專利名稱：一種無蠟拋光操作臺的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種拋光機構，主要涉及一種用于硅片拋光的拋光操作臺。
背景技術：
硅片作為在我們最為常用的一種半導體器材，已融入到我們生活的方方面面之 中，比如隨著微電子技術的進步，體積小巧而功能強大的硅片，不單單正悄悄走進航空航 天、工業(yè)、農(nóng)業(yè)和國防等重要領域，也正悄悄步入每一個尋常的家庭中。這是由于，在米粒大 的硅片上，可以集成上數(shù)萬個晶體管，從而是整塊硅片具有驚人的計算能力，也具有神話般 的存儲能力，從而輔助各種工作器件進行計算工作。尤其是現(xiàn)在主流的硅片，在其小巧的體 積上可以集成15. 6萬個晶體管，這便是多學科協(xié)同努力的結晶，也是科學技術進步硅片制 造過程的又一個里程碑。無蠟拋光操作臺是為硅片在單面拋光機進行拋光時手動貼付硅片和剝離硅片使 用的。目前對于使用單面拋光機進行無蠟拋光在貼付和剝離時只是采用一個平坦的臺面進 行。這種方法有三種不足之處(1)在進行手動貼付的時候需要使用水槍進行沖洗，會導致水濺到操作者及周 圍；(2)在剝離的時候無法進行淋洗，導致硅片表面有研磨劑殘留影響硅片的質(zhì)量；(3)現(xiàn)有做法對操作者操作極為不便，容易造成硅片表面?zhèn)炔涣肌?br>
實用新型內(nèi)容本實用新型針對現(xiàn)有操作臺使用單面拋光機進行拋光時所存在的缺陷，而提供一 種新型的無蠟拋光操作臺，該操作臺能夠在使用單面拋光機進行無蠟拋光時減少因操作帶 來的不良，并減少操作時間，同時具有方便快捷、易于實施的特點。為了達到上述目的，本實用新型采用如下的技術方案一種無蠟拋光操作臺，所述操作臺包括一操作臺主體，所述操作臺主體的臺面的 一側(cè)設置有第一旋轉(zhuǎn)臺，所述操作臺還包括一剝離裝置，所述剝離裝置包括第二旋轉(zhuǎn)臺、兩 個可轉(zhuǎn)動定位端子以及淋洗管道，所述操作臺主體的臺面的另一側(cè)為斜面，所述第二旋轉(zhuǎn) 臺設置在所述斜面上，所述兩個可轉(zhuǎn)動定位端子對稱的設置在所述斜面上，并與所述第二 旋轉(zhuǎn)臺相配合，所述淋洗管道沿所述斜面的高端側(cè)設置，所述斜面的低端開設有一排水口。所述操作臺主體的臺面上設置外側(cè)擋板，所述外側(cè)擋板分布在所述淋洗管道的外 側(cè)。所述操作臺還包括工具抽屜，所述工具抽屜設置在所述操作臺主體臺面的下方。所述操作臺主體上設置有可剎靜音輪。本實用新型只需在硅片拋光加工時加以使用，便能夠大大減少使用單面拋光機進 行硅片的傳統(tǒng)無蠟拋光時，因操作的不便所帶來的影響到硅片加工質(zhì)量的問題，并可以有 效減少操作時間，提高加工的效率，同時具有方便快捷、易于實施的特點。[0014]使用本無蠟拋光操作臺后，在硅片進行手動貼付和剝離時能夠減少手動操作步 驟，從而減少劃傷污跡等不良的產(chǎn)生，同時使操作變的簡便。
以下結合附圖和具體實施方式
來進一步說明本實用新型。


圖1為本實用新型的俯視圖；圖2為本實用新型的平視圖；圖3為本實用新型的側(cè)視圖。
具體實施方式
為了使本實用新型實現(xiàn)的技術手段、創(chuàng)作特征、達成目的與功效易于明白了解，下 面結合具體圖示，進一步闡述本實用新型。參閱
圖1，本實用新型提供的無蠟拋光操作臺的結構，其主要由操作臺主體1，第 一旋轉(zhuǎn)臺2，第二旋轉(zhuǎn)臺3，兩個可轉(zhuǎn)動定位端子4、5，淋洗管道6，外側(cè)擋板7組成。其中操作臺主體1用于承載所有設備的一個支架，其上的臺面分為兩部分，第一 部分Ia為平面，該平面上設置有第一旋轉(zhuǎn)臺2，從而形成操作臺的貼付部分，用于拋光。參見圖3，操作臺主體1臺面的第二部分Ib為一斜面，其上設置有第二旋轉(zhuǎn)臺3。 同時，淋洗管道6沿斜面的高端設置，其上開設有進水口 8。兩個可轉(zhuǎn)動定位端子4、5對稱 設置在該斜面上，并與第二旋轉(zhuǎn)臺3相配合。在斜面的低端處開設有排水口 9，這便于水及 時排出。通過上述技術方案形成操作臺的剝離部分。進一步，本實用新型在操作臺主體1的臺面上設置有外側(cè)擋板7，以便阻止水的濺
