專利名稱：蒸鍍裝置與有機(jī)薄膜的形成方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種鍍膜設(shè)備與薄膜的形成方法，且特別是涉及一種蒸鍍裝置與有機(jī)薄膜的形成方法。
背景技術(shù)：
由于有機(jī)薄膜具有極佳的阻水性與阻氣性、高透明度、高絕緣度以及可以抗生銹、腐蝕與風(fēng)化，因此在目前的可撓式顯示器中，大多使用有機(jī)薄膜來(lái)作為軟性基板表面上的阻氣層。此外，有機(jī)薄膜也可作為可撓式顯示器中的離型層。對(duì)于目前的制作工藝來(lái)說(shuō)，形成有機(jī)薄膜的方法一般為化學(xué)氣相沉積法。以聚對(duì)二甲苯(parylene)為例，首先，將粉末狀的聚對(duì)二甲苯置于蒸發(fā)室中，并加熱到150°C以使粉末狀的聚對(duì)二甲苯汽化。然后，將聚對(duì)二甲苯氣體傳送至裂解室，并加熱到650°C以進(jìn)行裂解。之后，將聚對(duì)二甲苯單體傳送沉積室，并沉積在基板上。然而，由于有機(jī)材料在蒸發(fā)室中容易有受熱不均勻的情況發(fā)生，使得汽化的有機(jī)材料無(wú)法穩(wěn)定地且持續(xù)地供應(yīng)至裂解室。如此一來(lái)，經(jīng)由沉積所形成的有機(jī)薄膜會(huì)有厚度不均勻與重現(xiàn)性不佳的問(wèn)題，且無(wú)法達(dá)到連續(xù)生產(chǎn)的目的。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種蒸鍍裝置，其可達(dá)到穩(wěn)定供材的目的。本發(fā)明另一目 的在于提供一種有機(jī)薄膜的形成方法，其可達(dá)到連續(xù)沉積且重現(xiàn)性佳的目的。為達(dá)上述目的，本發(fā)明提出一種蒸鍍裝置，其包括儲(chǔ)氣室、第一蒸發(fā)室、壓力計(jì)、裂解室以及沉積室。第一蒸發(fā)室通過(guò)第一管路與儲(chǔ)氣室連接，其中第一管路具有第一閥門(mén)。壓力計(jì)通過(guò)第二管路與儲(chǔ)氣室連接。裂解室通過(guò)第三管路與儲(chǔ)氣室連接，其中第三管路具有第二閥門(mén)。沉積室通過(guò)第四管路與裂解室連接。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，還可以具有壓力調(diào)節(jié)閥，通過(guò)第五管路與儲(chǔ)氣室連接。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，還可以具有第二蒸發(fā)室，第二蒸發(fā)室通過(guò)第六管路與儲(chǔ)氣室連接，且第六管路具有第三閥門(mén)。本發(fā)明另提出一種有機(jī)薄膜的形成方法，此方法是先提供蒸鍍裝置。蒸鍍裝置包括儲(chǔ)氣室、第一蒸發(fā)室、壓力計(jì)、裂解室以及沉積室。第一蒸發(fā)室通過(guò)第一管路與儲(chǔ)氣室連接，其中第一管路具有第一閥門(mén)。壓力計(jì)通過(guò)第二管路與儲(chǔ)氣室連接。裂解室通過(guò)第三管路與儲(chǔ)氣室連接，其中第三管路具有第二閥門(mén)。沉積室通過(guò)第四管路與裂解室連接。然后，將第一有機(jī)材料置于第一蒸發(fā)室中，且關(guān)閉第二閥門(mén)并開(kāi)啟第一閥門(mén)。接著，對(duì)第一蒸發(fā)室中的第一有機(jī)材料進(jìn)行第一蒸發(fā)步驟，以形成第一有機(jī)氣體，其中第一有機(jī)氣體通過(guò)第一管路而傳送至儲(chǔ)氣室。當(dāng)壓力計(jì)測(cè)量到儲(chǔ)氣室的第一有機(jī)氣體達(dá)到預(yù)設(shè)壓力之后，關(guān)閉第一閥門(mén)并開(kāi)啟第二閥門(mén)，以將第一有機(jī)氣體通過(guò)第三管路傳送至裂解室。而后，在裂解室中裂解第一有機(jī)氣體，以形成第一有機(jī)單體。之后，將第一有機(jī)單體通過(guò)第四管路傳送至沉積室，以在沉積室中形成第一有機(jī)薄膜。 