專利名稱：一種石英陶瓷坩堝數(shù)控平面磨床的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及數(shù)控機(jī)床的結(jié)構(gòu)領(lǐng)域，具體為一種石英陶瓷坩堝數(shù)控平面磨床。
背景技術(shù)：
伴隨著多晶硅行業(yè)的發(fā)展，現(xiàn)在制造多晶硅所需要的石英陶瓷坩堝行業(yè)也迅速發(fā)展，優(yōu)質(zhì)的石英陶瓷坩堝能確保多晶硅的質(zhì)量，但是制造優(yōu)質(zhì)的石英陶瓷坩堝需要造型平整、壁厚要均勻，為了達(dá)到上述要求，提高成品率，需要對(duì)石英陶瓷坩堝底面以及四周倒角進(jìn)行磨削處理，現(xiàn)有的磨床只能單獨(dú)對(duì)石英陶瓷坩堝進(jìn)行平面磨削或倒角處理，需要把石英陶瓷坩堝分別放入不同的磨床中進(jìn)行磨削，其磨削效率低。
發(fā)明內(nèi)容針對(duì)上述問題，本實(shí)用新型提供了一種石英陶瓷坩堝數(shù)控平面磨床，可以使平面磨削與倒角處理在同一臺(tái)磨床加工，其使得石英陶瓷坩堝的磨削效率提高。其技術(shù)方案是這樣的一種石英陶瓷坩堝數(shù)控平面磨床，其包括床身、工作臺(tái)，其特征在于所述床身的兩側(cè)固定安裝有導(dǎo)軌座，底座通過直線導(dǎo)軌分別安裝在所述兩側(cè)的導(dǎo)軌座上，所述兩側(cè)的導(dǎo)軌座上分別設(shè)置有齒條，傳動(dòng)軸兩端固定有齒輪，所述齒輪分別與所述齒條嚙合，所述傳動(dòng)軸上活動(dòng)套裝有支架，橫梁連接所述支架并固定在兩側(cè)的底座上， 所述橫梁兩側(cè)分別通過直線導(dǎo)軌和滾珠絲杠安裝有十字拖板，所述十字拖板分別通過直線導(dǎo)軌和滾珠絲杠安裝有垂直拖板，平面磨頭、倒角磨頭分別安裝在所述的垂直拖板上。其進(jìn)一步特征在于所述滾珠絲桿分別與伺服電機(jī)連接；所述平面磨頭包括砂輪架、砂輪主軸和金剛石平面砂輪，所述砂輪主軸通過皮帶和皮帶輪與電機(jī)軸連接，所述倒角磨頭包括砂輪架、砂輪主軸和金剛石倒角砂輪，所述砂輪主軸通過皮帶和皮帶輪與電機(jī)軸連接；所述傳動(dòng)軸為通過聯(lián)軸器連接的兩根傳動(dòng)軸。本實(shí)用新型的上述結(jié)構(gòu)，由于磨床上同時(shí)安裝有倒角磨頭和平面磨頭，通過拖板的移動(dòng)分別實(shí)現(xiàn)石英陶瓷坩堝平面磨削和倒角磨削，可以使平面磨削與倒角磨削在同一臺(tái)磨床加工，其使得石英陶瓷坩堝的磨削效率高。

圖1為本實(shí)用新型石英玻璃陶瓷坩堝數(shù)控平面磨床的主視圖結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型石英玻璃陶瓷坩堝數(shù)控平面磨床的左視圖結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
見圖1、圖2，一種石英陶瓷坩堝數(shù)控平面磨床，其包括床身1、工作臺(tái)2，床身的兩側(cè)固定安裝有導(dǎo)軌座3、6，底座5、7通過導(dǎo)軌4-1、4-2分別安裝在兩側(cè)的導(dǎo)軌座3、6上，兩側(cè)的導(dǎo)軌座3、6上分別設(shè)置有齒條14-1、14-2，傳動(dòng)軸由兩根傳動(dòng)軸12-1、12-2通過聯(lián)軸器 11連接而成，傳動(dòng)軸兩端固定有齒輪13-1、13-2，齒輪13-1、13-2分別與齒條14_1、14_2嚙合，傳動(dòng)軸上活動(dòng)套裝有支架33，橫梁8連接支架33并固定在兩側(cè)的底座5、7上，橫梁兩側(cè)分別通過直線導(dǎo)軌16-1、16-2和滾珠絲杠17-1、17-2安裝有十字拖板15和24，十字拖板 15和24分別通過19-1、19-2和19_3、19_4，滾珠絲杠20-1和20-2安裝有垂直拖板21和 25，平面磨頭31、倒角磨頭32分別安裝在垂直拖板21、25上。平面磨頭31包括砂輪架沈-1、砂輪主軸27-1和金剛石平面砂輪觀，砂輪主軸 27-1通過皮帶34-1和皮帶輪35-1、36-1與電機(jī)軸37_1連接、倒角磨頭32包括砂輪架沈-2、砂輪主軸27-2和金剛石倒角砂輪四，砂輪主軸27-2通過皮帶34_2和皮帶輪35_2、 36-2與電機(jī)軸37-2連接。