專利名稱：鍍膜玻璃實(shí)驗(yàn)線的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及玻璃工業(yè)領(lǐng)域，尤其涉及一種鍍膜玻璃實(shí)驗(yàn)線。
背景技術(shù)：
在玻璃工業(yè)領(lǐng)域，鍍膜玻璃實(shí)驗(yàn)線主要是利用真空磁控濺射的方法研究開發(fā)小面積、小產(chǎn)量的鍍膜玻璃產(chǎn)品，其主要應(yīng)用方式為在玻璃上根據(jù)產(chǎn)品工藝要求，鍍制不同的金屬膜或氧化物膜等，以改善其光學(xué)性能，將鍍膜玻璃用于顯示器、光學(xué)玻璃等產(chǎn)品上。目前， 鍍膜玻璃實(shí)驗(yàn)線主要采用單體磁控濺射鍍膜機(jī)進(jìn)行鍍膜操作，其可實(shí)現(xiàn)AR薄膜、半透鏡薄膜以及ITO薄膜等在玻璃襯底上的沉積。發(fā)明人在實(shí)施本實(shí)用新型過程中，發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)至少存在如下技術(shù)問題由于單體磁控濺射鍍膜機(jī)只能對(duì)樣品進(jìn)行一次鍍膜，所以樣品在一次鍍膜后需要首先轉(zhuǎn)換到大氣中，再在配備好下一次鍍膜條件的單體磁控濺射鍍膜機(jī)中進(jìn)行下一次真空環(huán)境下的鍍膜，因此，樣品在真空與大氣狀態(tài)之間的轉(zhuǎn)換頻繁，轉(zhuǎn)換時(shí)間長(zhǎng)且效率低下，延長(zhǎng)了研究開發(fā)新產(chǎn)品周期，造成了企業(yè)成本的增加。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型實(shí)施例所要解決的技術(shù)問題在于，提供一種可同時(shí)完成多樣片制作或同時(shí)進(jìn)行多層膜樣品制作的鍍膜玻璃實(shí)驗(yàn)線，以提高生產(chǎn)效率，減短制備周期，節(jié)約成本。為解決上述技術(shù)問題，提供了一種鍍膜玻璃實(shí)驗(yàn)線，包括鍍膜室、設(shè)置于所述鍍膜室中的濺射裝置及與所述鍍膜室相連的抽真空裝置，所述濺射裝置包括放置樣品的旋轉(zhuǎn)基片架、驅(qū)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)基片架旋轉(zhuǎn)的動(dòng)力源，以及至少兩副設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)基片架對(duì)應(yīng)位置的孿生靶。進(jìn)一步地，所述旋轉(zhuǎn)基片架呈筒狀設(shè)置于所述鍍膜室中部，所述孿生靶放置于所述旋轉(zhuǎn)基片架外側(cè)。進(jìn)一步地，所述抽真空裝置包括依次級(jí)聯(lián)的旋片泵、羅茨泵及分子泵，所述分子泵與所述鍍膜室相連。進(jìn)一步地，所述孿生靶連接有中頻電源進(jìn)行供電。進(jìn)一步地，所述動(dòng)力源為伺服馬達(dá)。
上述技術(shù)方案至少具有如下有益效果 通過提供一種鍍膜玻璃實(shí)驗(yàn)線，其濺射裝置采用了由動(dòng)力源驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)基片架以及用于鍍膜濺射的至少兩副孿生靶，因此，在旋轉(zhuǎn)基片架旋轉(zhuǎn)之時(shí)，采用至少兩副孿生靶進(jìn)行鍍膜濺射，可同時(shí)完成多樣片制作，或者同時(shí)進(jìn)行多層膜樣品制作，大大提高了生產(chǎn)效率，并減短了制備周期，節(jié)約了成本；另外，采用旋片泵、羅茨泵及分子泵組成的三級(jí)泵可大幅提高鍍膜室內(nèi)的真空度；采用中頻電源對(duì)孿生靶進(jìn)行供電，可提供穩(wěn)定的功率，實(shí)現(xiàn)靶材的穩(wěn)定濺射。
圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例的鍍膜玻璃實(shí)驗(yàn)線的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
