專利名稱：工件夾具、刷子用毛材、刷子以及工件夾具和刷子用毛材的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及安裝于研磨裝置上、保持硅晶片、鋁盤、水晶振子等被研磨工件的工件夾具。另外還涉及該工件夾具的制造方法。另外，還涉及安裝于研磨裝置上、對被研磨工件進(jìn)行研磨的刷子用毛材及該毛材的制造方法，以及使用該毛材的刷子。
背景技術(shù)：
對各種工件進(jìn)行研磨加工的研磨裝置具備保持被研磨工件的工件夾具和緊靠被研磨工件對該被研磨工件進(jìn)行研磨的研磨工具。以往，用研磨裝置對硅晶片等被研磨工件進(jìn)行研磨加工時(shí)，為了保持被研磨工件， 使用如圖9所示的工件夾具100。工件夾具100由金屬板或玻璃板構(gòu)成，外周形成了齒輪 11，同時(shí)還有多個(gè)工件保持用孔12貫穿其上。圖10是顯示圖9的工件夾具100被安裝于研磨裝置20的狀態(tài)的平面圖，圖11是圖10中的A-A線剖面圖。如圖11所示，工件夾具100以工件W被嵌合、保持在工件保持用孔12內(nèi)的狀態(tài)安裝在研磨裝置20中。該安裝以如方式進(jìn)行如圖10、11所示，外周的齒輪 11與研磨裝置20的齒輪22嚙合，同時(shí)如圖11所示工件夾具100被夾持在研磨裝置20的上下臺面21之間。由此，一邊使被保持在工件保持用孔12內(nèi)的工件W的表面和貼附在臺面21上的研磨布21a之間流過含有各種化學(xué)成分及微強(qiáng)磨粒的漿液，一邊驅(qū)動研磨裝置20 的齒輪22，從而使工件夾具100旋轉(zhuǎn)。在這種旋轉(zhuǎn)中，工件W接觸并被擠壓于工件保持用孔12的壁面1 上，與工件夾具100 —起移動，結(jié)果工件W的表面被壓合在研磨布21a上而研磨。如果到達(dá)研磨工序的最后階段，研磨布21a的表面就會與工件夾具100的表面進(jìn)行接觸。此時(shí)，如果研磨布21a的表面和工件夾具100的表面之間產(chǎn)生的摩擦大，齒輪11 上承受的載荷就大。因此，齒輪11磨損很快，工件夾具100的壽命變短。另外，在工件夾具100是由金屬板構(gòu)成的情況下，貯存時(shí)可能會因研磨時(shí)澆入的水分而生銹。這種銹在研磨時(shí)成為異物，會使工件W的被研磨面發(fā)生擦傷(細(xì)小傷痕)。鑒于上述情況，專利文獻(xiàn)1中提出了使金屬板的表面與將芳綸纖維無紡布浸漬環(huán)氧樹脂并形成片狀的基材制成一體，從而構(gòu)成工件夾具的方案。在該工件夾具中，基材中浸漬的環(huán)氧樹脂的摩擦系數(shù)隨載荷的增大而降低，因此使得工件夾具和研磨布之間的摩擦減小。另外，由于芳綸纖維的吸水性高，因此吸收洗滌水等水分，抑制了金屬板表面生銹的發(fā)生。另外，已知還有用研磨刷作為研磨工具的研磨裝置(例如，專利文獻(xiàn)3)，在專利文獻(xiàn)2中，作為工件研磨用刷子的例子，公開了用尼龍樹脂作為毛材而形成的刷子。作為該刷子，尼龍樹脂中含有金剛石粉末等磨?！，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)
