專利名稱：一種汲取管的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo)體制造中的化學(xué)機械研磨技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種汲取管。
背景技術(shù)：
化學(xué)機械研磨(CMP)作為芯片加工中必不可少的一道工藝，不僅在晶圓制備階段 被采用，而且在晶圓加工工藝過程中也被用來做晶圓表面整體平整化。化學(xué)機械研磨法主 要是利用機械式研磨原理，配合研磨液中的化學(xué)助劑與芯片表面進行反應(yīng)，將芯片表面高 低起伏不定的輪廓加以磨平的平坦化技術(shù)。一般若各種制程的參數(shù)控制合適，化學(xué)機械研 磨可提供被研磨表面達到94%以上的平坦度，但隨著半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，集成電路制造行 業(yè)發(fā)展迅速，化學(xué)機械研磨作為芯片加工中不可缺少的一道工藝也面臨著越來越高的挑 戰(zhàn)。研磨液是化學(xué)機械研磨工藝中的一項關(guān)鍵消耗品，在芯片化學(xué)機械研磨中起著重 要作用，如何供應(yīng)這些研磨液也就格外重要。現(xiàn)有技術(shù)中，研磨液存儲裝置中的研磨液通常 通過汲取管被供應(yīng)至研磨液存儲裝置外。請參看圖1和圖2，圖1為現(xiàn)有技術(shù)的汲取管的結(jié) 構(gòu)示意圖，圖2為現(xiàn)有技術(shù)的汲取管的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1和圖2所示，現(xiàn)有技術(shù)的汲 取管包括接口 110和管體120，所述接口 110的一端具有開放式的開口 111，所述接口 110 的內(nèi)部形成腔室，所述接口 110上、開口 111之下的部分的外側(cè)設(shè)置有螺紋112，所述接口 上螺紋之下的部分為外徑小于所述螺紋部分的光滑體113，所述光滑體113的底部具有通 孔114，所述通孔114的直徑同所述管體120的直徑相適應(yīng)，所述管體120連接于所述通孔 114上。使用時，所述管體120通過研磨液存儲裝置的液體出口插入至研磨液存儲裝置，所 述接口 110通過其上的螺紋112旋轉(zhuǎn)固定于研磨液存儲裝置的液體出口上?，F(xiàn)有技術(shù)的汲 取管接口上位于研磨液存儲裝置內(nèi)的部分較多，當(dāng)研磨液存儲裝置內(nèi)的液面較高，研磨液 同所述接口部分接觸時就會在接口部分產(chǎn)生結(jié)晶，從而影響研磨液的供應(yīng)質(zhì)量，也會使汲 取管的更換變得比較麻煩。為了改善這種情況，現(xiàn)有技術(shù)通過定期清洗汲取管，即將汲取管 放入至氫氧化鉀溶液中進行浸泡來緩解研磨液的潔晶現(xiàn)象。但這樣做很耗費時間與精力， 并且效果并不是很理想。

實用新型內(nèi)容本實用新型要解決的技術(shù)問題在于提供一種汲取管，以解決現(xiàn)有技術(shù)的汲取管易 造成研磨液存儲裝置內(nèi)的研磨液形成結(jié)晶，影響研磨液供應(yīng)質(zhì)量的問題。為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供一種汲取管，包括接口和管體，所述接口的 內(nèi)部形成腔室，所述接口上的第一端面上具有第一開口，所述接口上與所述第一端面相對 的第二端面上具有第二開口 ；所述接口上垂直于所述第一端面并同所述第一端面相銜接的 部分為握持部，所述握持部的外側(cè)四周分布有防滑凹槽；所述接口上垂直于所述第二端面 并同所述第二端面相銜接的部分為螺紋部，所述螺紋部同所述握持部相連接，所述螺紋部 的外側(cè)四周設(shè)置有螺紋；所述第二開口的直徑同所述管體的直徑相適應(yīng)，所述管體連接于所述第二開口上?？蛇x的，所述螺紋的兩端均設(shè)置有密封圈?？