)相互垂直鋼線(切割線)網(wǎng)的切割室,然后到收線輥??梢砸淮渭庸?5,36根單晶硅 棒或者多晶硅塊。為了保證切割質(zhì)量,所有的主軸和切割輪必需要保證轉(zhuǎn)動慣量一致,保證 切割線的張力穩(wěn)定。在加速和高速旋轉(zhuǎn)時(shí)必須保持扭轉(zhuǎn)力矩一致,才能保證切割線的張力 穩(wěn)定,不至于斷線。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是為了保證所有的主軸和切割輪的轉(zhuǎn)動慣量一致;在加速和高 速旋轉(zhuǎn)時(shí),保持扭轉(zhuǎn)力矩一致;保持通過切割輪的切割線的張力穩(wěn)定,借以提高剖方機(jī)的切
割質(zhì)量。本實(shí)用新型為了達(dá)到上述的目的,提供一種剖方機(jī)主軸的結(jié)構(gòu),它包括四根相互 垂直排列的尺寸、材料和重量相同的主軸,每根主軸上置放至少一個(gè)切割輪,所有主軸上的 切割輪的尺寸、材料、重量和角加速度都相同,并所有的主軸和切割輪都同步運(yùn)行。本實(shí)用新型的剖方機(jī)主軸的結(jié)構(gòu)效果顯著。如上述本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu),因?yàn)楸緦?shí)用新型所有的主軸的尺寸、材料和重量相同。 因此,保證了本實(shí)用新型所有主軸的質(zhì)量一致。如上述本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu),因?yàn)楸緦?shí)用新型所有置放在主軸上的切割輪的尺寸、 材料、重量和角加速度都相同。所以,保證了所有的切割輪的質(zhì)量、角加速度和尺寸一致。如上述本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu),因?yàn)樗兄鬏S的質(zhì)量一致,所有的切割輪的質(zhì)量、角加 速度和尺寸一致,也就保證了所有的主軸和切割輪的轉(zhuǎn)動慣量一致。又因?yàn)樗械闹鬏S和 切割輪都同步運(yùn)行,所以在加速和高速旋轉(zhuǎn)時(shí),能夠保持扭轉(zhuǎn)力矩一致。根據(jù)轉(zhuǎn)動慣量定 理M = J^其中M是扭轉(zhuǎn)力矩J是轉(zhuǎn)動慣量β是角加速度若剛體的質(zhì)量是連續(xù)分布的,則轉(zhuǎn)動慣量的計(jì)算公式可寫成J = Σ mr2 = / r2dm = / r2 σ dV其中dV表示dm的體積元,σ表示該處的密度,r表示該體積元到轉(zhuǎn)軸的距離。所以,本實(shí)用新型能夠保持通過切割輪的切割線的張力穩(wěn)定,提高了切割的精度,
3保證了剖方機(jī)的切割質(zhì)量。
圖1是本實(shí)用新型剖方機(jī)主軸結(jié)構(gòu)一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖進(jìn)一步說明本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)特征。如圖1所示,本實(shí)用新型剖方機(jī)主軸的結(jié)構(gòu)它包括四根相互垂直排列的尺寸、材 料和重量相同的主軸4。在實(shí)施例中,如圖1所示,包括四根相互垂直排列的主軸4。每根 主軸4都安裝在剖方機(jī)的機(jī)頭架1上。每根主軸4上置放至少一個(gè)切割輪3。在實(shí)施例中, 如圖1所示,每根主軸4上置放一組切割輪3,每一組里都包含6個(gè)切割輪3。切割線(鋼 線)5通過切割輪3至導(dǎo)線輪2上。如圖1所示,每根主軸4上置放的切割輪3的數(shù)量相互相同。如上述,在本實(shí)施例 中,相互垂直排列的四根主軸4上每根主軸4上都置放6個(gè)切割輪3。所有主軸4(在本實(shí)施例中,四根主軸)的尺寸包括半徑和長度都相同。所有主軸4上的切割輪3 (在本實(shí)施例中,每根主軸4上置有6個(gè)切割輪3,四根主 軸4上一共是沈個(gè)切割輪3)的尺寸包括半徑和厚度都相同。在本實(shí)施例中,所有的主軸4和切割輪3都是不銹鋼材料或是硬質(zhì)鋁合金材料的。 所有的切割輪不僅角加速度都相同,并且所有的主軸4和切割輪3都同步運(yùn)行。
權(quán)利要求1.剖方機(jī)主軸的結(jié)構(gòu),其特征在于包括四根相互垂直排列的尺寸、材料和重量相同的 主軸,每根主軸上置放至少一個(gè)切割輪,所有主軸上的切割輪的尺寸、材料、重量和角加速 度都相同,并所有的主軸和切割輪都同步運(yùn)行。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的剖方機(jī)主軸的結(jié)構(gòu),其特征在于每根主軸上置放的切割輪的 數(shù)量相互相同。
專利摘要剖方機(jī)主軸的結(jié)構(gòu),它包括四根相互垂直排列的尺寸、材料和重量相同的主軸,每根主軸上置放至少一個(gè)切割輪,所有主軸上的切割輪的尺寸、材料、重量和角加速度都相同,并所有的主軸和切割輪都同步運(yùn)行。保證了所有的主軸和切割輪的轉(zhuǎn)動慣量一致。在加速和高速旋轉(zhuǎn)時(shí),能夠保持扭轉(zhuǎn)力矩一致。能夠保持通過切割輪的切割線的張力穩(wěn)定,提高了切割的精度,保證了剖方機(jī)的切割質(zhì)量。
文檔編號B24D5/04GK201815971SQ201020213170
公開日2011年5月4日 申請日期2010年6月3日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月3日
發(fā)明者袁建中, 黃興江 申請人:袁建中