專利名稱：蒸發(fā)源裝置及鍍膜方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種蒸發(fā)源裝置及鍍膜方法，尤其涉及一種在離子輔助蒸鍍系統(tǒng)或者電子束蒸鍍系統(tǒng)中使用的蒸發(fā)源裝置及鍍膜方法。
背景技術(shù)：
一般在離子輔助蒸鍍(IAD)的系統(tǒng)或者電子束蒸鍍系統(tǒng)中是將預(yù)鍍材料(顆粒狀)放入金屬坩鍋內(nèi)，并經(jīng)由高電子束打擊坩鍋內(nèi)的鍍材表面，使之受熱熔融(預(yù)融)后經(jīng) 冷卻并形成平整光滑表面，以供后續(xù)真空鍍膜使用。然而，由于電子束瞬間產(chǎn)生的能量太高，當(dāng)對特定鍍材(如二氧化硅)進行打擊預(yù)融時，由于二氧化硅的熔點溫度接近于其蒸發(fā)溫度，所以當(dāng)二氧化硅熔化成液態(tài)的同時也會由于電子束瞬間的高溫而部分蒸發(fā)成氣體，變成氣體的部份就會在鍍材表面留下孔隙，從而造成熔融后的鍍材表面不致密，影響后續(xù)鍍膜效果。另外用電子束對高折射率鍍材(例如Ti02)進行預(yù)融時，會產(chǎn)生刺眼的強光，當(dāng)觀察者要透過窗口玻璃觀察融藥狀況時就會造成眼睛刺激，使眼疾(如青光眼)的機會增加。并且，電子束因為為定點打擊鍍材，常會因為溫度變化太快而發(fā)生噴藥的情況，這樣就會導(dǎo)致有鍍材粉?；旌显诳諝庵卸绊懬惑w的潔凈度，當(dāng)對該腔體進行抽真空時，混合在空氣中的鍍材粉?？赡軙p壞抽真空泵。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，提供一種能夠解決上述問題的蒸發(fā)源裝置及鍍膜方法實為必要。一種蒸發(fā)源裝置，其包括坩堝，其用于承裝鍍材；收容部，其用于收容該坩堝；火焰加熱單元，其設(shè)置在該坩堝下方用于對盛裝在該坩堝內(nèi)的鍍材進行預(yù)融；驅(qū)動單元，其用于驅(qū)動該坩堝在該收容部內(nèi)進行翻轉(zhuǎn)以使鍍材均勻受熱；以及電子束發(fā)射源，其用于發(fā)射電子束以對鍍材進行打擊使其蒸發(fā)。一種鍍膜方法，其包括如下步驟提供一個如上所述的蒸發(fā)源裝置；將鍍材放置于該坩堝內(nèi)；啟動該火焰加熱單元對該鍍材進行加熱預(yù)融；啟動該驅(qū)動單元以驅(qū)動該坩堝在該收容部內(nèi)翻轉(zhuǎn)以使該鍍材均勻受熱；啟動該電子束發(fā)射源發(fā)射電子束對預(yù)融完成的鍍材進行打擊以蒸發(fā)鍍材。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明所提供的該蒸發(fā)源裝置及鍍膜方法采用了火焰加熱單元與電子束發(fā)射源的電子束打擊相結(jié)合的方式來蒸發(fā)鍍材。由于火焰加熱單元的能量可控，避免了由于瞬間高溫而導(dǎo)致鍍材蒸發(fā)的情況發(fā)生，并且采用火焰加熱單元對鍍材進行加熱預(yù)融還可以避免鍍材在預(yù)融過程中發(fā)出刺眼光芒，有利于操作者觀察鍍材的預(yù)融狀況，降低了操作者眼睛受傷的機率，另外，采用火焰加熱單元對鍍材進行預(yù)融也完全避免了鍍材在預(yù)融過程中所發(fā)生的噴藥的情況，保證了鍍膜腔體的潔凈度。


圖I是本發(fā)明實施方式所提供的蒸發(fā)源裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是圖I所示的蒸發(fā)源裝置的結(jié)構(gòu)分解示意圖。圖3是沿圖I中III-III線的剖面圖。主要元件符號說明
權(quán)利要求