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的第一有機(jī)材料為對(duì)二甲苯材料。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的第一有機(jī)材料為粉末或液體。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述形成第一有機(jī)薄膜后還可以關(guān)閉第二閥門(mén)。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述之蒸鍍裝置還可以具有壓力調(diào)節(jié)閥，通過(guò)第五管路與儲(chǔ)氣室連接。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述當(dāng)壓力計(jì)測(cè)量到儲(chǔ)氣室的第一有機(jī)氣體未達(dá)到預(yù)設(shè)壓力時(shí)，開(kāi)啟壓力調(diào)節(jié)閥，以將壓力調(diào)節(jié)氣體通過(guò)第五管路傳送至儲(chǔ)氣室。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的壓力調(diào)節(jié)氣體包括惰性氣體。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的蒸鍍裝置還可以具有第二蒸發(fā)室，第二蒸發(fā)室通過(guò)第六管路與儲(chǔ)氣室連接，且第六管路具有第三閥門(mén)。在本發(fā)明之一實(shí)施例中，上述當(dāng)?shù)谝挥袡C(jī)材料消耗完之后，還可以先關(guān)閉第一閥門(mén)，并將第二有機(jī)材料置于第二蒸發(fā)室中，且開(kāi)啟第三閥門(mén)。然后，對(duì)第二蒸發(fā)室中的第二有機(jī)材料進(jìn)行第二蒸發(fā)步驟，以形成第二有機(jī)氣體，其中第二有機(jī)氣體通過(guò)第六管路而傳送至儲(chǔ)氣室。當(dāng)壓力計(jì)測(cè)量到儲(chǔ)氣室的第二有機(jī)氣體達(dá)到預(yù)設(shè)壓力之后，關(guān)閉第三閥門(mén)并開(kāi)啟第二閥門(mén)，以將第二有機(jī)氣體通過(guò)第三管路傳送至裂解室。接著，在裂解室中裂解第二有機(jī)氣體，以形成第二有機(jī)單體。而后，將第二有機(jī)單體通過(guò)第四管路傳送至沉積室，以在沉積室中形成第二有機(jī)薄膜。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的第二有機(jī)材料為固體或液體。在本發(fā) 明的一實(shí)施例中，上述形成第二有機(jī)薄膜后還可以關(guān)閉第二閥門(mén)。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的蒸鍍裝置還可以具有壓力調(diào)節(jié)閥，通過(guò)第五管路與儲(chǔ)氣室連接。在本發(fā)明之一實(shí)施例中，上述當(dāng)壓力計(jì)測(cè)量到儲(chǔ)氣室的第二有機(jī)氣體未達(dá)到預(yù)設(shè)壓力時(shí)，開(kāi)啟壓力調(diào)節(jié)閥，以將壓力調(diào)節(jié)氣體通過(guò)第五管路傳送至儲(chǔ)氣室。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述壓力調(diào)節(jié)氣體包括惰性氣體?；谏鲜?，本發(fā)明在儲(chǔ)氣室中的氣體達(dá)到固定壓力之后，也就是具有固定量的氣體之后，才將氣體傳送至后續(xù)的反應(yīng)室進(jìn)行沉積步驟。因此，儲(chǔ)氣室可穩(wěn)定地提供氣體，以連續(xù)地進(jìn)行沉積制作工藝，使得薄膜的厚度具有極佳的均勻度，以及多片薄膜的厚度之間具有良好的再現(xiàn)性。為讓本發(fā)明之上述特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉實(shí)施例，并配合所附附圖作詳細(xì)說(shuō)明如下。