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專利文獻(xiàn)1 日本特開平11-58222號公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本特開2008-213116號公報(bào)專利文獻(xiàn)3 日本特開2009-7觀90號公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所解決的技術(shù)問題那么，由于由金屬板及玻璃板加工而成的工件夾具的材質(zhì)比工件硬，因此，工件夾具旋轉(zhuǎn)時(shí)工件與工件保持用孔的壁面的接觸能夠?qū)е鹿ぜa(chǎn)生缺陷。由于該工件的缺陷部分成為異物，因而，如果該異物混入研磨布和工件之間，研磨時(shí)工件的被研磨面就會發(fā)生擦傷。另外，構(gòu)成專利文獻(xiàn)1中公開的工件夾具基材的芳綸纖維在其構(gòu)造中含有肽鍵， 因此吸水性優(yōu)異，但是由于肽鍵水解，因此，如果芳綸纖維吸水則發(fā)生變形。因此，如果該工件夾具的基材曝露于水分中，則發(fā)生翹曲或扭轉(zhuǎn)。另外，如果該工件夾具發(fā)生翹曲或扭轉(zhuǎn)， 則從工件夾具施加到工件上的力就產(chǎn)生偏移，因而存在著工件發(fā)生損傷的問題。另外，對于專利文獻(xiàn)1中公開的工件夾具，由于環(huán)氧樹脂不容易浸透芳綸纖維無紡布，因而，該芳綸纖維無紡布中能夠持有的環(huán)氧樹脂量小。因此，存在著構(gòu)成工件夾具的原料結(jié)合力弱的問題。另外，由于尼龍的剛性小，因此，作為用尼龍樹脂作為毛材的刷子，與工件接觸的毛材隨刷子的移動發(fā)生大幅度地彎曲。因此，毛材頂端不能充分地?fù)舸蚬ぜ?，因此，存在著單位時(shí)間內(nèi)的磨削量小的問題。另外，由于尼龍的熔點(diǎn)低，因此，容易因研磨時(shí)產(chǎn)生的摩擦熱而發(fā)生熔融。因此，尼龍制毛材難以保持耐久性，因而必須頻繁地進(jìn)行替換。另外，作為專利文獻(xiàn)2的刷子，摩擦熱導(dǎo)致作為毛材的尼龍樹脂熔融，尼龍樹脂內(nèi)部存在的金剛石粉末暴露于外部，有導(dǎo)致?lián)p害工件表面的隱患。另外，如果尼龍樹脂中金剛石粉末的分布不均勻，則磨削效果出現(xiàn)偏差，工件表面產(chǎn)生磨削不均。本發(fā)明是鑒于上述情況做出的，目的在于提供能夠防止工件夾具旋轉(zhuǎn)時(shí)，因工件與工件保持用孔壁面接觸而導(dǎo)致工件發(fā)生損傷，并且不會產(chǎn)生吸水導(dǎo)致的變形的工件夾具及其制造方法。另外，本發(fā)明另一個(gè)目的是提供使構(gòu)成工件夾具的原料達(dá)到牢固結(jié)合的工件夾具及其制造方法。另外，本發(fā)明另一個(gè)目的是提供耐久性優(yōu)異，同時(shí)能有效地磨削工件的刷子用毛材及其制造方法，以及使用該刷子用毛材的刷子。解決問題的技術(shù)方案為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的第一方面涉及的工件夾具，其特征在于，其是通過使工件在被夾持于上下臺面之間的狀態(tài)下相對于前述臺面進(jìn)行相對移動，從而使保持在工件保持用孔中的工件壓合在前述上下臺面上而研磨的工件夾具，該工件夾具具有將浸漬了環(huán)氧樹脂的平紋織物進(jìn)行多層層合的結(jié)構(gòu)，且前述平紋織物由聚醚醚酮樹脂構(gòu)成。優(yōu)選，其特征在于，前述平紋織物是通過以網(wǎng)狀織入前述聚醚醚酮樹脂而構(gòu)成的。