專利名稱：用于真空鍍膜設(shè)備的多功能基片架的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于真空鍍膜設(shè)備附件制造技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種基片架，具體涉及一種用于真空鍍膜設(shè)備的多功能基片架。
背景技術(shù)：
真空鍍膜設(shè)備中具有一個或多個基片安裝架，用于固定需要鍍膜的基片。光學(xué)薄膜是真空鍍膜中的一種產(chǎn)品，鍍制光學(xué)薄膜的設(shè)備較其他的真空鍍膜設(shè)備相對較大，基片架的形狀較大、個數(shù)較多。在鍍制光學(xué)薄膜的過程中，需要根據(jù)基片的形狀尺寸進行基片架的設(shè)計以滿足鍍膜要求，但是在實際的光學(xué)薄膜的研制和生產(chǎn)過程中，不同用戶對最終光學(xué)薄膜基底的形狀、厚度等尺寸的要求不盡相同，這就需要設(shè)計和加工不同的基片架，給鍍膜前帶來了麻煩，造成財力、人力以及時間的浪費。特別是對于時間要求比較短的產(chǎn)品研制來說，往往來不及加工一種新的基片架。上述問題不僅僅存在于光學(xué)薄膜的鍍制過程，其他真空鍍膜也存在同樣的問題。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本發(fā)明的目的是提供一種用于真空鍍膜設(shè)備的多功能基片架，能安裝固定不同形狀和尺寸的基片，節(jié)省財力、人力和時間。為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是，一種用于真空鍍膜設(shè)備的多功能基片架，包括安裝盤和至少兩根安裝條，安裝盤上平行設(shè)置有兩條長條形的滑槽，安裝條上加工有兩個安裝孔，兩個安裝孔的中心距與兩條滑槽的中心距相等。安裝條上、與安裝孔軸線相平行的兩個側(cè)面上分別設(shè)置有一個凸出的臺階。安裝條上、與安裝孔軸線相平行的兩個側(cè)面中的一個側(cè)面上設(shè)置有一個凸出的臺階。臺階的厚度為0. Imm 0. 2mm。本發(fā)明基片架的安裝盤上加工有兩條平行的滑槽，通過該兩條滑槽安裝多根安裝條，在相鄰的兩根安裝條之間放置多個形狀尺寸相同的基片。該適合不同形狀的基片，具有安裝簡單、便于清洗等特點。能夠滿足目前光學(xué)薄膜鍍制設(shè)備對幾乎全部的基片的鍍膜要求。此外，該基片架完全可以應(yīng)用到其他的真空鍍膜設(shè)備上。


圖1是本發(fā)明基片架的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是圖1的左視圖。圖3是本發(fā)明基片架中安裝條的結(jié)構(gòu)示意圖。圖4是圖3的俯視圖。圖中，1.安裝盤，2.滑槽，3.安裝條，4.螺釘，5.螺母，6.本體，7.臺階，8.安裝孔。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖和具體實施方式
對本發(fā)明進行詳細(xì)說明。在表面工程技術(shù)領(lǐng)域，物理氣相沉積是一種比較成熟的技術(shù)，主要包括磁控濺射、 離子束濺射、電弧離子鍍以及電子槍蒸發(fā)等多種沉積方式，在這些方式的沉積設(shè)備中一般都需要有專門的沉積基底安裝機構(gòu)，在鍍膜領(lǐng)域中，我們稱之為基盤架。目前沉積設(shè)備上常見的基盤架主要為圓形的金屬結(jié)構(gòu)。為了滿足不同形狀的鍍膜基片，在實際鍍膜過程中往往在一定尺寸大小的不銹鋼板上面加工一定數(shù)量的與基片尺寸一樣的孔，然后，將需鍍膜的基片放入不銹鋼板上的孔中。這就造成了在鍍制薄膜的前期需要花費很大的精力和財力來對基片架進行設(shè)計和加工，同時基片架的加工還需要一定的時間，對產(chǎn)片研制單位或人員來說一種時間和財力的極大浪費。為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本發(fā)明主要結(jié)合光學(xué)薄膜鍍膜過程中存在的基盤架設(shè)計加工浪費的問題，本著節(jié)約不同產(chǎn)品研制時間的目的，提供了一種適合鍍制不同形狀基片的基片架，該基片架不僅僅適合光學(xué)薄膜的鍍制，它還可以廣泛的應(yīng)用的不同薄膜的鍍制中，能夠大大的減少不同產(chǎn)品的研制成本和研制周期。本發(fā)明基片架設(shè)計思路巧妙，在一定材料的薄板(根據(jù)要求可以選擇不同的材料和形狀)上面加工兩個一定寬度的狹縫，同時加工具有固定功能的安裝條，根據(jù)基片的尺寸，通過調(diào)整螺釘?shù)奈恢茫{(diào)整相鄰兩安裝條之間的距離，用于安裝固定不同形狀和尺寸的基片。