專利名稱：用于真空濺鍍的傳動(dòng)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種傳動(dòng)裝置，尤其涉及一種用于真空濺鍍的傳動(dòng)裝置。
技術(shù)背景真空濺鍍技術(shù)是真空薄膜制程中應(yīng)用層面相當(dāng)廣泛的一項(xiàng)重要技術(shù)，近年來已經(jīng)逐漸取代噴導(dǎo)漆和電解電鍍的方式，大量應(yīng)用在光電，通信，半導(dǎo)體等產(chǎn)業(yè)，成為重要的表面處理技術(shù)。一般在使用連續(xù)式傳輸?shù)恼婵諡R鍍裝置，是將基材整齊固定排放在標(biāo)準(zhǔn)化的承載盤上，由傳動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)，將承載盤平順的輸送到各個(gè)腔室進(jìn)行濺鍍。目前在真空濺鍍裝置中的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)是使用皮帶傳輸，但是，在真空濺鍍裝置腔體局部的高溫環(huán)境中，溫度高達(dá)200 度左右時(shí)，容易造成皮帶的損耗。此外，皮帶的長度有規(guī)格的限制，相關(guān)機(jī)構(gòu)的位置必須按照皮帶的長度規(guī)格設(shè)計(jì)，因此在設(shè)計(jì)上就受制于皮帶長度規(guī)格，造成機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)上的不方便
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是提供一種用于真空濺鍍的傳動(dòng)裝置，它通過設(shè)置螺旋齒輪來取代皮帶，從而使機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)的選擇更為自由，而且提高了機(jī)器的使用壽命。為了解決背景技術(shù)所存在的問題，本實(shí)用新型是采用以下技術(shù)方案它包含主體、 軸孔、導(dǎo)輪、軸桿、第一螺旋齒輪、止推固定座、傳動(dòng)心軸和第二螺旋齒輪，主體上設(shè)置有多個(gè)軸孔，軸孔內(nèi)設(shè)置有貫穿主體的軸桿，多個(gè)導(dǎo)輪分別套接在各軸桿的一端，第一螺旋齒輪套接在軸桿的另一端，止推固定座通過止推軸和滾動(dòng)軸承設(shè)置在第一螺旋齒輪之間，并與第一螺旋齒輪在同一平面內(nèi)，傳動(dòng)心軸穿設(shè)在止推固定座之間，第二螺旋齒輪設(shè)置在傳動(dòng)心軸上，并與第一螺旋齒輪相嚙合。所述的傳動(dòng)心軸上設(shè)置有多個(gè)束緊塊，束緊塊保持止推軸承、滾動(dòng)軸承及第二螺旋齒輪不受側(cè)向力影響。本實(shí)用新型中的止推固定座用以承受該傳動(dòng)心軸旋轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的側(cè)向推移力量，使該止推固定座可將該傳動(dòng)心軸限定于原位旋轉(zhuǎn)。本傳動(dòng)裝置的動(dòng)力源是馬達(dá)，并以一連軸器連接于該傳動(dòng)心軸或第一螺旋齒輪，以提供動(dòng)力驅(qū)動(dòng)該傳動(dòng)裝置；第一螺旋齒輪是采用具有耐高溫，抗磨損特性的高分子聚合物作為其材質(zhì)；第二螺旋齒輪的材質(zhì)是具有耐熱以及高強(qiáng)度特性的合成金屬，所以它們適合于真空濺鍍的高溫環(huán)境以及傳動(dòng)過程中高時(shí)數(shù)的連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。本實(shí)用新型是以螺旋齒輪取代了皮帶并改善以皮帶作為傳動(dòng)機(jī)構(gòu)所導(dǎo)致的缺點(diǎn)， 因此，真空濺鍍制程傳動(dòng)裝置的使用壽命延長，濺鍍品質(zhì)得到改善，生產(chǎn)效率也隨之提升。