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的第二方面涉及的工件夾具的制造方法，其特征在于， 其是通過使工件在被夾持于上下臺面之間的狀態(tài)下相對于前述臺面進(jìn)行相對移動，從而使保持在工件保持用孔中的工件壓合在前述上下臺面上而研磨的工件夾具的制造方法，該制造方法具有下述工序?qū)τ删勖衙淹獦渲瑯?gòu)成的平紋織物浸漬環(huán)氧樹脂的工序、將前述浸漬了環(huán)氧樹脂的平紋織物進(jìn)行多層層合的工序、對前述層合的多層平紋織物沿其層合方向進(jìn)行加壓同時(shí)進(jìn)行加熱的工序和將進(jìn)行了前述加壓及加熱的多層平紋織物沖壓加工成所希望形狀的工序。優(yōu)選，其特征在于，前述平紋織物是通過以網(wǎng)狀織入前述聚醚醚酮樹脂而構(gòu)成的。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的第三方面涉及的刷子用毛材，其特征在于其是對工件表面進(jìn)行研磨的刷子所使用的刷子用毛材，由聚醚醚酮樹脂形成。優(yōu)選其特征在于前述聚醚醚酮樹脂是結(jié)晶性樹脂。優(yōu)選其特征在于前述聚醚醚酮樹脂是非結(jié)晶性樹脂。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的第四方面涉及的刷子的特征在于，使用前述刷子用毛材。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的第五方面涉及的刷子用毛材的制造方法，其特征在于，其是制造對工件表面進(jìn)行研磨的刷子所使用的刷子用毛材的方法，該制造方法具有下述工序?qū)⒕勖衙淹獦渲斗诺綌D出模具內(nèi)的樹脂投放工序、對投放到前述擠出模具內(nèi)的前述聚醚醚酮樹脂進(jìn)行加熱熔融的加熱熔融工序、從擠出模具的排出口擠出處于熔融狀態(tài)的前述聚醚醚酮樹脂的擠出工序、和對從前述排出口擠出的前述聚醚醚酮樹脂冷卻的冷卻工序。優(yōu)選其特征在于，在前述冷卻工序之后，還具有對于前述聚醚醚酮樹脂一邊進(jìn)行再加熱一邊進(jìn)行強(qiáng)制拉伸的拉伸工序。優(yōu)選其特征在于，在前述拉伸工序中，前述聚醚醚酮樹脂的拉伸倍率設(shè)定為3倍以下。優(yōu)選其特征在于，在前述樹脂投放工序中，將非結(jié)晶性聚醚醚酮樹脂投放到前述擠出模具內(nèi)。優(yōu)選其特征在于，在前述樹脂投放工序中，將結(jié)晶性聚醚醚酮樹脂投放到前述擠出模具內(nèi)。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明，由于構(gòu)成工件夾具的平紋織物是由耐磨損性優(yōu)異、伸縮小的柔軟聚醚醚酮樹脂形成，因此能防止保持于工件保持用孔中的工件由于與工件保持用孔的壁面接觸而發(fā)生損傷。另外，由于聚醚醚酮具有不易吸水的性質(zhì)，因此可以防止吸水造成的工件夾具變形。因此，可以避免由于前述工件夾具變形引起工件夾具所保持的工件產(chǎn)生損傷。另外，通過使平紋織物呈現(xiàn)為網(wǎng)狀，在浸漬了環(huán)氧樹脂的平紋織物進(jìn)行多層層合的狀態(tài)下，進(jìn)入到各平紋織物的網(wǎng)絡(luò)間隙的環(huán)氧樹脂在平紋織物之間形成層并固化。結(jié)果， 平紋織物相互之間牢固地結(jié)合，因此各平紋織物不容易剝離。另外，根據(jù)本發(fā)明，由于刷子用毛材由剛性高的聚醚醚酮樹脂形成，因此，研磨時(shí)刷子用毛材產(chǎn)生的彎曲被抑制在小幅度。因此，刷子用毛材頂端可對工件進(jìn)行良好的擊打，因此刷子用毛材的磨削性能優(yōu)異。另外，由于聚醚醚酮樹脂的熔點(diǎn)高、耐熱性優(yōu)異，因此，刷子用毛材難以因研磨時(shí)的摩擦熱而產(chǎn)生熔融，耐久性優(yōu)異。


