專利名稱：含過濾結(jié)構(gòu)的電阻蒸發(fā)鍍膜機的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種電阻蒸發(fā)鍍膜機。
背景技術：
在真空中制備膜層，包括鍍制晶態(tài)的金屬、半導體、絕緣體等單質(zhì)或化合物膜。通過加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面，稱為蒸發(fā)鍍膜。蒸發(fā)物質(zhì)如金屬、化合物等置于坩堝內(nèi)或掛在熱絲上作為蒸發(fā)源，待鍍工件，如金屬、陶瓷、塑料等基片置于坩堝前方。待系統(tǒng)抽至高真空后，加熱坩堝使其中的物質(zhì)蒸發(fā)。蒸發(fā)物質(zhì)的原子或分子以冷凝方式沉積在基片表面。薄膜厚度可由數(shù)百埃至數(shù)微米。膜厚決定于蒸發(fā)源的蒸發(fā)速率和時間(或決定于裝料量)，并與源和基片的距離有關。對于大面積鍍膜，常采用旋轉(zhuǎn)基片或多蒸發(fā)源的方式以保證膜層厚度的均勻性。從蒸發(fā)源到基片的距離應小于蒸氣分子在殘余氣體中的平均自由程，以免蒸氣分子與殘氣分子碰撞引起化學作用。蒸氣分子平均動能約為0. 1 0. 2 電子伏。蒸發(fā)源有三種類型。①電阻加熱源用難熔金屬如鎢、鉭制成舟箔或絲狀，通以電流，加熱在它上方的或置于坩堝中的蒸發(fā)物質(zhì)，電阻加熱源主要用于蒸發(fā)Cd、Pb、Ag、Al、Cu、 Cr、Au、M等材料。②高頻感應加熱源用高頻感應電流加熱坩堝和蒸發(fā)物質(zhì)。③電子束加熱源適用于蒸發(fā)溫度較高的材料，即用電子束轟擊材料使其蒸發(fā)。蒸發(fā)鍍膜與其他真空鍍膜方法相比，具有較高的沉積速率，可鍍制單質(zhì)和不易熱分解的化合物膜，為沉積高純單晶膜層。鍍膜機是一套聯(lián)體的管路系統(tǒng)，在抽真空過程中，真空室與前面的機械泵，羅茨泵，還有擴散泵都相通，雖然氣體都是從真空室往機械泵方向排出，從而達到高真空效果， 但是在抽真空過程中會相繼開相關的上下伐門及主伐，在開伐門的過程中并會使前面各個機械及擴散泵中的油氣往真空室內(nèi)返回，這樣就會污染到真空室及里面的有效工件，使產(chǎn)品鍍黑或者鍍花掉。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供含過濾結(jié)構(gòu)的電阻蒸發(fā)鍍膜機，可以有效地解決現(xiàn)有鍍膜機抽真空過程中會相繼開相關的上下伐門及主伐，在開伐門的過程中并會使前面各個機械及擴散泵中的油氣往真空室內(nèi)返回，這樣就會污染到真空室及里面的有效工件，使產(chǎn)品鍍黑或者鍍花的問題。為了解決上述技術問題，本發(fā)明采用如下技術方案含過濾結(jié)構(gòu)的電阻蒸發(fā)鍍膜機，包括鍍膜機的機體、以及與機體連接的管道，其特征在于管道與機體相接的開口處設有過濾件，過濾件在朝向機體的一側(cè)設有格柵，格柵通過固定連接在管道上而將過濾件固定在開口處。進一步，管道內(nèi)設有一體的螺栓，螺栓穿過格柵與螺母連接，將格柵固定連接在管道中。進一步，螺母與格柵之間設有墊圈。
3
進一步，鍍膜機包括工件架底座，工件架底座上設有蒸發(fā)電極桿支架，蒸發(fā)電極桿支架之間連接有蒸發(fā)電極桿，蒸發(fā)電極桿上設有蒸發(fā)夾具，蒸發(fā)夾具之間設有鎢舟，鎢舟上繞有鉬絲。進一步，蒸發(fā)電極桿支架上轉(zhuǎn)動連接有上擋板。優(yōu)選的，蒸發(fā)電極桿支架上連接有擋板主桿，擋板主桿在蒸發(fā)電極桿支架上進行自轉(zhuǎn)，擋板主桿上固定連接有擋板支肋骨，擋板支肋骨固定連接上擋板，上擋板通過擋板支肋骨和擋板主桿轉(zhuǎn)動連接在蒸發(fā)電極桿支架上。