圖1為本發(fā)明一實(shí)施例所繪示的蒸鍍裝置的示意圖；圖2為本發(fā)明的蒸鍍裝置形成有機(jī)薄膜的流程示意圖；圖3為本發(fā)明另一實(shí)施例所繪示的蒸鍍裝置的示意圖。主要元件符號(hào)說(shuō)明100、300 :蒸鍍裝置102:儲(chǔ)氣室
104 :第一蒸發(fā)室106 :壓力計(jì)108 :裂解室110:沉積室112:第一管路114:第一閥門(mén)116:第二管路118:第三管路120:第二閥門(mén)122:第四管路124 :壓力調(diào)節(jié)閥126 :第五管路200 208 :步驟302 :第二蒸發(fā)室304 :第六管路 306:第三閥門(mén)
具體實(shí)施例方式圖1為依照本發(fā)明一實(shí)施例所繪示的蒸鍍裝置。請(qǐng)參照?qǐng)D1，蒸鍍裝置100包括儲(chǔ)氣室102、第一蒸發(fā)室104、壓力計(jì)106、裂解室108以及沉積室110。儲(chǔ)氣室102用以儲(chǔ)存來(lái)自第一蒸發(fā)室104的反應(yīng)氣體。第一蒸發(fā)室104通過(guò)第一管路112與儲(chǔ)氣室102連接，其中第一管路112具有第一閥門(mén)114。第一蒸發(fā)室104用以將材料蒸發(fā)而形成反應(yīng)氣體。第一閥門(mén)114用以控制反應(yīng)氣體是否由第一蒸發(fā)室104傳送至儲(chǔ)氣室102。在一實(shí)施例中，第一蒸發(fā)室104中例如是配置有材料容器(未繪示)，用以盛裝待蒸發(fā)的材料。壓力計(jì)106通過(guò)第二管路116與儲(chǔ)氣室102連接。壓力計(jì)106用以測(cè)量?jī)?chǔ)氣室102中的氣體壓力。裂解室108通過(guò)第三管路118與儲(chǔ)氣室102連接，其中第三管路118具有第二閥門(mén)120。裂解室108用以對(duì)來(lái)自儲(chǔ)氣室102的反應(yīng)氣體進(jìn)行熱裂解。第二閥門(mén)120用以控制反應(yīng)氣體是否由儲(chǔ)氣室102傳送至裂解室108。沉積室110通過(guò)第四管路122與裂解室108連接。沉積室110以來(lái)自裂解室108的反應(yīng)氣體進(jìn)行沉積，諸如化學(xué)氣相沉積，以在沉積室110中的待沉積基板上形成薄膜。上述的第一、第二閥門(mén)114、120可分別例如為氣動(dòng)閥。另外，蒸鍍裝置100還具有壓力調(diào)節(jié)閥124，通過(guò)第五管路126與儲(chǔ)氣室102連接。壓力調(diào)節(jié)閥124用以供應(yīng)壓力調(diào)節(jié)氣體至儲(chǔ)氣室102，以調(diào)節(jié)儲(chǔ)氣室102的氣體壓力。特別一提的是，由于蒸發(fā)后的反應(yīng)氣體處于低于汽化溫度的環(huán)境中非常容易沉積，因此蒸鍍裝置100的儲(chǔ)氣室102通常具有恒溫控制裝置(未繪示)，使得蒸發(fā)后的反應(yīng)氣體能維持在汽化狀態(tài)。在一實(shí)施例中，蒸鍍裝置100還具有載氣供應(yīng)管線(未繪示)，通過(guò)一管路(未繪示)與儲(chǔ)氣室102連接。載氣供應(yīng)管線用以供應(yīng)載氣，將儲(chǔ)氣室102中的反應(yīng)氣體經(jīng)由第三管路118攜帶至裂解室108。在一實(shí)施例中，沉積室110中例如是配置有支撐件(未繪示)，用以放置基板。