橫梁8連接在兩側(cè)的底座5、7上，伺服電機(jī)9通過減速機(jī)10驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)軸上的齒輪 13-1、13-2在兩側(cè)導(dǎo)軌座上的齒條14-1、14-2上滾動(dòng)，帶動(dòng)底座5、7沿直線導(dǎo)軌4_1、4_2運(yùn)動(dòng)，從而使連接在兩側(cè)底座上的橫梁8在Z向移動(dòng)，在橫梁8上左側(cè)的十字拖板15通過直線導(dǎo)軌16-1、16-2，滾珠絲杠17-1由伺服電機(jī)18-1驅(qū)動(dòng)在Xl向移動(dòng)，左側(cè)的垂直拖板21 通過直線導(dǎo)軌19-1、19-2和滾珠絲杠20-1由伺服電機(jī)22-1驅(qū)動(dòng)在Yl向移動(dòng)，在橫梁上右側(cè)的十字拖板M通過直線導(dǎo)軌16-1、16-2，滾珠絲杠17-2由伺服電機(jī)18_2驅(qū)動(dòng)在X2向移動(dòng)，右側(cè)的垂直拖板25通過直線導(dǎo)軌19-3、19-4和滾珠絲杠20_2由伺服電機(jī)22_2驅(qū)動(dòng)在 Y2向移動(dòng)。由于平面磨頭、倒角磨頭通過垂直拖板和十字拖板安裝在同一塊橫梁上，可以實(shí)現(xiàn)平面磨頭、倒角磨頭在XI、X2、Y1、Y2方向移動(dòng)，兩側(cè)底座分別通過齒條、齒輪和直線導(dǎo)軌帶動(dòng)橫梁在Z向移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了平面磨頭、倒角磨頭在XI、Χ2、Υ1、Υ2和Z向的運(yùn)動(dòng)，在同一磨床上實(shí)現(xiàn)了對(duì)固定在工作臺(tái)上的石英陶瓷坩堝30的平面磨削和倒角磨頭削。本實(shí)用新型采用進(jìn)口三菱控制系統(tǒng)，使磨頭在XI、Χ2、Υ1、Υ2和Z向的運(yùn)行精準(zhǔn)、 平穩(wěn)，且操作簡(jiǎn)便，實(shí)現(xiàn)數(shù)控三維運(yùn)動(dòng)，可以實(shí)現(xiàn)石英陶瓷坩堝平面磨削與倒角磨削在同一臺(tái)磨床精確、穩(wěn)定地完成，其使得石英陶瓷坩堝的磨削效率高。
權(quán)利要求1.一種石英陶瓷坩堝數(shù)控平面磨床，其包括床身、工作臺(tái)，其特征在于所述床身的兩側(cè)固定安裝有導(dǎo)軌座，底座通過直線導(dǎo)軌分別安裝在所述兩側(cè)的導(dǎo)軌座上，所述兩側(cè)的導(dǎo)軌座上分別設(shè)置有齒條，傳動(dòng)軸兩端固定有齒輪，所述齒輪分別與所述齒條嚙合，所述傳動(dòng)軸上活動(dòng)套裝有支架，橫梁連接所述支架并固定在兩側(cè)的底座上，所述橫梁兩側(cè)分別通過直線導(dǎo)軌和滾珠絲杠安裝有十字拖板，所述十字拖板分別通過直線導(dǎo)軌和滾珠絲杠安裝有垂直拖板，平面磨頭、倒角磨頭分別安裝在所述的垂直拖板上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種石英陶瓷坩堝數(shù)控平面磨床，其特征在于所述滾珠絲桿分別與伺服電機(jī)連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種石英陶瓷坩堝數(shù)控平面磨床，其特征在于所述平面磨頭包括砂輪架、砂輪主軸和金剛石平面砂輪，所述砂輪主軸通過皮帶和皮帶輪與電機(jī)軸連接， 所述倒角磨頭包括砂輪架、砂輪主軸和金剛石倒角砂輪，所述砂輪主軸通過皮帶和皮帶輪與電機(jī)軸連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種石英陶瓷坩堝數(shù)控平面磨床，其特征在于所述傳動(dòng)軸為通過聯(lián)軸器連接的兩根傳動(dòng)軸。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種石英陶瓷坩堝數(shù)控平面磨床，可以使平面磨削與倒角處理在同一臺(tái)磨床加工，其使得石英陶瓷坩堝的磨削效率提高，其包括床身、工作臺(tái)，其特征在于所述床身的兩側(cè)固定安裝有導(dǎo)軌座，底座通過直線導(dǎo)軌分別安裝在所述兩側(cè)的導(dǎo)軌座上，所述兩側(cè)的導(dǎo)軌座上分別設(shè)置有齒條，傳動(dòng)軸兩端固定有齒輪，所述齒輪分別與所述齒條嚙合，所述傳動(dòng)軸上活動(dòng)套裝有支架，橫梁連接所述支架并固定在兩側(cè)的底座上，所述橫梁兩側(cè)分別通過直線導(dǎo)軌和滾珠絲杠安裝有十字拖板，所述十字拖板分別通過直線導(dǎo)軌和滾珠絲杠安裝有垂直拖板，平面磨頭、倒角磨頭分別安裝在所述的垂直拖板上。
文檔編號(hào)B24B7/22GK202097624SQ201020673739
公開日2012年1月4日 申請(qǐng)日期2010年12月22日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月22日
發(fā)明者楊建良 申請(qǐng)人:弘元新材料無錫有限公司