專利名稱：晶片游星模板修磨機的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及機械設(shè)備，具體的說是一種晶片游星模板修磨機。
背景技術(shù)：
晶片的厚度加工精度要求非常高，一般都是通過研磨來獲得的，由于晶片是一個小薄片結(jié)構(gòu)，把晶片放置在游星模板表面的孔內(nèi)，用游星模板的厚度來控制晶片的研磨厚度，游星模板使用一段時間后，游星模板本身磨損，會影響晶片的研磨精度，需要對游星模板進行修磨。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是針對上述問題，提出一種結(jié)構(gòu)簡單、操作方便的游星模板修磨機。本實用新型的目的是這樣實現(xiàn)的本實用新型的一種晶片游星模板修磨機，它包括機座和工作臺，其特征在于工作臺內(nèi)設(shè)有內(nèi)齒圈，內(nèi)齒圈內(nèi)有下磨盤和上磨盤，上磨盤上有研磨液的注入孔，內(nèi)齒圈中心有電機帶動的中心齒輪。本實用新型的晶片游星模板修磨機，使用時，把游星模板放置在中心齒輪和內(nèi)齒圈之間，游星模板在中心齒輪和內(nèi)齒圈中間作星形公轉(zhuǎn)和自轉(zhuǎn)，下磨盤和上磨盤對游星模板表面進行修磨。因此，本實用新型具有結(jié)構(gòu)簡單、操作方便的特點。

圖1為本實用新型的晶片游星模板修磨機的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式

以下結(jié)合附圖通過實施例對本實用新型作進一步說明如圖1所示，本實用新型的一種晶片游星模板修磨機，它包括機座1和工作臺2，其特征在于工作臺2內(nèi)設(shè)有內(nèi)齒圈3，內(nèi)齒圈3內(nèi)有下磨盤5和上磨盤7，上磨盤7上有研磨液的注入孔8，內(nèi)齒圈3中心有電機帶動的中心齒輪6。使用時，把游星模板4放置在中心齒輪6和內(nèi)齒圈3之間，游星模板4在中心齒輪6和內(nèi)齒圈3中間作星形公轉(zhuǎn)和自轉(zhuǎn)，下磨盤5和上磨盤7對游星磨板4表面進行修磨。
權(quán)利要求1. 一種晶片游星模板修磨機，它包括機座(1)和工作臺O)，其特征在于工作臺O)內(nèi)設(shè)有內(nèi)齒圈(3)，內(nèi)齒圈(3)內(nèi)有下磨盤(5)和上磨盤(7)，上磨盤(7)上有研磨液的注入孔(8)，內(nèi)齒圈(3)中心有電機帶動的中心齒輪(6)。
專利摘要一種晶片游星模板修磨機，它包括機座和工作臺，其特征在于工作臺內(nèi)設(shè)有內(nèi)齒圈，內(nèi)齒圈內(nèi)有下磨盤和上磨盤，上磨盤上有研磨液的注入孔，內(nèi)齒圈中心有電機帶動的中心齒輪。本實用新型的晶片游星模板修磨機，使用時，把游星模板放置在中心齒輪和內(nèi)齒圈之間，游星模板在中心齒輪和內(nèi)齒圈中間作星形公轉(zhuǎn)和自轉(zhuǎn)，下磨盤和上磨盤對游星磨板表面進行修磨。因此，本實用新型具有結(jié)構(gòu)簡單、操作方便的特點。
文檔編號B24B53/12GK201940898SQ20102061816
公開日2011年8月24日 申請日期2010年11月23日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月23日
發(fā)明者盧巍 申請人:嘉興鯤鵬電子有限公司