在蒸鍍裝置100中，儲(chǔ)氣室102分別通過(guò)第一、第三管路112、118與第一蒸發(fā)室104、裂解室108連接，且第一、第三管路112、118分別具有第一、第二閥門(mén)114、120來(lái)控制反應(yīng)氣體的傳送。此外，第一、第二閥門(mén)114、120例如是分別與壓力計(jì)106電連接，因此壓力計(jì)106可根據(jù)儲(chǔ)氣室102的氣體壓力來(lái)分別控制第一、第二閥門(mén)114、120的開(kāi)啟與關(guān)閉。詳言之，當(dāng)壓力計(jì)106測(cè)量到儲(chǔ)氣室102中的氣體未達(dá)到預(yù)設(shè)壓力時(shí)，可以通過(guò)關(guān)閉第二閥門(mén)120來(lái)避免反應(yīng)氣體進(jìn)入裂解室108中，且可以通過(guò)開(kāi)啟第一閥門(mén)114使反應(yīng)氣體進(jìn)入儲(chǔ)氣室102中。由理想氣體方程式(PV = nRT)可知，在壓力(P，此處為預(yù)設(shè)壓力)、體積(V)、溫度(T)皆為定值的狀態(tài)下，前述的氣體未達(dá)到預(yù)設(shè)壓力意即反應(yīng)氣體的量未達(dá)到預(yù)設(shè)量。因此，開(kāi)啟第一閥門(mén)114使反應(yīng)氣體進(jìn)入儲(chǔ)氣室102中。此外，當(dāng)壓力計(jì)106測(cè)量到儲(chǔ)氣室102中的氣體達(dá)到預(yù)設(shè)壓力(意即氣體的量達(dá)到預(yù)設(shè)量)時(shí)，可以關(guān)閉第一閥門(mén)114并開(kāi)啟第二閥門(mén)120，以使反應(yīng)氣體傳送至裂解室108來(lái)進(jìn)行熱裂解。由于傳送至裂解室108的反應(yīng)氣體為固定量的氣體，因此可進(jìn)行連續(xù)沉積制作工藝，使得薄膜的厚度具有良好的均勻度，以及多片薄膜的厚度之間具有良好的再現(xiàn)性。此外，使用者可以簡(jiǎn)單地通過(guò)設(shè)定反應(yīng)氣體的預(yù)設(shè)壓力來(lái)控制沉積在基板上的薄膜的厚度，且薄膜的厚度可以具有良好的均勻度。以下將以利用蒸鍍裝置100進(jìn)行有機(jī)薄膜的沉積制作工藝為例作說(shuō)明。圖2為利用本發(fā)明之蒸鍍裝置形成有機(jī)薄膜的流程示意圖。請(qǐng)同時(shí)參照?qǐng)D1與圖2，首先，在步驟200中，將 有機(jī)材料置于第一蒸發(fā)室104中。有機(jī)材料例如為粉末，諸如對(duì)二甲苯二聚體粉末?；蛘呤?，有機(jī)材料例如為液體，諸如對(duì)二甲苯單體原料、六甲基二硅烷(hexamethyldisilane,HMDS)、六甲基二娃氧燒(hexamethyldisiloxane,HMDS0)、六甲基二娃氮燒(hexamethyIdisilazane, HMDSN)、四甲基娃燒(tetramethylsilane, TMS)、四乙氧基娃燒(tetraethyl orthosilicate, TE0S)等液體。然后，關(guān)閉通往裂解室108的第二閥門(mén)120，以及開(kāi)啟通往儲(chǔ)氣室102的第一閥門(mén)114。然后，在步驟202中，對(duì)第一蒸發(fā)室104中的有機(jī)材料進(jìn)行蒸發(fā)步驟。在進(jìn)行蒸發(fā)的過(guò)程中，由于第一蒸發(fā)室104的溫度是由室溫上升至有機(jī)材料的汽化溫度(以對(duì)二甲苯為例，約150°C )，使得剛開(kāi)始進(jìn)行蒸發(fā)時(shí)所形成的有機(jī)氣體的蒸發(fā)速度并不穩(wěn)定。然而，在本實(shí)施例中，此時(shí)的氣體會(huì)被儲(chǔ)存在儲(chǔ)氣室102中，而不會(huì)直接被傳送至裂解室108，因此能避免后續(xù)沉積制作工藝受到有機(jī)材料之蒸發(fā)速度不穩(wěn)定的影響。接著，在步驟204中，當(dāng)壓力計(jì)106測(cè)量到儲(chǔ)氣室102的有機(jī)氣體達(dá)到預(yù)設(shè)壓力之后，關(guān)閉第一閥門(mén)114并開(kāi)啟第二閥門(mén)120，以將有機(jī)氣體通過(guò)第三管路118傳送至裂解室108。