蛇x的，所述管體內(nèi)的相對兩側(cè)還分別設(shè)置有支撐點，所述支撐點上固定有彈簧， 所述彈簧的另一端連接防溢頭，所述防溢頭位于所述接口內(nèi)部的腔室內(nèi)，所述防溢頭的直 徑小于所述接口內(nèi)部腔室的直徑，所述防溢頭上與連接彈簧的一端相對的另一端的面積大 于等于所述第一開口的面積，所述防溢頭在所述彈簧彈力的支撐作用下封閉所述第一開可選的，所述防溢頭上與連接彈簧的一端相對的另一端的直徑小于所述防溢頭上 連接彈簧的一端的直徑。本實用新型的汲取管由于管體直接連接螺紋部，使得汲取管接口位于研磨液存儲 裝置內(nèi)的部分比較少，該汲取管的螺紋兩端還增加了密封圈，提升了接口的氣密性，從而可 有效降低研磨液接觸汲取管的接口產(chǎn)生結(jié)晶問題的發(fā)生，提高了研磨液的供應(yīng)品質(zhì)；接口 握持部上的防滑凹槽可使工作人員直接手握握持部即可將完成汲取管的拆裝工作，無需特 殊工具的輔助，方便操作；防溢頭的設(shè)計可有效防止在研磨液存儲裝置內(nèi)的液位較高時研 磨液通過汲取管溢出。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)的汲取管的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為現(xiàn)有技術(shù)的汲取管的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實用新型的汲取管的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本實用新型的汲取管的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本實用新型的汲取管的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
為使本實用新型的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對本 實用新型的具體實施方式
做詳細的說明。本實用新型的汲取管可被廣泛地應(yīng)用到許多工藝中，并且可以利用多種適當(dāng)?shù)牟?料制作，下面是通過較佳的實施例來加以說明，當(dāng)然本實用新型并不局限于該具體實施例， 本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員所熟知的一般的替換無疑地涵蓋在本實用新型的保護范圍內(nèi)。其次，本實用新型利用示意圖進行了詳細描述，在詳述本實用新型實施例時，為了 便于說明，示意圖不依一般比例局部放大，不應(yīng)以此作為對本實用新型的限定。請參看圖3和圖4，圖3為本實用新型的汲取管的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本實用 新型的汲取管的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。如圖3和圖4所示，本實用新型的汲取管包括接口 210 和管體220 ；所述接口 210的內(nèi)部形成腔室，所述接口上的第一端面上具有第一開口 215，所 述接口上與所述第一端面相對的第二端面上具有第二開口 216 ；所述接口上垂直于所述第 一端面并同所述第一端面相銜接的部分為握持部211，所述握持部211的外側(cè)四周分布有 防滑凹槽212 ；所述接口 210上垂直于所述第二端面并同所述第二端面相銜接的部分為螺 紋部213，所述螺紋部213同所述握持部211相連接，所述螺紋部213的外側(cè)四周設(shè)置有螺 紋，所述螺紋的兩端均設(shè)置有密封圈214 ；所述第二開口 216的直徑同所述管體220的直徑相適應(yīng)，所述管體220連接于所述第二開口 216上。請參看圖5，圖5為本實用新型的汲取管的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。如圖5所示，本實用 新型的汲取管中，所述管體220內(nèi)的相對兩側(cè)還分別設(shè)置有支撐點221，所述支撐點221上 固定有彈簧222，所述彈簧222的另一端連接防溢頭223，所述防溢頭223位于所述接口 210 內(nèi)部的腔室內(nèi)，所述防溢頭223的直徑小于所述接口 210內(nèi)部腔室的直徑，所述防溢頭223 上與連接彈簧222的一端相對的另一端的面積大于等于所述第一開口 215的面積，所述防 溢頭223在所述彈簧222彈力的支撐作用下封閉所述第一開口 215。