1.一種蒸發(fā)源裝置，其包括 坩堝，其用于承裝鍍材； 收容部，其用于收容該坩堝； 火焰加熱單元，其設(shè)置在該坩堝下方用于對盛裝在該坩堝內(nèi)的鍍材進行預(yù)融； 驅(qū)動單元，其用于驅(qū)動該坩堝在該收容部內(nèi)進行翻轉(zhuǎn)以使鍍材均勻受熱；以及 電子束發(fā)射源，其用于發(fā)射電子束對鍍材進行打擊以蒸發(fā)該鍍材。
2.如權(quán)利要求I所述的蒸發(fā)源裝置，其特征在于該火焰加熱單元為氫氧焰發(fā)射裝置。
3.如權(quán)利要求I所述的蒸發(fā)源裝置，其特征在于該坩堝包括上底面、下底面以及與該上、下底面均連接的第二環(huán)形側(cè)壁，該上底面、下底面以及第二環(huán)形側(cè)壁共同定義出第二收容腔用于承放鍍材，該上底面、下底面中至少有一個底面上開設(shè)有多個網(wǎng)孔。
4.如權(quán)利要求I所述的蒸發(fā)源裝置，其特征在于該收容部包括一個底面以及與該底面連接的第一環(huán)形側(cè)壁，該底面與該第一環(huán)形側(cè)壁共同定義出第一收容腔用于收容該坩堝。
5.如權(quán)利要求I所述的蒸發(fā)源裝置，其特征在于該火焰加熱單元設(shè)置在該收容部的底面，該火焰加熱單元具有一個火焰噴射嘴，該火焰噴射嘴貫穿該收容部的底面以對該坩禍進行加熱。
6.如權(quán)利要求I所述的蒸發(fā)源裝置，其特征在于該驅(qū)動單元設(shè)置在該收容部的第一環(huán)形側(cè)壁上，該驅(qū)動單元包括一個驅(qū)動軸，該驅(qū)動軸與該坩堝固定連接，該驅(qū)動單元藉由該驅(qū)動軸驅(qū)動該坩堝在該收容部內(nèi)翻轉(zhuǎn)。
7.一種鍍膜方法，其包括如下步驟 提供一個如權(quán)利要求I至6任一項所述的蒸發(fā)源裝置； 將鍍材放置于該坩堝內(nèi)； 啟動該火焰加熱單元對該鍍材進行加熱預(yù)融； 啟動該驅(qū)動單元以驅(qū)動該坩堝在該收容部內(nèi)翻轉(zhuǎn)以使該鍍材均勻受熱； 啟動該電子束發(fā)射源發(fā)射電子束對預(yù)融完成的鍍材進行打擊以蒸發(fā)該鍍材。
全文摘要
一種蒸發(fā)源裝置，其包括坩堝，其用于承裝鍍材；收容部，其用于收容該坩堝；火焰加熱單元，其設(shè)置在該坩堝下方用于加熱該坩堝以對盛裝在該坩堝內(nèi)的鍍材進行預(yù)融；驅(qū)動單元，其用于在該火焰加熱單元進行加熱時驅(qū)動該坩堝在該收容部內(nèi)進行翻轉(zhuǎn)，以使承裝在該坩堝內(nèi)的鍍材均勻受熱；以及電子束發(fā)射源，其用于發(fā)射電子束以對預(yù)融完成的鍍材進行打擊使其蒸發(fā)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明所提供的該蒸發(fā)源裝置采用了火焰加熱單元與電子束發(fā)射源的電子束打擊相結(jié)合的方式來蒸發(fā)鍍材，避免了采用電子束來對鍍材進行預(yù)融過程中所產(chǎn)生噴藥等不良因素的發(fā)生。本發(fā)明還涉及一種使用上述蒸發(fā)源裝置的鍍膜方法。
文檔編號C23C14/32GK102776480SQ201110122238
公開日2012年11月14日 申請日期2011年5月12日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月12日
發(fā)明者裴紹凱 申請人:鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司, 鴻海精密工業(yè)股份有限公司