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)示意3[0011]圖3為實(shí)施例二的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
參照?qǐng)D1，本具體實(shí)施方式
采用以下技術(shù)方案它包含主體11、軸孔111、導(dǎo)輪12、 軸桿13、第一螺旋齒輪14、止推固定座15、傳動(dòng)心軸16和第二螺旋齒輪17，主體11上設(shè)置有多個(gè)軸孔111，軸孔111內(nèi)設(shè)置有貫穿主體11的軸桿13，多個(gè)導(dǎo)輪12分別套接在各軸桿 13的一端，第一螺旋齒輪14套接在軸桿13的另一端，止推固定座15通過止推軸和滾動(dòng)軸承設(shè)置在第一螺旋齒輪14之間，并與第一螺旋齒輪14在同一平面內(nèi)，傳動(dòng)心軸16穿設(shè)在止推固定座15之間，第二螺旋齒輪17設(shè)置在傳動(dòng)心軸16上，并與第一螺旋齒輪14相嚙合。所述的傳動(dòng)心軸16上設(shè)置有多個(gè)束緊塊18，束緊塊18保持止推軸承、滾動(dòng)軸承及第二螺旋齒輪17不受側(cè)向力影響。本具體實(shí)施方式
中的止推固定座15用以承受該傳動(dòng)心軸16旋轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的側(cè)向推移力量，使止推固定座15可將該傳動(dòng)心軸16限定于原位旋轉(zhuǎn)。本傳動(dòng)裝置的動(dòng)力源是馬達(dá)，并以一連軸器3連接于該傳動(dòng)心軸16或第一螺旋齒輪14，以提供動(dòng)力驅(qū)動(dòng)該傳動(dòng)裝置 1 ；第一螺旋齒輪14是采用具有耐高溫，抗磨損特性的高分子聚合物作為其材質(zhì)；第二螺旋齒輪17的材質(zhì)是具有耐熱以及高強(qiáng)度特性的合成金屬，所以它們適合于真空濺鍍的高溫環(huán)境以及傳動(dòng)過程中高時(shí)數(shù)的連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。本具體實(shí)施方式
是以螺旋齒輪取代了皮帶并改善以皮帶作為傳動(dòng)機(jī)構(gòu)所導(dǎo)致的缺點(diǎn)，因此，真空濺鍍制程傳動(dòng)裝置的使用壽命延長，濺鍍品質(zhì)得到改善，生產(chǎn)效率也隨之提升。實(shí)施例一參照?qǐng)D2，本實(shí)施例是采用兩組傳動(dòng)裝置的搭配以進(jìn)行真空濺鍍制程中工件載盤的傳送，馬達(dá)2作為動(dòng)力源使該傳動(dòng)裝置1運(yùn)轉(zhuǎn)，馬達(dá)2在本實(shí)例中是以一連軸器3連接于任一第一螺旋齒輪14，啟動(dòng)該馬達(dá)2提供動(dòng)力驅(qū)動(dòng)該第一螺旋齒輪14后，該傳動(dòng)心軸16上與該第一螺旋齒輪14嚙合的第二螺旋齒輪17也被驅(qū)動(dòng)，該傳動(dòng)心軸16也隨之旋轉(zhuǎn)，同時(shí)，與其他第二螺旋齒輪17嚙合的第一螺旋齒輪14也被驅(qū)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)各導(dǎo)輪 12轉(zhuǎn)動(dòng)，如此也可輸送工件載盤以進(jìn)行濺鍍。本實(shí)例的設(shè)計(jì)不僅適用于單一的機(jī)臺(tái)，也適用于連續(xù)機(jī)臺(tái)，當(dāng)兩臺(tái)以上機(jī)臺(tái)連接時(shí)，動(dòng)力源的裝設(shè)不會(huì)受限于空間；且以螺旋齒輪作為傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，可依需求增減螺旋齒輪個(gè)數(shù)，在機(jī)臺(tái)設(shè)計(jì)方面不會(huì)有皮帶長度規(guī)格的限制。