專利名稱：拋光液擋板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
拋光液擋板技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備領(lǐng)域，具體而言，涉及一種拋光液擋板。
技術(shù)背景[0002]大規(guī)模集成電路生產(chǎn)過(guò)程中，對(duì)晶片表面上的物質(zhì)進(jìn)行去除和平坦化是一道必需且使用頻繁的工序。目前，化學(xué)機(jī)械拋光是最有效的全局平坦化技術(shù)。在進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光的過(guò)程中，由拋光頭和拋光盤等運(yùn)動(dòng)部件旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力會(huì)將拋光液從拋光墊上甩出。 拋光液飛濺到拋光空間的各個(gè)部位，難以完全清理。拋光液在拋光空間內(nèi)結(jié)晶出顆粒，即使很微小的顆粒也會(huì)成為整個(gè)工作環(huán)境的污染源，可能會(huì)造成晶片表面的劃傷，降低晶圓的成品率。實(shí)用新型內(nèi)容[0003]本實(shí)用新型旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問(wèn)題之一。[0004]為此，本實(shí)用新型的一個(gè)目的在于提出一種可以阻擋拋光液的拋光液擋板。[0005]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本實(shí)用新型提出一種拋光液擋板，所述拋光液擋板包括 本體，所述本體為環(huán)形，所述本體上間隔開地設(shè)有多個(gè)容納槽，其中每個(gè)所述容納槽沿豎直方向延伸且下端敞開。[0006]根據(jù)本實(shí)用新型的拋光液擋板通過(guò)設(shè)置多個(gè)沿豎直方向延伸的所述容納槽，從而可以容納多個(gè)外套筒。在進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光時(shí)，所述拋光液擋板可以擋住飛濺出來(lái)的拋光液，并可以使拋光液沿所述拋光液擋板的本體的內(nèi)表面流下以便集中排放，從而不會(huì)污染拋光環(huán)境。[0007]另外，根據(jù)本實(shí)用新型的拋光液擋板可以具有如下附加的技術(shù)特征[0008]每個(gè)所述容納槽沿所述本體的厚度方向貫通。這樣可以更加容易地將多個(gè)外套筒分別對(duì)應(yīng)地設(shè)在所述多個(gè)容納槽內(nèi)。[0009]所述本體的徑向截面為圓環(huán)形。由于拋光盤可以是圓形，因此徑向截面為圓環(huán)形的所述本體可以更好地與拋光盤配合，從而可以阻擋盡可能多的拋光液。[0010]所述多個(gè)容納槽沿所述本體的周向等間距地分布。這樣可以使所述本體沿豎直方向移動(dòng)時(shí)受力均勻。[0011]所述本體的外表面沿豎直方向延伸，所述本體的內(nèi)表面的上端向上向內(nèi)延伸。這樣在進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光時(shí)，飛濺出的拋光液碰撞到所述本體上后，可以通過(guò)反射落到所述本體11或拋光盤上，不會(huì)濺到所述本體外，因此所述本體可以阻擋更多的拋光液。[0012]所述本體包括多個(gè)子擋板，每個(gè)所述子擋板為弧形；和多個(gè)連接件，一個(gè)所述連接件的第一端與一個(gè)所述子擋板相連且第二端與另一個(gè)所述子擋板相連，其中每個(gè)所述連接件上設(shè)有所述容納槽，所述容納槽位于所述第一端和所述第二端之間。[0013]由于拋光盤的周圍需要安裝很多具有特定功能的零部件，因此拋光盤的周圍空間非常有限。通過(guò)設(shè)置可拆分的所述本體，不僅可以更加容易地將所述本體安裝在拋光盤周圍，而且當(dāng)所述本體需要維護(hù)或更換時(shí)，可以先對(duì)所述本體進(jìn)行拆分，再將所述本體的各個(gè)部分移走。換言之，可以更加容易地對(duì)所述本體進(jìn)行拆卸。而且，由于拋光液的腐蝕作用，所述本體在使用一段時(shí)間后需要進(jìn)行更換。對(duì)于可拆分的所述本體來(lái)說(shuō)，只需要對(duì)拋光液腐蝕壞的所述子擋板和/或所述連接件進(jìn)行更換即可，而不需要對(duì)整個(gè)所述本體進(jìn)行更換， 從而可以大大地延長(zhǎng)所述本體的使用壽命，并進(jìn)而降低了化學(xué)機(jī)械拋光的成本。每個(gè)所述連接件包括第一和第二側(cè)板，所述第一側(cè)板與一個(gè)所述子擋板相連且所述第二側(cè)板與另一個(gè)所述子擋板相連；和中間板，所述中間板分別與所述第一側(cè)板和所述第二側(cè)板相連，其中所述中間板上設(shè)有所述容納槽。每個(gè)所述連接件還包括頂板，所述頂板分別與所述第一側(cè)板的頂端、所述第二側(cè)板的頂端和所述中間板的頂端相連。這樣可以使所述連接件更加穩(wěn)固地與所述子擋板相連。所述拋光液擋板還包括多個(gè)弧形的集液槽，所述多個(gè)集液槽間隔開地設(shè)在所述本體的底端，其中每個(gè)所述集液槽位于兩個(gè)所述容納槽之間。