如圖1和圖2所示，本發(fā)明基片架的結(jié)構(gòu)，包括安裝盤1和至少兩根安裝條3 ；安裝盤1上平行設(shè)置有兩條長條形的滑槽2。按照要求或者本著節(jié)約的原則，安裝盤1的材料、形狀和厚度可以不同。安裝條3的結(jié)構(gòu)，如圖3和圖4所示，包括本體6，本體6為長方體，本體6上加工有兩個安裝孔8，兩個安裝孔8的中心距與兩條滑槽2的中心距相等；本體6上、與安裝孔 8軸線相平行的兩個側(cè)面上分別設(shè)置有一個凸出的臺階7，該兩個臺階7與本體6為一個整體，并形成“T”字形；臺階7也可以是一個，其與本體6形成“L”形。臺階7的厚度L為 0. 1 0. 2mm。臺階7的厚度為0. 1 0. 2mm,不能太厚，以防止造成鍍膜陰影；臺階7的深度H 一般為幾毫米，盡量接近基片的厚度，如果安裝條3采用硬質(zhì)材料制作，臺階7的深度選擇 Imm就可以滿足要求。為了便于安裝基片架，可以在安裝盤1上設(shè)置一個把手。安裝條3—般選用不銹鋼或金屬銅制成，也可以按要求選擇不同的材料制作而成，安裝條3的長度無特殊要求，但不能超過安裝盤1的邊界。設(shè)計圖如圖2所示。安裝基片時先清洗安裝盤1，然后，將安裝條3放置在安裝盤1上，使安裝條3上的臺階7朝向遠離安裝盤1的方向設(shè)置，在安裝條3上的兩個安裝孔8中分別穿入螺釘4， 螺釘4穿過安裝孔8進入滑槽2，并從滑槽2的另一端伸出，在螺釘4上套裝螺母5 ；將需要鍍膜的相同形狀和尺寸的基片放置在相鄰兩安裝條3之間的安裝盤1上，基片需鍍膜的面向上，移動該相鄰的兩安裝條3，使兩安裝條3上相對的臺階7分別壓在基片的兩邊，擰緊螺釘4使得兩個安裝條3緊緊壓住基片，固定基片，同一安裝盤1上可以設(shè)置多根安裝條 3，可以同時安裝數(shù)量很多的相同形狀和尺寸的基片，也可以安裝固定不同形狀和尺寸的基片，實現(xiàn)批量生產(chǎn)不同產(chǎn)品的目的；將安裝有基片的基片架放入真空鍍膜設(shè)備中，對基片進行鍍膜?；诎惭b盤1上最終排列為幾排，基片的安裝總數(shù)決定于安裝盤1的大小。
本發(fā)明基片架能夠滿足真空鍍膜中光學(xué)薄膜以及其他真空鍍膜設(shè)備中對不同尺寸和形狀的基片的鍍膜安裝要求。通過本發(fā)明能夠大大減少真空鍍膜中基片架設(shè)計加工的浪費，縮短不同產(chǎn)品的研制周期等等，并能實現(xiàn)批量鍍膜。
權(quán)利要求
1.一種用于真空鍍膜設(shè)備的多功能基片架，其特征在于，該基片架包括安裝盤(1)和至少兩根安裝條(3 )，安裝盤(1)上平行設(shè)置有兩條長條形的滑槽(2 )，安裝條(3 )上加工有兩個安裝孔(8)，兩個安裝孔(8)的中心距與兩條滑槽(2)的中心距相等。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多功能基片架，其特征在于，所述的安裝條(3)上、與安裝孔 (8)軸線相平行的兩個側(cè)面上分別設(shè)置有一個凸出的臺階(7)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多功能基片架，其特征在于，所述的安裝條(3)上、與安裝孔 (8)軸線相平行的兩個側(cè)面中的一個側(cè)面上設(shè)置有一個凸出的臺階(7)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的多功能基片架，其特征在于，所述臺階(7)的厚度為 0. Imm 0. 2mmο
全文摘要
本發(fā)明公開了一種用于真空鍍膜設(shè)備的多功能基片架，包括安裝盤和至少兩根安裝條，安裝盤上平行設(shè)置有兩條長條形的滑槽，安裝條上加工有兩個安裝孔，兩個安裝孔的中心距與兩條滑槽的中心距相等。本發(fā)明基片架能夠滿足真空鍍膜中光學(xué)薄膜以及其他真空鍍膜設(shè)備中對不同尺寸和形狀的基片的鍍膜安裝要求。通過本發(fā)明能夠大大減少真空鍍膜中基片架設(shè)計加工的浪費，縮短不同產(chǎn)品的研制周期等等，并能實現(xiàn)批量鍍膜。
文檔編號C23C14/50GK102330065SQ201110283620
公開日2012年1月25日 申請日期2011年9月22日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月22日
發(fā)明者張玲, 李晨, 熊玉卿, 王多書, 王濟洲, 王超, 董茂進, 陳燾 申請人:中國航天科技集團公司第五研究院第五一○研究所