實(shí)施例二 參照?qǐng)D3，本實(shí)施例以一連軸器3將該馬達(dá)2連接于該傳動(dòng)心軸16的一端，啟動(dòng)該馬達(dá)2后，該傳動(dòng)心軸16即被啟動(dòng)而旋轉(zhuǎn)，設(shè)置于該傳動(dòng)心軸16上的多個(gè)第二螺旋齒輪17也隨之旋轉(zhuǎn)，同時(shí)，與該第二螺旋齒輪17嚙合的多個(gè)第二螺旋齒輪17也隨之旋轉(zhuǎn)，同時(shí)，與該第二螺旋齒輪17嚙合的多個(gè)第一螺旋齒輪14因而被驅(qū)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)各導(dǎo)輪12轉(zhuǎn)動(dòng)以傳送工件載盤進(jìn)行濺鍍。
權(quán)利要求1.用于真空濺鍍的傳動(dòng)裝置，其特征在于它包含主體(11)、軸孔(111)、導(dǎo)輪(12)、軸桿(13)、第一螺旋齒輪(14)、止推固定座(15)、傳動(dòng)心軸(16)和第二螺旋齒輪(17)，主體(11)上設(shè)置有多個(gè)軸孔(111)，軸孔(111)內(nèi)設(shè)置有貫穿主體(11)的軸桿(13)，多個(gè)導(dǎo)輪(12)分別套接在各軸桿(1 的一端，第一螺旋齒輪(14)套接在軸桿(1 的另一端，止推固定座(1 通過止推軸和滾動(dòng)軸承設(shè)置在第一螺旋齒輪(14)之間，并與第一螺旋齒輪 (14)在同一平面內(nèi)，傳動(dòng)心軸(16)穿設(shè)在止推固定座(1 之間，第二螺旋齒輪(17)設(shè)置在傳動(dòng)心軸(16)上，并與第一螺旋齒輪(14)相嚙合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于真空濺鍍的傳動(dòng)裝置，其特征在于所述的傳動(dòng)心軸(16) 上設(shè)置有多個(gè)束緊塊(18)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于真空濺鍍的傳動(dòng)裝置，其特征在于所述的第一螺旋齒輪 (14)通過聯(lián)軸器(3)與馬達(dá)(2)相連。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于真空濺鍍的傳動(dòng)裝置，其特征在于所述的傳動(dòng)心軸(16) 通過聯(lián)軸器(3)與馬達(dá)(2)相連。
專利摘要用于真空濺鍍的傳動(dòng)裝置，它涉及一種傳動(dòng)裝置。它包含主體、軸孔、導(dǎo)輪、軸桿、第一螺旋齒輪、止推固定座、傳動(dòng)心軸和第二螺旋齒輪，主體上設(shè)置有多個(gè)軸孔，軸孔內(nèi)設(shè)置有貫穿主體的軸桿，多個(gè)導(dǎo)輪分別套接在各軸桿的一端，第一螺旋齒輪套接在軸桿的另一端，止推固定座通過止推軸和滾動(dòng)軸承設(shè)置在第一螺旋齒輪之間，并與第一螺旋齒輪在同一平面內(nèi)，傳動(dòng)心軸穿設(shè)在止推固定座之間，第二螺旋齒輪設(shè)置在傳動(dòng)心軸上，并與第一螺旋齒輪相嚙合。它以螺旋齒輪取代了皮帶，使用壽命長，使得濺鍍品質(zhì)得到改善，生產(chǎn)效率也隨之提升。
文檔編號(hào)C23C14/56GK202054891SQ20112009203
公開日2011年11月30日 申請(qǐng)日期2011年3月31日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月31日
發(fā)明者劉辛 申請(qǐng)人:蘇州凡特真空濺鍍科技有限公司