換言之，使用者可設(shè)定預(yù)設(shè)壓力，一旦儲(chǔ)氣室102的有機(jī)氣體達(dá)到預(yù)設(shè)壓力，由理想氣體方程式(PV = nRT)可知儲(chǔ)氣室102的氣體為一固定量，此時(shí)才將有機(jī)氣體傳送至裂解室108。在一實(shí)施例中，儲(chǔ)氣室102的溫度例如是介于50°C至300°C，以及預(yù)設(shè)壓力例如是介于50mtorr至IOOOmtorr。再者，在一實(shí)施例中，當(dāng)壓力計(jì)106測(cè)量到儲(chǔ)氣室102的有機(jī)氣體未達(dá)到預(yù)設(shè)壓力時(shí)，可開(kāi)啟壓力調(diào)節(jié)閥124，以將壓力調(diào)節(jié)氣體通過(guò)第五管路126傳送至儲(chǔ)氣室102。壓力調(diào)節(jié)氣體可以是惰性氣體,諸如氬氣、氦氣、氮?dú)獾?。而后，在步驟206中，在裂解室108中裂解有機(jī)氣體，以形成有機(jī)單體。之后，在步驟208中，將有機(jī)單體通過(guò)第四管路122傳送至沉積室110，以在沉積室110中形成有機(jī)薄膜。在一實(shí)施例中，有機(jī)薄膜例如是形成于沉積室110中的基板上，以及基板例如是置于沉積室110中的支撐件(未繪示)上。圖3為依照本發(fā)明另一實(shí)施例所繪示的蒸鍍裝置之示意圖。在圖3中，與圖1中相同的標(biāo)號(hào)即代表相同的元件，在此不另行描述。請(qǐng)參照?qǐng)D3，蒸鍍裝置300與蒸鍍裝置100的差異在于蒸鍍裝置300除了具有與蒸鍍裝置100相同的元件之外，還具有第二蒸發(fā)室302。第二蒸發(fā)室302通過(guò)第六管路304與儲(chǔ)氣室102連接，且第六管路304具有第三閥門(mén)306。第三閥門(mén)306用以控制氣體是否由第二蒸發(fā)室302傳送至儲(chǔ)氣室102。上述的第三閥門(mén)306可例如為氣動(dòng)閥。在利用蒸鍍裝置300進(jìn)行沉積制作工藝時(shí)，當(dāng)?shù)谝徽舭l(fā)室104中的材料消耗完之后，可以關(guān)閉第一閥門(mén)114，并立即改用第二蒸發(fā)室302中的材料繼續(xù)進(jìn)行沉積制作工藝。舉例來(lái)說(shuō)，在利用蒸鍍裝置300進(jìn)行有機(jī)薄膜的沉積制作工藝中，在第一蒸發(fā)室104將一第一有機(jī)材料蒸發(fā)之前，先關(guān)閉第三閥門(mén)306，以避免不必要的氣體進(jìn)入第二蒸發(fā)室302中，也就是說(shuō)，在使用第一蒸發(fā)室104而關(guān)閉第二閥門(mén)120并開(kāi)啟第一閥門(mén)114時(shí)，第三閥門(mén)306為關(guān)閉狀態(tài)，此時(shí)第一蒸發(fā)室104中的第一有機(jī)材料進(jìn)行第一蒸發(fā)步驟，以形成第一有機(jī)氣體，第一有機(jī)氣體通過(guò)第一管路112而傳送至儲(chǔ)氣室102。當(dāng)壓力計(jì)106測(cè)量到儲(chǔ)氣室102的第一有機(jī)氣體達(dá)到預(yù)設(shè)壓力之后，關(guān)閉第一閥門(mén)114并開(kāi)啟第二閥門(mén)120，以將第一有機(jī)氣體通過(guò)第三管路118傳送至裂解室108。第一有機(jī)氣體在裂解室108中裂解，以形成第一有機(jī)單體，最后將第一有機(jī)單體通過(guò)第四管路122傳送至沉積室110，以在沉積室110中形成第一有機(jī)薄膜。當(dāng)?shù)谝徽舭l(fā)室104中的第一有機(jī)材料消耗完之后，關(guān)閉第一閥門(mén)114，將第二有機(jī)材料置于第二蒸發(fā)室302中，并開(kāi)啟第三閥門(mén)306。接著對(duì)第二蒸發(fā)室302中的第二有機(jī)材料進(jìn)行第二蒸發(fā)步驟，以形成第二有機(jī)氣體。