通過(guò)設(shè)置所述集液槽，可以收集沿所述本體的內(nèi)表面流下的拋光液，從而集中排放拋光液，進(jìn)一步減少飛濺的拋光液對(duì)拋光環(huán)境的污染。每個(gè)所述集液槽包括外側(cè)板，所述外側(cè)板為弧形且所述外側(cè)板的形狀與所述本體的外表面的形狀適配，其中所述外側(cè)板設(shè)在所述本體的外表面的底端；內(nèi)側(cè)板，所述內(nèi)側(cè)板為弧形且所述內(nèi)側(cè)板的形狀與所述外側(cè)板的形狀適配，其中所述內(nèi)側(cè)板位于所述本體的內(nèi)側(cè)；和底板，所述底板分別與所述外側(cè)板的底端和所述內(nèi)側(cè)板的底端相連，其中所述外側(cè)板、所述內(nèi)側(cè)板與所述底板之間限定有凹槽。通過(guò)將所述集液槽的外側(cè)板設(shè)在所述本體的外表面的底端、且將所述內(nèi)側(cè)板設(shè)在所述本體的內(nèi)側(cè)，從而可以使所述本體位于所述外側(cè)板和所述內(nèi)側(cè)板之間，這樣可以將沿所述本體的內(nèi)表面流下的拋光液全部收集到集液槽內(nèi)，進(jìn)一步提高拋光環(huán)境的潔凈度。本實(shí)用新型的附加方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過(guò)本實(shí)用新型的實(shí)踐了解到。

本實(shí)用新型的上述和/或附加的方面和優(yōu)點(diǎn)從結(jié)合下面附圖對(duì)實(shí)施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中圖1是根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的用于化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)的防濺裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的用于化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)的防濺裝置的局部剖視圖；圖3是根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例的用于化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)的防濺裝置的拋光液擋板的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的用于化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)的防濺裝置的外套筒的剖視圖；圖5是根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的用于化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)的防濺裝置的內(nèi)套筒的剖視圖；圖6是根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖7是根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)的工作平臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖；[0027]圖8是根據(jù)本實(shí)用新型的另一個(gè)實(shí)施例的用于化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)的防濺裝置的拋光液擋板的結(jié)構(gòu)示意圖；[0028]圖9是根據(jù)本實(shí)用新型的另一個(gè)實(shí)施例的用于化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)的防濺裝置的拋光液擋板的連接件的結(jié)構(gòu)示意圖；[0029]圖10是根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的用于化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)的防濺裝置的拋光液擋板的集液槽的結(jié)構(gòu)示意圖；[0030]圖11是根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的用于化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)的防濺裝置的拋光液擋板的軸向剖視圖。
具體實(shí)施方式
