專利名稱：一種用于溝槽刻蝕設(shè)備零件的清洗方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于溝槽刻蝕設(shè)備零件的清洗方法。
背景技術(shù)：
溝槽刻蝕設(shè)備屬于半導(dǎo)體制造其中一種形式生產(chǎn)設(shè)備，是蝕刻制程設(shè)備中的其中一環(huán)，該設(shè)備特征為設(shè)備數(shù)量多、制程種類多、制程轉(zhuǎn)換容易；但是生產(chǎn)保養(yǎng)周期短，零件耗損對(duì)于半導(dǎo)體生產(chǎn)制程的影響明顯。由于溝槽刻蝕設(shè)備的零件表面均會(huì)制造一層陽極膜層，此陽極膜層會(huì)在晶圓的制造過程中，逐漸消耗。當(dāng)零件上的陽極膜層消耗到一定程度后，將會(huì)逐漸影響生產(chǎn)設(shè)備的穩(wěn)定度，使晶圓在制造過程中造成不良后果，影響產(chǎn)品質(zhì)量。通常發(fā)生這類問題時(shí)，零件都需重新陽極才可繼續(xù)使用，此為通常選擇的方式；但重新陽極費(fèi)用價(jià)格比較貴，而且重新陽極相對(duì)周期較長，在可供周轉(zhuǎn)的備用零件不足時(shí)，可能會(huì)影響正常的生產(chǎn)使用。溝槽刻蝕設(shè)備零件在使用后需進(jìn)行洗凈后方可再次使用，現(xiàn)有清洗方法主要是采用有機(jī)溶劑浸泡的方式，利用有機(jī)溶劑來去除零件的附著物。浸泡的時(shí)間越久附著物去除的越干凈，當(dāng)零件數(shù)量倍數(shù)于槽體數(shù)量時(shí)，就必須采用批量作業(yè)，作業(yè)時(shí)間因此延長；同時(shí)，由于主要是使用有機(jī)溶劑浸泡的方式進(jìn)行洗凈，有機(jī)溶劑同樣的的會(huì)對(duì)陽極膜層有一個(gè)程度的微量消耗，不利于產(chǎn)品使用壽命的延長。因此，如何在清洗零件時(shí)既能去除零件的附著物又能不消耗零件陽極膜層，一直是本領(lǐng)域技術(shù)人員致力于解決的問題之一。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的，就是針對(duì)上述問題而提供一種用于溝槽刻蝕設(shè)備零件的清洗方法，該清洗方法既能去除零件的附著物又能不消耗零件陽極膜層。本發(fā)明為達(dá)目的所采用的技術(shù)方案是:本發(fā)明的一種用于溝槽刻蝕設(shè)備零件的清洗方法，包括以下步驟:選擇樹脂砂作為主要砂材，調(diào)整噴砂機(jī)噴出工作壓力為0.35Mpa-0.5Mpa ;將噴砂機(jī)的噴砂頭對(duì)準(zhǔn)待清洗的溝槽刻蝕設(shè)備零件上的附著物區(qū)域開始噴砂，利用砂材沖擊掉附著于所述溝槽刻蝕設(shè)備零件上的附著物；再經(jīng)過超純水精洗將上述附著物清除。本發(fā)明清洗方法與現(xiàn)有有機(jī)溶劑清洗方法比較，具有以下優(yōu)點(diǎn):1.砂材因?yàn)檫x用樹脂砂，可以在不傷及母材與陽極膜層的情況下，同樣達(dá)到零件的洗凈目的；2.在砂材消耗比較上，樹脂砂材可以重復(fù)使用，有機(jī)浸泡藥液不可重復(fù)使用，可節(jié)省原料成本；在廢棄物處理上，廢噴砂處理方式與費(fèi)用均較廢有機(jī)溶劑簡單且便宜，可節(jié)省環(huán)保費(fèi)用；3.噴砂洗凈的作業(yè)時(shí)間明顯優(yōu)于有機(jī)溶劑浸泡洗凈，在作業(yè)效率比較上噴砂洗凈處理快于有機(jī)浸泡洗凈，可節(jié)省作業(yè)時(shí)間成本，提高生產(chǎn)效率；
4.有機(jī)溶劑浸泡洗凈產(chǎn)能高峰期與低峰期明顯，噴砂洗凈生產(chǎn)產(chǎn)能穩(wěn)定，利于整體生產(chǎn)排程，作業(yè)人員作業(yè)效率可以充分利用；5.由于噴砂洗凈未傷及零件母材與陽極膜層，將可有效延長零件使用壽命，降低零件重新陽極的周期，在零件的采購與維修費(fèi)用上帶來實(shí)質(zhì)的節(jié)約。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步描述:本發(fā)明用于溝槽刻蝕設(shè)備零件的清洗方法，包括以下步驟:選擇樹脂砂作為主要砂材，調(diào)整噴砂機(jī)噴出工作壓力為0.35Mpa-0.5Mpa ;將噴砂機(jī)的噴砂頭對(duì)準(zhǔn)待清洗的溝槽刻蝕設(shè)備零件上的附著物區(qū)域開始噴砂，利用砂材沖擊掉附著于所述溝槽刻蝕設(shè)備零件上的附著物；再經(jīng)過超純水精洗將上述附著物清除。以上實(shí)施例僅供說明本發(fā)明之用，而非對(duì)本發(fā)明的限制，有關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，還可以作出各種變換或變型，因此所有等同的技術(shù)方案也應(yīng)該屬于本發(fā)明的范疇，應(yīng)由各權(quán)利要求所限定。
權(quán)利要求
1.一種用于溝槽刻蝕設(shè)備零件的清洗方法，其特征在于，包括以下步驟: 選擇樹脂砂作為主要砂材，調(diào)整噴砂機(jī)噴出工作壓力為0.35Mpa-0.5Mpa ;將噴砂機(jī)的噴砂頭對(duì)準(zhǔn)待清洗的溝槽刻蝕設(shè)備零件上的附著物區(qū)域開始噴砂，利用砂材沖擊掉附著于所述溝槽刻蝕設(shè)備零件上的附著物；再經(jīng)過超純水精洗將上述附著物清除。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于溝槽刻蝕設(shè)備零件的清洗方法，包括以下步驟選擇樹脂砂作為主要砂材，調(diào)整噴砂機(jī)噴出工作壓力為0.35Mpa-0.5Mpa；將噴砂機(jī)的噴砂頭對(duì)準(zhǔn)待清洗的溝槽刻蝕設(shè)備零件上的附著物區(qū)域開始噴砂，利用砂材沖擊掉附著于所述溝槽刻蝕設(shè)備零件上的附著物；再經(jīng)過超純水精洗將上述附著物清除。本發(fā)明清洗方法可以在不傷及母材與陽極膜層的情況下，同樣達(dá)到零件的洗凈目的，同時(shí)還可節(jié)省作業(yè)時(shí)間成本，提高生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)B24C3/32GK103084984SQ20111034011
公開日2013年5月8日 申請(qǐng)日期2011年11月1日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月1日
發(fā)明者呂永銘 申請(qǐng)人:上?？票娮涌萍加邢薰? 科治新技股份有限公司