同樣地，在儲(chǔ)氣室102的第二有機(jī)氣體達(dá)到預(yù)設(shè)壓力之前，維持開(kāi)啟第三閥門(mén)306，以將第二有機(jī)氣體通過(guò)第六管路304經(jīng)過(guò)第三閥門(mén)306而傳送至儲(chǔ)氣室102。在儲(chǔ)氣室102的第二有機(jī)氣體達(dá)到預(yù)設(shè)壓力之后，則關(guān)閉第三閥門(mén)306并開(kāi)啟第二閥門(mén)120，以將第二有機(jī)氣體通過(guò)通過(guò)第三管路118而傳送至裂解室108。之后，依序在裂解室108中進(jìn)行第二有機(jī)氣體的熱裂解步驟，以形成第二有機(jī)單體，并使 第二有機(jī)單體通過(guò)第四管路傳送至沉積室110，在沉積室110中進(jìn)行沉積步驟，以在沉積室110中的基板上形成第二有機(jī)薄膜。一般來(lái)說(shuō)，第一有機(jī)材料與第二有機(jī)材料相同，且可參照前一實(shí)施例中所述的有機(jī)材料。在本實(shí)施例中，由于蒸鍍裝置300具有二個(gè)蒸發(fā)室，因此在第一蒸發(fā)室104中的材料消耗完之后，只需改用第二蒸發(fā)室302繼續(xù)進(jìn)行化學(xué)氣相沉積制作工藝，而暫時(shí)停用的第一蒸發(fā)室104即可補(bǔ)充加入材料，待第二蒸發(fā)室302中的材料消耗完后，則再改用補(bǔ)充材料后的第一蒸發(fā)室104，如此的交替使用蒸發(fā)室，即可達(dá)到不需停機(jī)更換材料，而可以連續(xù)生產(chǎn)的目的。特別一提的是，在其他實(shí)施例中，蒸鍍裝置也可以視實(shí)際需求而設(shè)置有二個(gè)以上的蒸發(fā)室。再者，上述實(shí)施例中的蒸鍍裝置適用于軟性顯示器、可撓式太陽(yáng)能電池以及薄膜封裝等制作工藝中，以形成諸如離型層、阻氣層等元件。值得一提的是，在現(xiàn)有的有機(jī)薄膜形成方法中，由于有機(jī)材料在蒸發(fā)是受熱汽化時(shí)，容易因?yàn)椴牧鲜軣岵痪约安牧象w積變化呈非線性等因素，造成有機(jī)材料的汽化速率會(huì)隨著有機(jī)材料的減少而遞減，導(dǎo)致以所形成的多片薄膜在厚度上具有極大的差異(諸如15% 20%)。換言之，沉積制作工藝的再現(xiàn)性不佳。然而，在上述實(shí)施例中，是在儲(chǔ)存室中儲(chǔ)存固定量的氣體之后，才將氣體傳送至后續(xù)的反應(yīng)室進(jìn)行沉積步驟。因此，儲(chǔ)氣室可穩(wěn)定地提供氣體，以連續(xù)地進(jìn)行沉積制作工藝，使得薄膜的厚度具有良好的均勻度，以及多片薄膜的厚度之間具有良好的再現(xiàn)性(厚度差異諸如是小于5% )。綜上所述，本發(fā)明的蒸鍍裝置具有儲(chǔ)氣室、壓力計(jì)、第一閥門(mén)及第二閥門(mén)，儲(chǔ)氣室用以儲(chǔ)存來(lái)自蒸發(fā)室的反應(yīng)氣體，壓力計(jì)用以測(cè)量?jī)?chǔ)氣室的氣體壓力，第一閥門(mén)控制氣體是否由蒸發(fā)室傳送至儲(chǔ)氣室，以及第二閥門(mén)控制氣體是否由儲(chǔ)氣室傳送至裂解室。在儲(chǔ)氣室中的氣體達(dá)到固定壓力之后，才通過(guò)關(guān)閉第一閥門(mén)并開(kāi)啟第二閥門(mén)，將氣體傳送至后續(xù)的反應(yīng)室進(jìn)行沉積步驟。因此，儲(chǔ)氣室可穩(wěn)定地提供氣體，以連續(xù)地進(jìn)行沉積制作工藝，使得薄膜的厚度具有良好的均勻度，以及多片薄膜的厚度之間具有良好的再現(xiàn)性。此外，可以通過(guò)在蒸鍍裝置中設(shè)置多個(gè)蒸發(fā)室，通過(guò)交替使用蒸發(fā)室，可達(dá)到不需停機(jī)更換材料，而可以連續(xù)生產(chǎn)的目的。