專利名稱：延長拋光布墊使用壽命的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種延長拋光布墊使用壽命的方法。

背景技術(shù)：
隨著市場競爭的日益激烈，生產(chǎn)成本已成為影響硅片生產(chǎn)公司發(fā)展的一個重要因素。硅片生產(chǎn)過程中，重要的一步處理工藝是對硅片進(jìn)行拋光處理?，F(xiàn)有技術(shù)中，拋光工藝主要采用拋光布墊拋光。每次拋光加工完成后，由于硅片的化學(xué)機(jī)械拋光產(chǎn)生的反應(yīng)物、 拋光液粒子的沉淀物及拋光布墊本身的磨耗等其他物質(zhì)，會使拋光布墊表面產(chǎn)生板結(jié)(硬化)現(xiàn)象，從而降低硅片的研磨速率，增加劃傷硅片表面的風(fēng)險?，F(xiàn)有技術(shù)中，僅在每次拋光之后，使用水刀刷洗拋光布墊，無法徹底清除拋光布墊表面沉積的物質(zhì)?，F(xiàn)有技術(shù)中使用的拋光布墊，使用至1200min時，其移除率降低至0. 7左右，研磨速率大大降低。拋光布墊使用壽命過短，成為拋光過程成本高的重要因素。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種提高拋光布墊使用壽命的方法。為實現(xiàn)以上目的，本發(fā)明通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)延長拋光布墊使用壽命的方法，其特征在于，在拋光布墊使用過程中，使用KOH水溶液清洗拋光布墊。優(yōu)選地是，在拋光布墊使用過程中，每使用70-100分鐘，使用KOH水溶液清洗拋光
布墊一次。優(yōu)選地是，所述的KOH水溶液中，KOH重量與水溶液總重量比為1 10 30優(yōu)選地是，使用KOH水溶液清洗拋光布墊時，采用流動的KOH水溶液沖洗拋光布墊表面，KOH水溶液的流速為0. 5 2L/min ；時間為1 3分鐘。優(yōu)選地是，每使用20-30分鐘，使用水刀清洗拋光布墊一次。本發(fā)明中，利用KOH水溶液清洗拋光布墊，可有效去除拋光布墊表面沉積的物質(zhì)， 緩解拋光布墊表面的板結(jié)現(xiàn)象。使用本發(fā)明方法處理的拋光布墊使用1500分鐘時的移除率，與未使用本發(fā)明方法處理的拋光布墊使用1200分鐘時的移除率相同，也就是說本發(fā)明方法可將拋光布墊的使用壽命延長300分鐘。


圖1為未使用KOH水溶液清洗拋光布墊情況下生產(chǎn)的硅片TTV曲線。圖2為使用KOH水溶液清洗拋光布墊情況下生產(chǎn)的硅片TTV曲線。圖3為未使用KOH水溶液清洗的A生產(chǎn)線的拋光布墊移除率隨使用時間的變化曲線及使用KOH水溶液清洗的B生產(chǎn)線的拋光布墊移除率隨使用時間的變化曲線對比圖。Y 軸為TTV平均值，X軸為時間。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)的描述各實施例中的KOH溶液的配比情況如表1所示表 權(quán)利要求
1.延長拋光布墊使用壽命的方法，其特征在于，在拋光布墊使用過程中，使用KOH水溶液清洗拋光布墊。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的延長拋光布墊使用壽命的方法，其特征在于，在拋光布墊使用過程中，每使用70-100分鐘，使用KOH水溶液清洗拋光布墊一次。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的延長拋光布墊使用壽命的方法，其特征在于，所述的KOH 水溶液中，KOH重量與水溶液總重量比為1 10 30。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的延長拋光布墊使用壽命的方法，其特征在于，使用KOH水溶液清洗拋光布墊時，采用流動的KOH水溶液沖洗拋光布墊表面，KOH水溶液的流速為0. 5 2L/min ；時間為1 3分鐘。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的延長拋光布墊使用壽命的方法，其特征在于，每使用 20-30分鐘，使用水刀清洗拋光布墊一次。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種延長拋光布墊使用壽命的方法，其特征在于，在拋光布墊使用過程中，使用KOH水溶液清洗拋光布墊。本發(fā)明中，利用KOH水溶液清洗拋光布墊，可有效去除拋光布墊表面沉積的物質(zhì)，緩解拋光布墊表面的板結(jié)現(xiàn)象。使用本發(fā)明方法處理的拋光布墊使用1500分鐘時的移除率，與未使用本發(fā)明方法處理的拋光布墊使用1200分鐘時的移除率相同，也就是說本發(fā)明方法可將拋光布墊的使用壽命延長300分鐘。
文檔編號B24D13/00GK102343562SQ20111023190
公開日2012年2月8日 申請日期2011年8月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月14日
發(fā)明者汪祖一, 鄒曉明 申請人:上海合晶硅材料有限公司