圖1顯示了本發(fā)明的實(shí)施方式中的工件夾具，(a)為工件夾具的平面圖，(b)為(a) 的B-B線剖面圖。圖2是顯示平紋織物的斜視圖。圖3是圖2的C-C線剖面圖。圖4是顯示圖1所示工件夾具被安裝于研磨裝置中的狀態(tài)的剖面圖。圖5是顯示使用本發(fā)明的實(shí)施方式中的刷子用毛材的刷子的正視圖。圖6是顯示刷子對工件進(jìn)行研磨的狀態(tài)的斜視圖。圖7是顯示工件研磨時(shí)刷子用毛材的重量隨時(shí)間變化的圖。圖8是顯示工件研磨時(shí)刷子用毛材損失量隨時(shí)間發(fā)展的圖。圖9是顯示以往工件夾具的平面圖。圖10是顯示圖9所示工件夾具被安裝于研磨裝置中的狀態(tài)的平面圖。圖11是圖10的A-A線剖面圖。
具體實(shí)施例方式以下，對于本發(fā)明的實(shí)施方式，一邊參照附圖一邊進(jìn)行詳細(xì)說明。圖1顯示了本發(fā)明的實(shí)施方式中涉及的工件夾具1，(a)為工件夾具1的平面圖，(b)為(a)的B-B線剖面圖。在圖1中，對于與圖9所示結(jié)構(gòu)對應(yīng)的結(jié)構(gòu)，標(biāo)注相同的符號。作為工件夾具1，與圖9所示的以往實(shí)例一樣，呈圓板狀，外周形成了齒輪11，同時(shí)還貫穿了 3個(gè)工件保持用孔12。由硅晶片、鋁盤、水晶振子等組成的被研磨工件被嵌合、保持在這些工件保持用孔12中。工件夾具1具有將浸漬了環(huán)氧樹脂的平紋織物13進(jìn)行多層層合所形成的結(jié)構(gòu) (參見圖1 (b))，整體厚度h設(shè)定為0. 2mm以上4. Omm以下。圖2為顯示平紋織物13的斜視圖，圖3為圖2的C-C線剖面圖。以下，參照這些圖對平紋織物13進(jìn)行詳細(xì)說明。平紋織物13是由聚醚醚酮(polyetheretherketone，以下記為PEEK)樹脂成型的單絲(以下記為PEEK單絲)以網(wǎng)狀織入而構(gòu)成的，具有規(guī)定尺寸的間隙S。作為間隙S，其尺寸被設(shè)計(jì)為在如下所述用環(huán)氧樹脂浸漬平紋織物13時(shí)，能夠通過環(huán)氧樹脂的表面張力保持住該環(huán)氧樹脂的尺寸。另外，PEEK單絲13a被成型為直徑Φ為0.06mm以上0. 13mm以下。該P(yáng)EEK單絲13a是將顆粒狀的PEEK樹脂投放到擠出模具內(nèi)，進(jìn)行加熱熔融并從擠出模具的排出口擠出，然后進(jìn)行冷卻而成型的。在本實(shí)施方式中是對使用PEEK單絲13a 的例子進(jìn)行說明，但是也可以將PEEK樹脂成型為復(fù)絲進(jìn)行使用。PEEK樹脂是由苯環(huán)通過醚和酮結(jié)合形成的直鏈狀聚合物，耐磨損性優(yōu)異，具有低伸縮性，并且富于柔軟性。還有，對于 PEEK樹脂，可以使用例如，“VESTAKEEP 2000G、VESTAKEEP 4000G”(日本大賽璐贏創(chuàng)株式會社制品)等市售產(chǎn)品。另外，作為PEEK單絲13a，可以在擠出模具內(nèi)加熱的同時(shí)，或者在擠壓成型模具中成型后，一邊再加熱(退火)一邊進(jìn)行強(qiáng)制拉伸，拉伸倍率優(yōu)選設(shè)為2. 5 2. 8。如果拉伸倍率大于2. 8，則PEEK單絲13a會在平紋織物13的制造中斷裂，或者制造的平紋織物13形成波動形狀。如果拉伸倍率小于2. 