雖然結(jié)合以上實(shí)施例揭露了本發(fā)明，然而其并非用以限定本發(fā)明，任何所屬技術(shù)領(lǐng)域中熟悉此技術(shù)者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，可作些許的更動(dòng)與潤(rùn)飾，故本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)以附上的權(quán)利要求所 界定的為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種蒸鍍裝置，其特征在于包括 儲(chǔ)氣室； 第一蒸發(fā)室，通過(guò)一第一管路與該儲(chǔ)氣室連接，其中該第一管路具有第一閥門(mén)； 壓力計(jì)，通過(guò)一第二管路與該儲(chǔ)氣室連接； 裂解室，通過(guò)一第三管路與該儲(chǔ)氣室連接，其中該第三管路具有第二閥門(mén)；以及 沉積室，通過(guò)一第四管路與該裂解室連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，還包括壓力調(diào)節(jié)閥，通過(guò)一第五管路與該儲(chǔ)氣室連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，還包括第二蒸發(fā)室，該第二蒸發(fā)室通過(guò)一第六管路與該儲(chǔ)氣室連接，且該第六管路具有第三閥門(mén)。
4.一種有機(jī)薄膜的形成方法，其特征在于包括 提供一蒸鍍裝置，該蒸鍍裝置包括 儲(chǔ)氣室； 第一蒸發(fā)室，通過(guò)一第一管路與該儲(chǔ)氣室連接，其中該第一管路具有第一閥門(mén)； 壓力計(jì)，通過(guò)一第二管路與該儲(chǔ)氣室連接； 裂解室，通過(guò)一第三管路與該儲(chǔ)氣室連接，其中該第三管路具有一第二閥門(mén)；以及 沉積室，通過(guò)一第四管路與該裂解室連接； 將一第一有機(jī)材料置于該第一蒸發(fā)室中，且關(guān)閉該第二閥門(mén)并開(kāi)啟該第一閥門(mén)； 對(duì)該第一蒸發(fā)室中的該第一有機(jī)材料進(jìn)行一第一蒸發(fā)步驟，以形成一第一有機(jī)氣體，其中該第一有機(jī)氣體通過(guò)該第一管路而傳送至該儲(chǔ)氣室； 當(dāng)該壓力計(jì)測(cè)量到該儲(chǔ)氣室的該第一有機(jī)氣體達(dá)到一預(yù)設(shè)壓力之后，關(guān)閉該第一閥門(mén)并開(kāi)啟該第二閥門(mén)，以將該第一有機(jī)氣體通過(guò)該第三管路傳送至該裂解室； 在該裂解室中裂解該第一有機(jī)氣體，以形成一第一有機(jī)單體；以及將該第一有機(jī)單體通過(guò)該第四管路傳送至該沉積室，以在該沉積室中形成一第一有機(jī)薄膜。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的有機(jī)薄膜的形成方法，其特征在于，該第一有機(jī)材料為對(duì)二甲苯材料。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的有機(jī)薄膜的形成方法，其特征在于，該第一有機(jī)材料為粉末或液體。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的有機(jī)薄膜的形成方法，其特征在于，該預(yù)設(shè)壓力介于50mtorr至 IOOOmtorr。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的有機(jī)薄膜的形成方法，其特征在于，該蒸鍍裝置還包括壓力調(diào)節(jié)閥，通過(guò)一第五管路與該儲(chǔ)氣室連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的有機(jī)薄膜的形成方法，其特征在于，當(dāng)該壓力計(jì)測(cè)量到該儲(chǔ)氣室的該第一有機(jī)氣體未達(dá)到該預(yù)設(shè)壓力時(shí)，開(kāi)啟該壓力調(diào)節(jié)閥，以將一壓力調(diào)節(jié)氣體通過(guò)該第五管路傳送至該儲(chǔ)氣室。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的有機(jī)薄膜的形成方法，其特征在于，該壓力調(diào)節(jié)氣體包括惰性氣體。