優(yōu)選的，擋板主桿上分別設有上支撐桿和下支撐桿，蒸發(fā)電極桿支架端部分別設有與上支撐桿和下支撐桿對應的上限位桿和下限位桿，當擋板主桿轉(zhuǎn)動至上支撐桿抵住上限位桿時，上擋板蓋于蒸發(fā)電極桿支架上方；當擋板主桿轉(zhuǎn)動至下支撐桿抵住下限位桿時， 上擋板脫離對蒸發(fā)電極桿支架的遮蓋。優(yōu)選的，蒸發(fā)電極桿支架上固定連接有下?lián)醢?，下?lián)醢彘_口朝向上擋板。本發(fā)明由于采用了上述技術方案，具有以下有益效果裝上過濾器后可以有效過濾油氣，避免對工件造成污染，從而使產(chǎn)品更加完美，透亮，且過濾器方便拆裝、清洗及更換。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單、制造簡便、成本低，實用性強。


下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步說明圖1為本發(fā)明含過濾結(jié)構(gòu)的電阻蒸發(fā)鍍膜機的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為過濾結(jié)構(gòu)的示意圖；圖3為過濾結(jié)構(gòu)各部件的分解示意圖；圖4為圖1中的K向結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本發(fā)明鎢舟結(jié)構(gòu)的示意圖。
具體實施例方式如圖1至圖5所示，為本發(fā)明含過濾結(jié)構(gòu)的電阻蒸發(fā)鍍膜機，包括鍍膜機的機體 10、以及與機體10連接的管道11，管道11與機體10相接的開口處15設有過濾件12，過濾件12在朝向機體10的一側(cè)設有格柵13，格柵13通過固定連接在管道11上而將過濾件12 固定在開口處15。開口處15內(nèi)設有一體的螺栓(圖中未畫出)，螺栓依次穿過過濾件12 和格柵13后，通過墊圈16和螺母14，實現(xiàn)過濾件12和格柵13的固定連接。鍍膜機包括工件架底座1，工件架底座1上前后設有兩個工件架輪骨2，工件架輪骨2之間設有若干工件架掛件支架3，各工件架掛件支架3之間相互平行，保證兩個工件架輪骨2的連接以及整體工件架的強度。工件架底座1上設有蒸發(fā)電極桿支架4，蒸發(fā)電極桿支架4間連接有蒸發(fā)電極桿5，蒸發(fā)電極桿5上設有蒸發(fā)夾具51，蒸發(fā)夾具51之間設有鎢舟8，鎢舟8上繞有鉬絲 9。蒸發(fā)電極桿支架4上轉(zhuǎn)動連接有上擋板6，蒸發(fā)電極桿支架4上固定連接有下?lián)醢?，下?lián)醢?開口朝向上擋板6。蒸發(fā)電極桿支架4上連接有擋板主桿61，擋板主桿61在蒸發(fā)電極桿支架4上進行自轉(zhuǎn)，擋板主桿61可以通過連接在鍍膜機外部直接進行操作，擋板主桿 61上固定連接有擋板支肋骨62，擋板支肋骨62固定連接上擋板6，上擋板6通過擋板支肋骨62和擋板主桿61轉(zhuǎn)動連接在蒸發(fā)電極桿支架4上。擋板主桿61上分別設有上支撐桿63和下支撐桿64，蒸發(fā)電極桿支架4端部分別設有與上支撐桿63和下支撐桿64對應的上限位桿65和下限位桿66，當擋板主桿61轉(zhuǎn)動至上支撐桿63抵住上限位桿65時，上擋板6 蓋于蒸發(fā)電極桿支架4上方；當擋板主桿61轉(zhuǎn)動至下支撐桿64抵住下限位桿66時，上擋板6脫離對蒸發(fā)電極桿支架4的遮蓋。 以上僅為本發(fā)明的具體實施例，但本發(fā)明的技術特征并不局限于此，任何以本發(fā)明為基礎，為實現(xiàn)基本相同的技術效果，所作出地簡單變化、等同替換或者修飾等，皆涵蓋于本發(fā)明的保護范圍之中。
權利要求
