專利名稱：遮蔽裝置及具有遮蔽裝置的觀察窗的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種遮蔽裝置及具有該遮蔽裝置的觀察窗。
背景技術(shù)：
物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition,簡稱PVD),是一種利用物理方式在基材上沉積薄膜的技術(shù)。物理氣相沉積技術(shù)包括蒸發(fā)鍍、濺射鍍和離子鍍等。無論那種鍍膜方式，在基材沉積成膜的過程中，靶材原子或離子彌散于整個反應(yīng)室內(nèi)，因此凡是沒有阻隔的地方，都會有靶材原子或離子沉積成膜，例如設(shè)備的轉(zhuǎn)架、治具、反應(yīng)室內(nèi)壁等等部位。當(dāng)上述部件上沉積的薄膜達到一定厚度時，會造成設(shè)備抽氣速度下降，延長生產(chǎn)周期。因此需要對設(shè)備進行保養(yǎng)，采用噴砂去除上述部件表面膜層。同樣，沉積過程中，靶材原子或離子也會在觀察窗玻璃上沉積。盡管現(xiàn)有PVD鍍膜設(shè)備本身對觀察窗玻璃也有一定的保護措施，例如在觀察窗玻璃前方設(shè)置一個旋轉(zhuǎn)的擋片，通過打開或關(guān)閉擋片保護玻璃；或者通過可以旋轉(zhuǎn)重迭的旋片來保護觀察窗玻璃。但上述保護措施中擋片或旋片距離觀察窗玻璃還有一定距離，由于離子的繞射性，最終還是有離子沉積到觀察窗玻璃上成膜。當(dāng)觀察窗玻璃上離子沉積成膜以后，有以下幾點不利影響(I)玻璃上沉積薄膜以后，難以觀察到反應(yīng)室內(nèi)的狀況，如靶材上輝光或弧光的運行狀況、基材上的鍍膜情況等；(2)當(dāng)觀察窗玻璃上沉積薄膜到一定厚度以后，再也難以觀察到反應(yīng)室內(nèi)情況，就需要更換觀察窗玻璃。當(dāng)進行大規(guī)模的量產(chǎn)時，操作員忘記將觀察窗前方的擋片旋緊的失誤時有發(fā)生，造成高頻率地更換觀察窗玻璃，從而造成停工的損失和制程的不穩(wěn)定；(3)觀察窗玻璃更換下來以后，常用的方法是將其用砂紙打磨，將表面薄膜去除，但由于砂紙的砂粒較大，會在觀察窗玻璃上帶來很多較深的劃痕，影響觀察窗玻璃的觀察效果和美觀。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于以上內(nèi)容，有必要提供一種遮蔽裝置及一種具有遮蔽裝置的觀察窗，其可保護PVD設(shè)備的觀察窗玻璃免受沉積。一種遮蔽裝置，用于保護觀察窗的觀察窗玻璃免受離子沉積，其中，該遮蔽裝置包括環(huán)形卡具、膠圈及普通玻璃所述環(huán)形卡具外圍環(huán)設(shè)有一第一凹槽，所述膠圈套設(shè)在該第一凹槽中；所述環(huán)形卡具內(nèi)側(cè)為一中空結(jié)構(gòu)；及所述環(huán)形卡具內(nèi)壁環(huán)設(shè)有一第二凹槽，所述普通玻璃卡設(shè)于該第二凹槽中。一種具有遮蔽裝置的觀察窗，包括觀察窗玻璃、反應(yīng)室腔體及連接該觀察窗玻璃和腔室的觀察窗內(nèi)壁，其中所述觀察窗還包括一遮蔽裝置，該遮蔽裝置包括環(huán)形卡具、膠圈及普通玻璃所述環(huán)形卡具外圍環(huán)設(shè)有一第一凹槽，所述膠圈套設(shè)在該第一凹槽中；所述環(huán)形卡具內(nèi)側(cè)為一中空結(jié)構(gòu)；及所述環(huán)形卡具內(nèi)壁環(huán)設(shè)有一第二凹槽，所述普通玻璃卡設(shè)于該第二凹槽中。該遮蔽裝置收容于觀察窗內(nèi)壁之間，并卡設(shè)于該觀察窗玻璃和反應(yīng)室腔體之間。
上述遮蔽裝置及具有該遮蔽裝置的觀察窗，可保護PVD設(shè)備的觀察窗玻璃免受沉積，并可對更換下來的普通玻璃，達到完全去除表面薄膜，但又不損傷玻璃的目的。


