專利名稱：氟化銨腐蝕液制備裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種氟化銨腐蝕液制備裝置，屬于電子化學(xué)品生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng) 域。
背景技術(shù)：
氟化銨腐蝕液結(jié)構(gòu)式為NH4F · HF，為無(wú)色透明液體，能強(qiáng)烈腐蝕含硅的物質(zhì)，在電 子化學(xué)品領(lǐng)域，主要用作硅片的腐蝕劑。氟化銨腐蝕液主要由液氨、水和氟化氫反應(yīng)配置而 成，其中液氨采用工業(yè)級(jí)液氨。由于工業(yè)級(jí)液氨含有微量的非金屬和金屬雜質(zhì)，其直接反應(yīng) 制得的氟化銨腐蝕液其雜質(zhì)含量高、純度差，不能達(dá)到MOS (金屬-氧化物-半導(dǎo)體)標(biāo)準(zhǔn)， 即金屬雜質(zhì)含量小于lOOppb，控制1微米粒徑粒子達(dá)到SEMI C1C2標(biāo)準(zhǔn)要求，不能滿足微電 子領(lǐng)域使用要求。

發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服上述不足，提供一種能去除氟化銨腐蝕液中非金屬和 金屬雜質(zhì)、能滿足微電子領(lǐng)域使用要求的氟化銨腐蝕液制備裝置。本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的一種氟化銨腐蝕液制備裝置，其特征在于它 包括液氨儲(chǔ)罐、第一水洗桶、第二水洗桶、吸收桶、混合罐、過(guò)濾器、成品桶、第一氫氟酸桶、 第一純化水桶、水浴槽、第二氫氟酸桶和第二純化水桶；所述液氨儲(chǔ)罐出口與第一水洗桶進(jìn)口相連，所述第一水洗桶出口與第二水洗桶進(jìn) 口相連，所述第二水洗桶出口與吸收桶進(jìn)口相連，所述吸收桶出口與混合罐進(jìn)口相連，所述 混合罐出口與過(guò)濾器進(jìn)口相連，所述過(guò)濾器出口與成品桶相連；所述吸收桶置于水浴槽中，所述吸收桶上連接有第一氫氟酸桶和第一純化水桶；所述混合罐上連接有第二氫氟酸桶和第二純化水桶。本實(shí)用新型的有益效果是本實(shí)用新型氟化銨腐蝕液制備裝置，將液氨汽化為氨氣，再經(jīng)二級(jí)水洗以除去金 屬與非金屬雜質(zhì)，然后，將經(jīng)過(guò)處理的氨氣通入吸收桶與氫氟酸溶液反應(yīng)，并經(jīng)過(guò)混合罐加 入過(guò)量的氫氟酸溶液進(jìn)行調(diào)配后，過(guò)濾分裝制得氟化銨腐蝕液，其能達(dá)到MOS (金屬-氧化 物_半導(dǎo)體)標(biāo)準(zhǔn)，滿足微電子領(lǐng)域使用要求。

圖1為本實(shí)用新型氟化銨腐蝕液制備裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。其中液氨儲(chǔ)罐1、第一水洗桶2、第二水洗桶3、吸收桶4、混合罐5、過(guò)濾器6、成品桶7、 第一氫氟酸桶8、第一純化水桶9、水浴槽10、第二氫氟酸桶11、第二純化水桶12。
具體實(shí)施方式
參見(jiàn)圖1，本實(shí)用新型涉及的一種氟化銨腐蝕液制備裝置，主要由液氨儲(chǔ)罐1、第 一水洗桶2、第二水洗桶3、吸收桶4、混合罐5、過(guò)濾器6、成品桶7、第一氫氟酸桶8、第一純 化水桶9、水浴槽10、第二氫氟酸桶11和第二純化水桶12組成；所述液氨儲(chǔ)罐1出口與第一水洗桶2進(jìn)口相連，所述第一水洗桶2出口與第二水 洗桶3進(jìn)口相連，所述第二水洗桶3出口與吸收桶4進(jìn)口相連，所述吸收桶4出口與混合罐 5進(jìn)口相連，所述混合罐5出口與過(guò)濾器6進(jìn)口相連，所述過(guò)濾器6出口與成品桶7相連；所述吸收桶4置于水浴槽10中，所述吸收桶4上連接有第一氫氟酸桶8和第一純 化水桶9 ；所述混合罐5上連接有第二氫氟酸桶11和第二純化水桶12。使用時(shí)，液氨汽化為氨氣，再經(jīng)二級(jí)水洗以除去金屬與非金屬雜質(zhì)，然后，將經(jīng)過(guò) 處理的氨氣通入吸收桶與氫氟酸溶液反應(yīng)，反應(yīng)生成的熱量通過(guò)水浴槽10中的冷卻水帶 走，從而保持反應(yīng)過(guò)程的平穩(wěn)進(jìn)行；再將反應(yīng)后的氟化銨溶液經(jīng)過(guò)混合罐加入氫氟酸并進(jìn) 一步調(diào)配其含量和酸度后，過(guò)濾分裝制得氟化銨腐蝕液。
權(quán)利要求一種氟化銨腐蝕液制備裝置，其特征在于它包括液氨儲(chǔ)罐(1)、第一水洗桶(2)、第二水洗桶(3)、吸收桶(4)、混合罐(5)、過(guò)濾器(6)、成品桶(7)、第一氫氟酸桶(8)、第一純化水桶(9)、水浴槽(10)、第二氫氟酸桶(11)和第二純化水桶(12)；所述液氨儲(chǔ)罐(1)出口與第一水洗桶(2)進(jìn)口相連，所述第一水洗桶(2)出口與第二水洗桶(3)進(jìn)口相連，所述第二水洗桶(3)出口與吸收桶(4)進(jìn)口相連，所述吸收桶(4)出口與混合罐(5)進(jìn)口相連，所述混合罐(5)出口與過(guò)濾器(6)進(jìn)口相連，所述過(guò)濾器(6)出口與成品桶(7)相連；所述吸收桶(4)置于水浴槽(10)中，所述吸收桶(4)上連接有第一氫氟酸桶(8)和第一純化水桶(9)；所述混合罐(5)上連接有第二氫氟酸桶(11)和第二純化水桶(12)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種氟化銨腐蝕液制備裝置，其特征在于它包括液氨儲(chǔ)罐(1)、第一水洗桶(2)、第二水洗桶(3)、吸收桶(4)、混合罐(5)、過(guò)濾器(6)、成品桶(7)、第一氫氟酸桶(8)、第一純化水桶(9)、水浴槽(10)、第二氫氟酸桶(11)和第二純化水桶(12)。本實(shí)用新型氟化銨腐蝕液制備裝置，將液氨汽化為氨氣，再經(jīng)二級(jí)水洗以除去金屬與非金屬雜質(zhì)，然后，將經(jīng)過(guò)處理的氨氣通入吸收桶與氫氟酸溶液反應(yīng)，并經(jīng)過(guò)混合罐加入過(guò)量的氫氟酸溶液進(jìn)行調(diào)配后，過(guò)濾分裝制得氟化銨腐蝕液，其能達(dá)到MOS(金屬-氧化物-半導(dǎo)體)標(biāo)準(zhǔn)，滿足微電子領(lǐng)域使用要求。
文檔編號(hào)C23F1/24GK201768555SQ20102025097
公開(kāi)日2011年3月23日 申請(qǐng)日期2010年7月1日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月1日
發(fā)明者戈士勇 申請(qǐng)人:江陰市潤(rùn)瑪電子材料有限公司