11.根據(jù)權(quán)利要求4所述的有機(jī)薄膜的形成方法，其特征在于，該蒸鍍裝置還包括第二蒸發(fā)室，該第二蒸發(fā)室通過(guò)一第六管路與該儲(chǔ)氣室連接，且該第六管路具有第三閥門(mén)。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的有機(jī)薄膜的形成方法，其特征在于，當(dāng)該第一有機(jī)材料消耗完之后，還包括 關(guān)閉該第一閥門(mén)，并將一第二有機(jī)材料置于該第二蒸發(fā)室中，且開(kāi)啟該第三閥門(mén)； 對(duì)該第二蒸發(fā)室中的該第二有機(jī)材料進(jìn)行一第二蒸發(fā)步驟，以形成一第二有機(jī)氣體，其中該第二有機(jī)氣體通過(guò)該第六管路而傳送至該儲(chǔ)氣室； 當(dāng)該壓力計(jì)測(cè)量到該儲(chǔ)氣室的該第二有機(jī)氣體達(dá)到一預(yù)設(shè)壓力之后，關(guān)閉該第三閥門(mén)并開(kāi)啟該第二閥門(mén)，以將該第二有機(jī)氣體通過(guò)該第三管路傳送至該裂解室； 在該裂解室中裂解該第二有機(jī)氣體，以形成一第二有機(jī)單體；以及 將該第二有機(jī)單體通過(guò)該第四管路傳送至該沉積室，以在該沉積室中形成一第二有機(jī)薄膜。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的有機(jī)薄膜的形成方法，其特征在于，該第二有機(jī)材料為固體或液體。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的有機(jī)薄膜的形成方法，其特征在于，形成該第二有機(jī)薄膜后還包括關(guān)閉該第二閥門(mén)。
15.根據(jù)權(quán)利要求12所述的有機(jī)薄膜的形成方法，其特征在于，該蒸鍍裝置還包括壓力調(diào)節(jié)閥，通過(guò)一第五管路與該儲(chǔ)氣室連接。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的有機(jī)薄膜的形成方法，其特征在于，當(dāng)該壓力計(jì)測(cè)量到該儲(chǔ)氣室的該第二有機(jī)氣體未達(dá)到一預(yù)設(shè)壓力時(shí)，開(kāi)啟該壓力調(diào)節(jié)閥，以將一壓力調(diào)節(jié)氣體通過(guò)該第五管路傳送至該儲(chǔ)氣室。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的有機(jī)薄膜的形成方法，其特征在于，該壓力調(diào)節(jié)氣體包括惰性氣體。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)一種蒸鍍裝置與有機(jī)薄膜的形成方法。該蒸鍍裝置包括儲(chǔ)氣室、第一蒸發(fā)室、壓力計(jì)、裂解室以及沉積室。第一蒸發(fā)室通過(guò)第一管路與儲(chǔ)氣室連接，其中第一管路具有第一閥門(mén)。壓力計(jì)通過(guò)第二管路與儲(chǔ)氣室連接。裂解室通過(guò)第三管路與儲(chǔ)氣室連接，其中第三管路具有第二閥門(mén)。沉積室通過(guò)第四管路與裂解室連接。
文檔編號(hào)C23C14/24GK103031519SQ201110353708
公開(kāi)日2013年4月10日 申請(qǐng)日期2011年11月9日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月6日
發(fā)明者賴豐文, 王儀龍, 張均豪, 陳泰宏 申請(qǐng)人:財(cái)團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院