專利名稱：一種砂片機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種砂片機(jī)，用于硅片加工。
背景技術(shù)：
當(dāng)前，在硅片加工領(lǐng)域，經(jīng)常會出現(xiàn)一些存在崩邊、缺角等物理缺陷的硅片，一般是作為硅材料回熔處理。這種處理方式，未能充分有效地利用這些物理缺陷硅片的價值，形成了浪費，提高了硅片加工成本。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是提供可加工具有崩邊、缺角等物理缺陷的硅片的一種砂片機(jī)。本實用新型采取的技術(shù)方案是一種砂片機(jī)，其特征在于在機(jī)架的中間處設(shè)有凹槽狀的操作臺，操作臺內(nèi)的底部上設(shè)有砂輪，砂輪與電機(jī)相連接；在操作臺內(nèi)連接有噴水管，且噴水管管口位于砂輪之上；在操作臺的底面上開有出水口。采用本實用新型，可以根據(jù)硅片的缺損狀況通過該機(jī)砂磨消除崩邊、缺角，磨出參考面，對有缺陷的硅片進(jìn)行回收利用了。

圖1是本實用新型的示意圖。圖中序號表示機(jī)架1、操作臺2、噴水管3、砂輪4、電機(jī)5和出水口 6。
具體實施方式
下面結(jié)合具體的實施例對本實用新型作進(jìn)一步說明。參照圖1，該砂片機(jī)在機(jī)架1的中間處設(shè)有凹槽狀的操作臺2，操作臺2內(nèi)的底部上設(shè)有砂輪4，砂輪4與電機(jī)5相連接；在操作臺2內(nèi)連接有噴水管3，且噴水管3的管口位于砂輪4之上；在操作臺2的底面上開有出水口 6。使用時，只要啟動電機(jī)5，帶動砂輪4， 打開噴水管3噴水，即可開始加工具有崩邊、缺角等物理缺陷的硅片，加工的碎屑會隨著水從出水口 6排出。這樣，就可以根據(jù)硅片的缺損狀況通過該機(jī)砂磨消除崩邊、缺角，磨出參考面，對有缺陷的硅片進(jìn)行回收利用了。
權(quán)利要求1. 一種砂片機(jī)，其特征在于在機(jī)架的中間處設(shè)有凹槽狀的操作臺，操作臺內(nèi)的底部上設(shè)有砂輪，砂輪與電機(jī)相連接；在操作臺內(nèi)連接有噴水管，且噴水管管口位于砂輪之上；在操作臺的底面上開有出水口。
專利摘要本實用新型涉及一種砂片機(jī)，該砂片機(jī)的機(jī)架的中間處設(shè)有凹槽狀的操作臺，操作臺內(nèi)的底部上設(shè)有砂輪，砂輪與電機(jī)相連接；在操作臺內(nèi)連接有噴水管，且噴水管管口位于砂輪之上；在操作臺的底面上開有出水口。采用本實用新型，可以根據(jù)硅片的缺損狀況通過該機(jī)砂磨消除崩邊、缺角，磨出參考面，對有缺陷的硅片進(jìn)行回收利用。
文檔編號B24B7/22GK202079451SQ20102068497
公開日2011年12月21日 申請日期2010年12月16日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月16日
發(fā)明者陳躍驊 申請人:浙江旭盛電子有限公司