[0031]下面詳細(xì)描述本實(shí)用新型的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號(hào)表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過(guò)參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，僅用于解釋本實(shí)用新型，而不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。[0032]在本實(shí)用新型的描述中，需要理解的是，術(shù)語(yǔ)“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、 “后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底” “內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。[0033]此外，術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性。[0034]在本實(shí)用新型的描述中，除非另有規(guī)定和限定，需要說(shuō)明的是，術(shù)語(yǔ)“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是機(jī)械連接或電連接，也可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通，可以是直接相連，也可以通過(guò)中間媒介間接相連，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)的具體含義。[0035]下面參考圖6和圖7描述根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)1000。如圖6 和圖7所示，根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)1000包括防濺裝置100、工作平臺(tái) 200、拋光盤300、修整器400、拋光液輸送裝置500、拋光頭600和拋光頭支架700。[0036]工作平臺(tái)200內(nèi)間隔開地限定有多個(gè)沿豎直方向貫通的安裝孔210，拋光盤300 安裝在工作平臺(tái)200的上表面上。修整器400和拋光液輸送裝置500分別安裝在工作平臺(tái) 200的上表面上，且修整器400和拋光液輸送裝置500位于拋光盤300附近。拋光頭600和拋光頭支架700安裝在工作平臺(tái)200的上表面上，且拋光頭600可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在拋光頭支架700上。[0037]首先參考圖1-5描述根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的用于化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)1000的防濺裝置100。如圖1和圖3所示，根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的用于化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)1000的防濺裝置100包括拋光液擋板1、多個(gè)外套筒2、多個(gè)內(nèi)套筒3和多個(gè)驅(qū)動(dòng)件4。[0038]拋光液擋板1包括本體11，本體11為環(huán)形，且本體11沿周向間隔開地設(shè)有多個(gè)容納槽12，每個(gè)容納槽12沿豎直方向A (圖1-2和圖4-5中的箭頭方向)延伸，每個(gè)容納槽 12的下端均敞開。[0039]每個(gè)外套筒2內(nèi)限定有沿豎直方向延伸的外套筒容納腔21，每個(gè)外套筒容納腔21 的下端均敞開，其中多個(gè)外套筒2分別對(duì)應(yīng)地設(shè)在多個(gè)容納槽12內(nèi)，且多個(gè)外套筒2的上端分別對(duì)應(yīng)地與多個(gè)容納槽12的上端相連。換言之，外套筒2的數(shù)量與容納槽12的數(shù)量相同，且一個(gè)外套筒2設(shè)在一個(gè)容納槽12內(nèi)。每個(gè)內(nèi)套筒3內(nèi)限定有沿豎直方向貫通的導(dǎo)孔31，其中多個(gè)內(nèi)套筒3的至少一部分分別對(duì)應(yīng)地設(shè)在多個(gè)外套筒容納腔21內(nèi)。換言之，內(nèi)套筒3的數(shù)量與外套筒2的數(shù)量相同，且一個(gè)內(nèi)套筒3設(shè)在一個(gè)外套筒容納腔21內(nèi)。多個(gè)驅(qū)動(dòng)件4的驅(qū)動(dòng)部41分別對(duì)應(yīng)地穿過(guò)多個(gè)導(dǎo)孔31，且多個(gè)驅(qū)動(dòng)件4的驅(qū)動(dòng)部 41分別對(duì)應(yīng)地與多個(gè)容納腔21的頂壁相連以便帶動(dòng)拋光液擋板1和多個(gè)外套筒2沿豎直方向在所述低位和所述高位之間移動(dòng)。換言之，驅(qū)動(dòng)件4的數(shù)量、內(nèi)套筒3的數(shù)量和外套筒 2的數(shù)量都相同，一個(gè)驅(qū)動(dòng)件4的驅(qū)動(dòng)部41穿過(guò)一個(gè)內(nèi)套筒3的導(dǎo)孔31且與一個(gè)外套筒2 的外套筒容納腔21的頂壁相連。其中在所述低位時(shí)，內(nèi)套筒3位于容納腔21內(nèi)的部分的長(zhǎng)度大于驅(qū)動(dòng)部41的行程。其中拋光液擋板1繞拋光盤300設(shè)置，即拋光盤300設(shè)在拋光液擋板1的本體11 限定出的環(huán)形區(qū)域內(nèi)且拋光盤300與拋光液擋板1間隔預(yù)定距離。多個(gè)內(nèi)套筒3間隔開地固定在工作平臺(tái)200的上表面上，且多個(gè)導(dǎo)孔31分別對(duì)應(yīng)地與多個(gè)安裝孔210連通。