5，則制造的平紋織物13的間隙S的尺寸小，保持環(huán)氧樹脂時(shí)，該環(huán)氧樹脂會從間隙S中露出。工件夾具1是使用上述平紋織物13，經(jīng)過以下工序進(jìn)行制造的。首先，準(zhǔn)備多個(gè)圖2所示的平紋織物13，分別對這些織物浸漬環(huán)氧樹脂。此時(shí)，環(huán)氧樹脂進(jìn)入平紋織物13的網(wǎng)絡(luò)間隙S(參見圖2)，環(huán)氧樹脂的保持量大。接著，將浸漬了環(huán)氧樹脂的多個(gè)平紋織物13疊合后，沿層方向一邊對平紋織物13 進(jìn)行加壓一邊進(jìn)行加熱。結(jié)果，進(jìn)入網(wǎng)絡(luò)間隙S的環(huán)氧樹脂就在平紋織物13之間形成層并固化，因此平紋織物13相互之間牢固地結(jié)合。由此，平紋織物13相互之間難以剝離。然后，如果將結(jié)合的平紋織物13沖壓加工成所希望的形狀，就完成了圖1所示形狀的工件夾具1。圖4是圖11的對應(yīng)圖，是顯示將本實(shí)施方式的工件夾具1安裝在研磨裝置20上的狀態(tài)的剖面圖。以下，參照圖4，對將上述的工件夾具1安裝在研磨裝置20上，對工件W 進(jìn)行研磨時(shí)工件夾具1的作用、效果進(jìn)行說明。工件夾具1與圖11所示的以往實(shí)例相同，在保持工件W的狀態(tài)下使外周的齒輪11 與齒輪22嚙合，將工件W夾持在上下臺面21上，安裝在研磨裝置20中。這樣，如果驅(qū)動齒輪22，使工件夾具1相對于臺面21進(jìn)行相對移動，則工件W接觸并被擠壓于工件保持用孔 12的壁面1 上，與工件夾具1 一起移動。結(jié)果，工件W的表面與研磨布21a的表面壓合而受到研磨。在本實(shí)施方式中，由于工件夾具1是由用PEEK纖維作為原料的平紋織物13形成的，所以富于柔軟性。因此，工件夾具1旋轉(zhuǎn)時(shí)，可以防止工件W與壁面1 接觸所導(dǎo)致的損傷。另外，對工件W進(jìn)行研磨時(shí)，雖然工件W和研磨布21a之間流入了漿液，但構(gòu)成工件夾具1的PEEK樹脂在結(jié)構(gòu)中沒有肽鍵，因而吸水性低，不會吸收水分發(fā)生變形。因此，工件夾具1不發(fā)生翹曲或扭轉(zhuǎn)，因而可以防止從工件夾具1施加到工件W的力發(fā)生偏移，從而損傷工件W。另外，由于PEEK纖維的耐磨損性優(yōu)異，因而，即使在研磨工序的最后階段，使研磨布21a和工件夾具1接觸在一起，工件夾具1也不會因磨損而變形。另外，工件夾具1的表面狀態(tài)保持良好。另外，由于PEEK纖維的耐化學(xué)藥品性優(yōu)異，可以防止工件夾具1被研磨時(shí)漿液等化學(xué)藥品引起的腐蝕。另外，由于PEEK纖維很少放出氣體，不含有害物質(zhì)，對環(huán)境造成的負(fù)擔(dān)小。圖5是顯示具備本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的刷子用毛材31的刷子33的正視圖， 圖6是顯示用刷子33對工件W進(jìn)行研磨的狀態(tài)的斜視圖。以下一邊參照圖5及圖6，一邊對本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的刷子的結(jié)構(gòu)及作用進(jìn)行說明。刷子33具備圓環(huán)狀的金屬制輪35，在輪35的外周面上刷子用毛材31沿直徑方向向外突出大量植毛。