更為優(yōu)選的，所述防溢 頭223上與連接彈簧222的一端相對的另一端的直徑小于所述防溢頭223上連接彈簧222 的一端的直徑。本實用新型的汲取管在使用時，管體通過研磨液存儲裝置的液體出口插入至研磨 液存儲裝置，接口通過其上的螺紋旋轉(zhuǎn)固定于研磨液存儲裝置的液體出口上。當(dāng)位于研磨 液存儲裝置外部的快速接頭按壓在汲取管的防溢頭上時，防溢頭從第一開口的位置處離 開，從而可使研磨液存儲裝置中的研磨液通過汲取管的管體流出至接口外。本實用新型的汲取管由于管體直接連接螺紋部，使得汲取管接口位于研磨液存儲 裝置內(nèi)的部分比較少，該汲取管的螺紋兩端還增加了密封圈，提升了接口的氣密性，從而可 有效降低研磨液接觸汲取管的接口產(chǎn)生結(jié)晶問題的發(fā)生，提高了研磨液的供應(yīng)品質(zhì)；接口 握持部上的防滑凹槽可使工作人員直接手握握持部即可將完成汲取管的拆裝工作，無需特 殊工具的輔助，方便操作；防溢頭的設(shè)計可有效防止在研磨液存儲裝置內(nèi)的液位較高時研 磨液通過汲取管溢出。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用 新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權(quán)利要求及 其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種汲取管，包括接口和管體，其特征在于，所述接口的內(nèi)部形成腔室，所述接口上 的第一端面上具有第一開口，所述接口上與所述第一端面相對的第二端面上具有第二開 口 ；所述接口上垂直于所述第一端面并同所述第一端面相銜接的部分為握持部，所述握持 部的外側(cè)四周分布有防滑凹槽；所述接口上垂直于所述第二端面并同所述第二端面相銜接 的部分為螺紋部，所述螺紋部同所述握持部相連接，所述螺紋部的外側(cè)四周設(shè)置有螺紋；所 述第二開口的直徑同所述管體的直徑相適應(yīng)，所述管體連接于所述第二開口上。
2.如權(quán)利要求1所述的汲取管，其特征在于，所述螺紋的兩端均設(shè)置有密封圈。
3.如權(quán)利要求1或2所述的汲取管，其特征在于，所述管體內(nèi)的相對兩側(cè)還分別設(shè)置有 支撐點，所述支撐點上固定有彈簧，所述彈簧的另一端連接防溢頭，所述防溢頭位于所述接 口內(nèi)部的腔室內(nèi)，所述防溢頭的直徑小于所述接口內(nèi)部腔室的直徑，所述防溢頭上與連接 彈簧的一端相對的另一端的面積大于等于所述第一開口的面積，所述防溢頭在所述彈簧彈 力的支撐作用下封閉所述第一開口。
4.如權(quán)利要求3所述的汲取管，其特征在于，所述防溢頭上與連接彈簧的一端相對的 另一端的直徑小于所述防溢頭上連接彈簧的一端的直徑。
專利摘要本實用新型提供一種汲取管，包括接口和管體，所述接口的內(nèi)部形成腔室，所述接口上的第一端面上具有第一開口，所述接口上與所述第一端面相對的第二端面上具有第二開口；所述接口上垂直于所述第一端面并同所述第一端面相銜接的部分為握持部，所述握持部的外側(cè)四周分布有防滑凹槽；所述接口上垂直于所述第二端面并同所述第二端面相銜接的部分為螺紋部，所述螺紋部同所述握持部相連接，所述螺紋部的外側(cè)四周設(shè)置有螺紋；所述第二開口的直徑同所述管體的直徑相適應(yīng)，所述管體連接于所述第二開口上。本實用新型的汲取管可有效防止研磨液存儲裝置內(nèi)的研磨液產(chǎn)生結(jié)晶現(xiàn)象。
文檔編號B24B57/02GK201863128SQ201020565138
公開日2011年6月15日 申請日期2010年10月16日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月16日
發(fā)明者刁春華, 太雙, 張禎, 朱江寧, 李明 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司