換言之，導(dǎo)孔31的數(shù)量與安裝孔210的數(shù)量相同，且一個(gè)導(dǎo)孔31與一個(gè)安裝孔210連通。多個(gè)驅(qū)動(dòng)件4間隔開地固定在工作平臺(tái)200的下表面上，多個(gè)驅(qū)動(dòng)件4的驅(qū)動(dòng)部 41分別對(duì)應(yīng)地穿過(guò)多個(gè)安裝孔210和多個(gè)導(dǎo)孔31，且多個(gè)驅(qū)動(dòng)件4的驅(qū)動(dòng)部41分別對(duì)應(yīng)地與多個(gè)外套筒容納腔21的頂壁相連以便帶動(dòng)拋光液擋板1和多個(gè)外套筒2沿豎直方向在所述低位和所述高位之間移動(dòng)。換言之，驅(qū)動(dòng)件4的數(shù)量、安裝孔210的數(shù)量、內(nèi)套筒3 的數(shù)量和外套筒2的數(shù)量都相同，一個(gè)驅(qū)動(dòng)件4的驅(qū)動(dòng)部41穿過(guò)一個(gè)安裝孔210和一個(gè)內(nèi)套筒3的導(dǎo)孔31且與一個(gè)外套筒2的外套筒容納腔21的頂壁相連。其中，在所述低位時(shí)， 拋光液擋板1的上端面不高于拋光盤300的盤面，在所述高位時(shí)，拋光液擋板1的下端面不低于拋光盤300的盤面。在利用化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)1000進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光之前，多個(gè)驅(qū)動(dòng)件4的驅(qū)動(dòng)部41 收縮，拋光液擋板1處于所述低位且拋光液擋板1的上端面不高于拋光盤300的盤面。此時(shí)修整器400、拋光液輸送裝置500和拋光頭600可以從拋光盤300的盤面上方移出或移動(dòng)到拋光盤300的盤面上方。在利用化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)1000進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光時(shí)，可以先將修整器400、拋光液輸送裝置500和拋光頭600移動(dòng)到拋光盤300的盤面上方，隨后多個(gè)驅(qū)動(dòng)件4的驅(qū)動(dòng)部41伸出以便帶動(dòng)拋光液擋板1移動(dòng)到所述高位，在所述高位拋光液擋板1的下端面低于拋光盤300的盤面以便防止拋光液從拋光液擋板1的下方飛濺到拋光液擋板1 夕卜。最后進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光，并在化學(xué)機(jī)械拋光結(jié)束后收縮多個(gè)驅(qū)動(dòng)件4的驅(qū)動(dòng)部41以便將拋光液擋板1和多個(gè)外套筒2移動(dòng)到所述低位。根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的用于化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)1000的防濺裝置100通過(guò)將多個(gè)驅(qū)動(dòng)件4設(shè)在工作平臺(tái)200的下表面上，從而可以使多個(gè)驅(qū)動(dòng)件4的驅(qū)動(dòng)部41沿豎直方向延伸且沿豎直方向移動(dòng)，這樣不僅可以大大地減小防濺裝置100所占用的體積，而且不需要在多個(gè)驅(qū)動(dòng)件4上設(shè)置防護(hù)裝置以避免拋光液飛濺到多個(gè)驅(qū)動(dòng)件4的表面(工作平臺(tái) 200可以防止拋光液飛濺到多個(gè)驅(qū)動(dòng)件4的表面)，進(jìn)一步減小了防濺裝置100所占用的體積、降低了防濺裝置100的制造成本。拋光盤300的周圍需要安裝很多具有特定功能的零部件，空間非常有限，通過(guò)設(shè)置占用空間小的防濺裝置100，可以大大地方便修整器400、拋光液輸送裝置500等部件的安裝維護(hù)。[0046]而且，多個(gè)驅(qū)動(dòng)件4的驅(qū)動(dòng)部41分別對(duì)應(yīng)地穿過(guò)多個(gè)內(nèi)套筒3的導(dǎo)孔31、且多個(gè)外套筒2分別對(duì)應(yīng)地套在多個(gè)內(nèi)套筒3外，由于在所述低位內(nèi)套筒3的位于外套筒容納腔 21內(nèi)的部分的長(zhǎng)度大于驅(qū)動(dòng)部41的行程，因此在驅(qū)動(dòng)件4的驅(qū)動(dòng)部41帶動(dòng)拋光液擋板1 和多個(gè)外套筒2沿豎直方向在所述低位和所述高位之間移動(dòng)的過(guò)程中，內(nèi)套筒3和外套筒2 始終具有重合部分。這樣內(nèi)套筒3和外套筒2形成迷宮密封，從而可以避免拋光液飛濺到驅(qū)動(dòng)件4的驅(qū)動(dòng)部41上。[0047]此外，驅(qū)動(dòng)部41沿豎直方向移動(dòng)時(shí)不會(huì)與內(nèi)套筒3和外套筒2產(chǎn)生摩擦，因此不會(huì)產(chǎn)生污染拋光環(huán)境的顆粒。[0048]根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)1000通過(guò)設(shè)置防濺裝置100，從而可以防止拋光液飛濺。