如圖6所示，刷子33被安裝在通過馬達(dá)等驅(qū)動的旋轉(zhuǎn)軸37上，如果驅(qū)動旋轉(zhuǎn)軸 37，則刷子用毛材31被推壓到工件W上，使工件受到研磨。作為刷子用毛材31，與前述PEEK纖維13a —樣，使用顆粒狀PEEK樹脂作為原料， 用擠出模具進(jìn)行成型。對于PEEK樹脂，使用例如“VESTAKEEP 2000G、VESTAKEEP 4000G”(日本大賽璐贏創(chuàng)株式會社制品)等市售產(chǎn)品。另外，作為PEEK樹脂，除了前述性質(zhì)外，還具有剛性高、耐熱性優(yōu)異的性質(zhì)。本實(shí)施方式所涉及的刷子用毛材31由PEEK樹脂形成，剛性高，因此研磨時(shí)產(chǎn)生的頂端部彎曲小。因此，可以對工件W進(jìn)行良好地?fù)舸?，因而即使不含有金剛石等磨粒，也能夠獲得高磨削性能。另外，PEEK樹脂的熔點(diǎn)高，耐熱性優(yōu)異，因此，刷子用毛材31不會因研磨時(shí)的摩擦熱而發(fā)生熔融。因此，刷子用毛材31的耐久性優(yōu)異。另外，對于刷子用毛材31，用擠出模具成型后，可以一邊進(jìn)行再加熱(退火)一邊進(jìn)行強(qiáng)制拉伸。由此，由于刷子用毛材31的剛性高，因此可以對工件進(jìn)行更效地磨削。另外，如果不對刷子用毛材31進(jìn)行拉伸加工，則與進(jìn)行拉伸加工時(shí)相比，可減小研磨時(shí)毛材的損失量。另外，可以不進(jìn)行熱處理而賦予刷子用毛材31以卷曲性。另外，在進(jìn)行拉伸加工的情況下，優(yōu)選使刷子用毛材31的拉伸倍率為3倍以下。 如果拉伸倍率為3倍以下，則刷子用毛材31的剛性提高，因此可以對工件進(jìn)行有效地磨削。 還有，如果使拉伸倍率大于3倍，則刷子用毛材31承受蠕變載荷時(shí)容易發(fā)生斷裂。另外，對于刷子用毛材31，優(yōu)選由顆粒狀的PEEK樹脂進(jìn)行不間斷地拉伸加工。由此，對于刷子用毛材31，可以控制分子的交聯(lián)結(jié)構(gòu)，因此分子取向均勻，變得強(qiáng)韌。另外，也可以用非結(jié)晶性PEEK樹脂作為刷子用毛材31的原料。由此，可以得到具有高韌性的刷子用毛材31。在這種情況下，制造刷子用毛材31時(shí)，將非結(jié)晶性PEEK樹脂投放到擠出模具內(nèi)。另外，對非結(jié)晶性PEEK樹脂進(jìn)行拉伸加工時(shí)，可以使毛材的耐磨損性得到顯著的提高。另外，也可以用結(jié)晶性PEEK樹脂作為刷子用毛材31的原料。由此，與使用非結(jié)晶性PEEK樹脂作為原料的情況相比，容易將韌性的強(qiáng)度設(shè)定在所希望的范圍內(nèi)。在這種情況下，制造刷子用毛材31時(shí)，將結(jié)晶性PEEK樹脂投放到擠出模具內(nèi)。以下列出實(shí)施例及比較例，對本發(fā)明進(jìn)行更詳細(xì)地說明。表1中匯總了實(shí)施例1 至5及比較例1、2的刷子用毛材的制造條件。表 1
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權(quán)利要求
1.工件夾具，其特征在于，其為通過使工件在被夾持于上下臺面之間的狀態(tài)下相對于前述臺面進(jìn)行相對移動，從而使保持在工件保持用孔中的工件壓合在前述上下臺面上而研磨的工件夾具，該工件夾具具有將浸漬了環(huán)氧樹脂的平紋織物進(jìn)行多層層合的結(jié)構(gòu)，且前述平紋織物由聚醚醚酮樹脂構(gòu)成。