出ο參見圖2，本實用新型在操作臺主體1上設置有放置操作工具的工具抽屜10，其位 于臺面的下方。為了便于操作臺的移動，本實用新型在操作臺主體1上設置可剎靜音輪11。由上述技術方案形成的無蠟拋光操作臺分為左右2個部分，右邊是進行拋光的， 左邊是進行剝離的，拋光邊是水平的一個平面，而剝離面是一個向里傾斜的斜面。本實用新型在使用時，操作臺主體1是承載所有設備的一個支架，第一旋轉(zhuǎn)臺2是 實施貼付拋光的主要設備，貼付時陶瓷板放置在第一旋轉(zhuǎn)臺2上，通過轉(zhuǎn)動第一旋轉(zhuǎn)臺2， 作業(yè)者把硅片逐枚貼付在陶瓷板載具上。拋光結束后，作業(yè)者把陶瓷板放到第二旋轉(zhuǎn)臺3上進行剝離，該設備在剝離過程 帶有自動淋洗裝置，能夠使無蠟拋光機進行無蠟拋光時減少操作帶來的不良，并減少操作 時間，同時具有方便快捷、易于實施的特點。如果需要進行雙面拋光，緊接著把陶瓷板挪到 右側(cè)，進行反面貼付。以上顯示和描述了本實用新型的基本原理、主要特征和本實用新型的優(yōu)點。本行 業(yè)的技術人員應該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述 的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還 會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內(nèi)。本實用新型要求保護范圍由所附的權利要求書及其等效物界定。
權利要求1.一種無蠟拋光操作臺，所述操作臺包括一操作臺主體，所述操作臺主體的臺面的一 側(cè)設置有第一旋轉(zhuǎn)臺，其特征在于，所述操作臺還包括一剝離裝置，所述剝離裝置包括第二 旋轉(zhuǎn)臺、兩個可轉(zhuǎn)動定位端子以及淋洗管道，所述操作臺主體的臺面的另一側(cè)為斜面，所述 第二旋轉(zhuǎn)臺設置在所述斜面上，所述兩個可轉(zhuǎn)動定位端子對稱的設置在所述斜面上，并與 所述第二旋轉(zhuǎn)臺相配合，所述淋洗管道沿所述斜面的高端側(cè)設置，所述斜面的低端開設有 一排水口。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種無蠟拋光操作臺，其特征在于，所述操作臺主體的臺面 上設置外側(cè)擋板，所述外側(cè)擋板分布在所述淋洗管道的外側(cè)。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種無蠟拋光操作臺，其特征在于，所述操作臺還包括工具 抽屜，所述工具抽屜設置在所述操作臺主體臺面的下方。
4.根據(jù)權利要求1所述的一種無蠟拋光操作臺，其特征在于，所述操作臺主體上設置 有可剎靜音輪。
專利摘要本實用新型公開了一種無蠟拋光操作臺，所述操作臺包括一操作臺主體，所述操作臺主體的臺面的一側(cè)設置有第一旋轉(zhuǎn)臺，所述操作臺還包括一剝離裝置，所述剝離裝置包括第二旋轉(zhuǎn)臺、兩個可轉(zhuǎn)動定位端子以及淋洗管道，所述操作臺主體的臺面的另一側(cè)為斜面，所述第二旋轉(zhuǎn)臺設置在所述斜面上，所述兩個可轉(zhuǎn)動定位端子對稱的設置在所述斜面上，并與所述第二旋轉(zhuǎn)臺相配合，所述淋洗管道沿所述斜面的高端側(cè)設置，所述斜面的低端開設有一排水口。本實用新型能夠在使用單面拋光機進行無蠟拋光時減少操作帶來的不良，并減少操作時間，同時具有方便快捷、易于實施的特點。
文檔編號B24B29/02GK201863106SQ201020547710
公開日2011年6月15日 申請日期2010年9月29日 優(yōu)先權日2010年9月29日
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