1.含過濾結(jié)構(gòu)的電阻蒸發(fā)鍍膜機，包括鍍膜機的機體(10)、以及與所述機體(10)連接的管道(11)，其特征在于所述管道(11)與機體(10)相接的開口處(15)設有過濾件(12)， 所述過濾件(1 在朝向機體(10)的一側(cè)設有格柵(13)，所述格柵(1 通過固定連接在管道(11)上而將所述過濾件(12)固定在開口處(15)。
2.根據(jù)權利要求1所述的含過濾結(jié)構(gòu)的電阻蒸發(fā)鍍膜機，其特征在于所述管道(11) 內(nèi)設有一體的螺栓，螺栓穿過所述格柵(1 與螺母(14)連接，將格柵(1 固定連接在管道(11)中。
3.根據(jù)權利要求2所述的含過濾結(jié)構(gòu)的電阻蒸發(fā)鍍膜機，其特征在于所述螺母(14) 與格柵(13)之間設有墊圈(16)。
4.根據(jù)權利要求1所述的含過濾結(jié)構(gòu)的電阻蒸發(fā)鍍膜機，其特征在于所述鍍膜機包括工件架底座(1)，所述工件架底座(1)上設有蒸發(fā)電極桿支架G)，所述蒸發(fā)電極桿支架 (4)之間連接有蒸發(fā)電極桿(5)，所述蒸發(fā)電極桿( 上設有蒸發(fā)夾具(51)，所述蒸發(fā)夾具 (51)之間設有鎢舟(8)，所述鎢舟(8)上繞有鉬絲(9)。
5.根據(jù)權利要求4所述的含過濾結(jié)構(gòu)的電阻蒸發(fā)鍍膜機，其特征在于所述蒸發(fā)電極桿支架(4)上轉(zhuǎn)動連接有上擋板(6)。
6.根據(jù)權利要求5所述的含過濾結(jié)構(gòu)的電阻蒸發(fā)鍍膜機，其特征在于所述蒸發(fā)電極桿支架(4)上連接有擋板主桿(61)，所述擋板主桿(61)在蒸發(fā)電極桿支架(4)上進行自轉(zhuǎn)，所述擋板主桿(61)上固定連接有擋板支肋骨(62)，所述擋板支肋骨(6 固定連接所述上擋板(6)，所述上擋板(6)通過擋板支肋骨(6 和擋板主桿(61)轉(zhuǎn)動連接在蒸發(fā)電極桿支架⑷上。
7.根據(jù)權利要求6所述的含過濾結(jié)構(gòu)的電阻蒸發(fā)鍍膜機，其特征在于所述擋板主桿 (61)上分別設有上支撐桿(6 和下支撐桿(64)，所述蒸發(fā)電極桿支架(4)端部分別設有與上支撐桿(6 和下支撐桿(64)對應的上限位桿(6 和下限位桿(66)，當所述擋板主桿(61)轉(zhuǎn)動至上支撐桿(6 抵住上限位桿(6 時，所述上擋板(6)蓋于蒸發(fā)電極桿支架 (4)上方；當所述擋板主桿(61)轉(zhuǎn)動至下支撐桿(64)抵住下限位桿(66)時，所述上擋板 (6)脫離對蒸發(fā)電極桿支架的遮蓋。
8.根據(jù)權利要求5或6或7所述的含過濾結(jié)構(gòu)的電阻蒸發(fā)鍍膜機，其特征在于所述蒸發(fā)電極桿支架(4)上固定連接有下?lián)醢?7)，所述下?lián)醢?7)開口朝向上擋板(6)。
全文摘要
本發(fā)明公開了含過濾結(jié)構(gòu)的電阻蒸發(fā)鍍膜機，包括鍍膜機的機體、以及與機體連接的管道，管道與機體相接的開口處設有過濾件，過濾件在朝向機體的一側(cè)設有格柵，格柵通過固定連接在管道上而將過濾件固定在開口處，管道內(nèi)設有一體的螺栓，螺栓穿過格柵與螺母連接，將格柵固定連接在管道中，螺母與格柵之間設有墊圈。本發(fā)明可以有效過濾油氣，避免對工件造成污染，從而使產(chǎn)品更加完美，透亮，且過濾器方便拆裝、清洗及更換。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單、制造簡便、成本低，實用性強。
文檔編號C23C14/26GK102230157SQ201110159428
公開日2011年11月2日 申請日期2011年6月14日 優(yōu)先權日2011年6月14日
發(fā)明者張婷, 胡永強 申請人:胡永強