圖I是本發(fā)明具有遮蔽裝置的PVD設(shè)備觀察窗的較佳實施方式的示意圖。圖2是圖I中具有遮蔽裝置的觀察窗沿A-A方向的剖面圖。圖3是圖I中環(huán)形卡具沿B-B方向的剖面圖。主要元件符號說明
權(quán)利要求
1.一種遮蔽裝置，用于保護觀察窗的觀察窗玻璃免受離子沉積，其特征在于，該遮蔽裝置包括環(huán)形卡具、膠圈及普通玻璃所述環(huán)形卡具外圍環(huán)設(shè)有一第一凹槽，所述膠圈套設(shè)在該第一凹槽中；所述環(huán)形卡具內(nèi)側(cè)為一中空結(jié)構(gòu)；及所述環(huán)形卡具內(nèi)壁環(huán)設(shè)有一第二凹槽，所述普通玻璃卡設(shè)于該第二凹槽中。
2.如權(quán)利要求I所述的遮蔽裝置，其特征在于所述環(huán)形卡具的直徑為普通玻璃的2倍至5倍。
3.如權(quán)利要求I所述的遮蔽裝置，其特征在于所述膠圈呈O型，該膠圈的大小為使環(huán)形卡具能方便的從觀察窗中抽出和安裝進觀察窗。
4.如權(quán)利要求I所述的遮蔽裝置，其特征在于所述普通玻璃呈圓片狀，其厚度為O.2厘米至O. 6厘米。
5.一種具有遮蔽裝置的觀察窗，包括觀察窗玻璃、反應(yīng)室腔體及連接該觀察窗玻璃和腔室的觀察窗內(nèi)壁，其特征在于所述觀察窗還包括一遮蔽裝置，所述遮蔽裝置為權(quán)利要求1-4項中任意一項所述的遮蔽裝置，該遮蔽裝置收容于觀察窗內(nèi)壁之間，并位于該觀察窗玻璃和反應(yīng)室腔體之間。
6.如權(quán)利要求5所述具有遮蔽裝置的觀察窗，其特征在于所述遮蔽裝置應(yīng)緊貼觀察窗玻璃。
7.如權(quán)利要求5所述具有遮蔽裝置的觀察窗，其特征在于所述遮蔽裝置的高度比觀察窗的內(nèi)徑小3毫米到5毫米。
8.如權(quán)利要求5所述具有遮蔽裝置的觀察窗，其特征在于所述觀察窗玻璃收容于觀察窗內(nèi)壁之間。
9.如權(quán)利要求5所述具有遮蔽裝置的觀察窗，其特征在于所述觀察窗玻璃呈圓片狀，其厚度為O. 5厘米至I厘米。
10.如權(quán)利要求5所述具有遮蔽裝置的觀察窗，其特征在于所述普通玻璃上會有離子所沉積成的薄膜，該薄膜采用以下步驟進行去除將該普通玻璃分別用清水、酒精清洗后，吹干；將該普通玻璃侵入藥劑中，超聲波清洗5至10分鐘，該藥劑的組分為濃度O. 2%至O. 5%的HF酸，濃度5%至15%的硫酸，濃度12%至20%的硝酸；取出清洗后的普通玻璃，用清水和酒精清洗，并吹干表面。
全文摘要
一種遮蔽裝置，該遮蔽裝置包括環(huán)形卡具、膠圈及普通玻璃，所述環(huán)形卡具外圍環(huán)設(shè)有一第一凹槽，所述膠圈套設(shè)在該第一凹槽中；所述環(huán)形卡具內(nèi)側(cè)為一中空結(jié)構(gòu)；及所述環(huán)形卡具內(nèi)壁環(huán)設(shè)有一第二凹槽，所述普通玻璃卡設(shè)于該第二凹槽中。本發(fā)明還包括一種具有遮蔽裝置的觀察窗，該觀察窗包括觀察窗玻璃、反應(yīng)室腔體及連接該觀察窗玻璃和腔室的觀察窗內(nèi)壁，所述觀察窗還包括一遮蔽裝置，該遮蔽裝置收容于觀察窗內(nèi)壁之間，并卡設(shè)于該觀察窗玻璃和反應(yīng)室腔體之間。利用本發(fā)明可保護PVD設(shè)備的觀察窗玻璃免受沉積。
文檔編號C23C14/52GK102953040SQ201110237550
公開日2013年3月6日 申請日期2011年8月18日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月18日
發(fā)明者黃登聰, 彭立全 申請人:鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司, 鴻海精密工業(yè)股份有限公司