參照?qǐng)D1及圖2，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種鍍膜玻璃實(shí)驗(yàn)線，其主要包括鍍膜室1、設(shè)置于鍍膜室1中的濺射裝置及與鍍膜室1相連的抽真空裝置，其中，濺射裝置包括放置樣品的旋轉(zhuǎn)基片架2、驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)基片架2旋轉(zhuǎn)的動(dòng)力源3，以及至少兩副設(shè)置于旋轉(zhuǎn)基片架2對(duì)應(yīng)位置的孿生靶4。旋轉(zhuǎn)基片架2可呈筒狀并設(shè)置于鍍膜室1中部，孿生靶4可對(duì)應(yīng)放置于旋轉(zhuǎn)基片架2的外側(cè)且成包圍狀設(shè)置，這樣，在旋轉(zhuǎn)基片架2旋轉(zhuǎn)之時(shí)，采用至少兩副孿生靶4進(jìn)行鍍膜濺射，可同時(shí)完成多樣片制作，或者同時(shí)進(jìn)行多層膜樣品制作，大大提高了生產(chǎn)效率， 并減短了制備周期，節(jié)約了成本。為了進(jìn)一步提高鍍膜室的真空度，上述抽真空裝置可由依次級(jí)聯(lián)的旋片泵5、羅茨泵6及分子泵7組成，分子泵7與鍍膜室1相連，一般采用這種抽真空裝置，可實(shí)現(xiàn)鍍膜室 1內(nèi)真空度達(dá)到10E-4Pa。為了實(shí)現(xiàn)靶材的穩(wěn)定濺射，孿生靶4可連接有中頻電源進(jìn)行供電。作為一種實(shí)施方式，上述動(dòng)力源3可以是伺服馬達(dá)或電動(dòng)機(jī)或液壓動(dòng)力機(jī)等。以上所述是本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1. 一種鍍膜玻璃實(shí)驗(yàn)線，包括鍍膜室、設(shè)置于所述鍍膜室中的濺射裝置及與所述鍍膜室相連的抽真空裝置，其特征在于，所述濺射裝置包括放置樣品的旋轉(zhuǎn)基片架、驅(qū)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)基片架旋轉(zhuǎn)的動(dòng)力源，以及至少兩副設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)基片架對(duì)應(yīng)位置的孿生靶。
2.如權(quán)利要求1所述的鍍膜玻璃實(shí)驗(yàn)線，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)基片架呈筒狀設(shè)置于所述鍍膜室中部，所述孿生靶放置于所述旋轉(zhuǎn)基片架外側(cè)。
3.如權(quán)利要求1所述的鍍膜玻璃實(shí)驗(yàn)線，其特征在于，所述抽真空裝置包括依次級(jí)聯(lián)的旋片泵、羅茨泵及分子泵，所述分子泵與所述鍍膜室相連。
4.如權(quán)利要求1所述的鍍膜玻璃實(shí)驗(yàn)線，其特征在于，所述孿生靶連接有中頻電源進(jìn)行供電。
5.如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的鍍膜玻璃實(shí)驗(yàn)線，其特征在于，所述動(dòng)力源為伺服馬達(dá)。
專利摘要本實(shí)用新型實(shí)施例涉及一種鍍膜玻璃實(shí)驗(yàn)線，其濺射裝置采用了由動(dòng)力源驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)基片架以及用于鍍膜濺射的至少兩副孿生靶，因此，在旋轉(zhuǎn)基片架旋轉(zhuǎn)之時(shí)，采用至少兩副孿生靶進(jìn)行鍍膜濺射，可同時(shí)完成多樣片制作，或者同時(shí)進(jìn)行多層膜樣品制作，大大提高了生產(chǎn)效率，并減短了制備周期，節(jié)約了成本。
文檔編號(hào)C23C14/35GK201933147SQ201120011638
公開日2011年8月17日 申請(qǐng)日期2011年1月15日 優(yōu)先權(quán)日2011年1月15日
發(fā)明者光宣標(biāo), 徐天輔, 徐日宏 申請(qǐng)人:深圳市三鑫精美特玻璃有限公司