2.如權(quán)利要求1所述的工件夾具，其特征在于，前述平紋織物是通過以網(wǎng)狀織入前述聚醚醚酮樹脂而構(gòu)成的。
3.工件夾具的制造方法，其特征在于，其為通過使工件在被夾持于上下臺面之間的狀態(tài)下相對于前述臺面進(jìn)行相對移動，從而使保持在工件保持用孔中的工件壓合在前述上下臺面上而研磨的工件夾具的制造方法，該制造方法具有下述工序?qū)τ删勖衙淹獦渲瑯?gòu)成的平紋織物浸漬環(huán)氧樹脂的工序、將前述浸漬了環(huán)氧樹脂的平紋織物進(jìn)行多層層合的工序、對前述層合的多層平紋織物沿其層合方向進(jìn)行加壓同時(shí)進(jìn)行加熱的工序和將進(jìn)行了前述加壓及加熱的多層平紋織物沖壓加工成所希望形狀的工序。
4.如權(quán)利要求3所述的工件夾具的制造方法，其特征在于，前述平紋織物是通過以網(wǎng)狀織入前述聚醚醚酮樹脂而構(gòu)成的。
5.刷子用毛材，其特征在于，其為對工件表面進(jìn)行研磨的刷子所使用的刷子用毛劑，其由聚醚醚酮樹脂形成。
6.如權(quán)利要求5所述的刷子用毛材，其特征在于，前述聚醚醚酮樹脂是結(jié)晶性樹脂。
7.如權(quán)利要求5所述的刷子用毛材，其特征在于，前述聚醚醚酮樹脂是非結(jié)晶性樹脂。
8.刷子，其特征在于，使用權(quán)利要求5至7中任一項(xiàng)所述的刷子用毛材。
9.刷子用毛材的制造方法，其特征在于，其為制造對工件表面進(jìn)行研磨的刷子所使用的刷子用毛材的方法，該制造方法具有下述工序?qū)⒕勖衙淹獦渲斗诺綌D出模具內(nèi)的樹脂投放工序、對投放到前述擠出模具內(nèi)的前述聚醚醚酮樹脂進(jìn)行加熱熔融的加熱熔融工序、從擠出模具的排出口擠出處于熔融狀態(tài)的前述聚醚醚酮樹脂的擠出工序和使從前述排出口擠出的前述聚醚醚酮樹脂冷卻的冷卻工序。
10.如權(quán)利要求9所述的刷子用毛材的制造方法，其特征在于，在前述冷卻工序之后， 還具有對于前述聚醚醚酮樹脂一邊進(jìn)行再加熱一邊進(jìn)行強(qiáng)制拉伸的拉伸工序。
11.如權(quán)利要求10所述的刷子用毛材的制造方法，其特征在于，在前述拉伸工序中，前述聚醚醚酮樹脂的拉伸倍率設(shè)定為3倍以下。
12.如權(quán)利要求9至11中任一項(xiàng)所述的刷子用毛材的制造方法，其特征在于，在前述樹脂投放工序中，將非結(jié)晶性聚醚醚酮樹脂投放到前述擠出模具內(nèi)。
13.如權(quán)利要求9至11中任一項(xiàng)所述的刷子用毛材的制造方法，其特征在于，在前述樹脂投放工序中，將結(jié)晶性聚醚醚酮樹脂投放到前述擠出模具內(nèi)。
全文摘要
工件夾具(1)呈圓板狀，外周形成了齒輪(11)，同時(shí)還貫穿了3個(gè)工件保持用孔(12)，具有將浸漬了環(huán)氧樹脂的平紋織物(13)進(jìn)行多層層合的結(jié)構(gòu)。平紋織物(13)是由聚醚醚酮樹脂成型的單絲以網(wǎng)狀織入而構(gòu)成的，具有規(guī)定尺寸的間隙(S)。作為間隙(S)，其尺寸被設(shè)計(jì)為在使環(huán)氧樹脂對平紋織物(13)浸漬時(shí)，能夠通過環(huán)氧樹脂的表面張力保持住該環(huán)氧樹脂的尺寸。
文檔編號B24B37/11GK102387894SQ20108001601
公開日2012年3月21日 申請日期2010年4月12日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月13日
發(fā)明者小出俊彥 申請人:株式會社有恒商會