因此化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)1000具有更加潔凈的拋光環(huán)境，可以大大地提高晶圓的成品率。[0049]根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的拋光液擋板1通過(guò)設(shè)置多個(gè)沿豎直方向延伸的容納槽， 從而可以容納多個(gè)外套筒2。在進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光時(shí)，拋光液擋板1可以擋住飛濺出來(lái)的拋光液，并可以使拋光液沿拋光液擋板1的本體11的內(nèi)表面112流下以便集中排放，從而不會(huì)污染拋光環(huán)境。有利地，本體11的徑向截面可以是圓環(huán)形。換言之，本體11的水平截面可以是圓環(huán)形。由于拋光盤300可以是圓形，因此徑向截面為圓環(huán)形的本體11可以更好地與拋光盤300配合，從而可以阻擋盡可能多的拋光液。[0050]如圖3所示，在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中，每個(gè)容納槽12可以沿本體11的厚度方向貫通。換言之，容納槽12可以沿本體11的徑向穿過(guò)本體11。這樣可以更加容易地將多個(gè)外套筒2分別對(duì)應(yīng)地設(shè)在多個(gè)容納槽12內(nèi)。具體地，多個(gè)容納槽12可以沿本體11的周向等間距地分布。這樣可以使多個(gè)外套筒2沿本體11的周向等間距地分布，并進(jìn)而可以使多個(gè)驅(qū)動(dòng)件4的驅(qū)動(dòng)部41沿本體11的周向等間距地分布，從而可以在多個(gè)驅(qū)動(dòng)部41帶動(dòng)本體11沿豎直方向移動(dòng)時(shí)使本體11受力均勻。[0051]在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，如圖1-3所示，每個(gè)外套筒2的上端面上都可以設(shè)有與容納槽12的上端適配的凹槽22，其中多個(gè)容納槽12的上端可以分別對(duì)應(yīng)地設(shè)在多個(gè)凹槽22內(nèi)，多個(gè)外套筒2的上端可以通過(guò)多個(gè)第一緊固件14(例如螺釘)分別對(duì)應(yīng)地固定在多個(gè)容納槽12的上端。換言之，一個(gè)容納槽12的上端可以設(shè)在一個(gè)凹槽22內(nèi)，一個(gè)第一緊固件14可以穿過(guò)一個(gè)外套筒2的上端和一個(gè)容納槽12的上端。這樣可以使外套筒2 的上端更加容易地、穩(wěn)固地與容納槽12的上端相連。[0052]具體地，如圖2和圖4所示，每個(gè)外套筒2的上端都可以設(shè)有一個(gè)與凹槽22正交且貫通凹槽22的凹槽孔23。相應(yīng)地，每個(gè)容納槽12的上端都可以設(shè)有與凹槽孔23對(duì)應(yīng)的通孔13。在將外套筒2安裝在容納槽12上時(shí)，可以首先將多個(gè)容納槽12的上端分別對(duì)應(yīng)地插入多個(gè)外套筒2的凹槽22內(nèi)，此時(shí)通孔13和凹槽孔23可以連通，然后可以利用第一緊固件14穿過(guò)通孔13和凹槽孔23以便將外套筒2的上端固定在容納槽12的上端。有利地，外套筒2可以圓柱形。[0053]如圖11所示，在本實(shí)用新型的一個(gè)示例中，本體11的外表面111可以沿豎直方向7延伸，本體11的內(nèi)表面112的上端可以向上向內(nèi)延伸。換言之，本體11的豎直截面(即軸向截面)可以是直角梯形，且本體11的上端面可以大于本體11的下端面。其中，本體11 的內(nèi)表面112是指本體11的靠近拋光盤300的表面，本體11的外表面111是指本體11的遠(yuǎn)離拋光盤300的表面，向內(nèi)延伸是指向靠近拋光盤300的方向延伸。這樣在進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光時(shí)，飛濺出的拋光液碰撞到本體11上后，可以通過(guò)反射落到本體11內(nèi)或拋光盤300 上(拋光液運(yùn)動(dòng)方向如圖11中的箭頭方向所示)，不會(huì)濺到本體11外，因此本體11可以阻擋更多的拋光液。在本實(shí)用新型的一些示例中，如圖8所示，本體11可以包括多個(gè)子擋板110和多個(gè)連接件120。每個(gè)子擋板110可以是弧形。一個(gè)連接件120的第一端可以與一個(gè)子擋板 110相連，且該連接件120的第二端可以與另一個(gè)子擋板110相連，其中每個(gè)連接件120上可以設(shè)有容納槽12，容納槽12可以位于連接件120的所述第一端和所述第二端之間。有利地，一個(gè)連接件120的第一端可以與一個(gè)子擋板110可拆卸地相連(例如通過(guò)螺釘)，且該連接件120的第二端可以與另一個(gè)子擋板110可拆卸地相連(例如通過(guò)螺釘)。換言之，本體11是可以拆分的。連接件120的第一端和第二端還可以通過(guò)鉚接與子擋板110相連。由于拋光盤300的周圍需要安裝很多具有特定功能的零部件，因此拋光盤300的周圍空間非常有限。通過(guò)設(shè)置可拆分的本體11，不僅可以更加容易地將本體11安裝在拋光盤300周圍，而且當(dāng)本體11需要維護(hù)或更換時(shí)，可以先對(duì)本體11進(jìn)行拆分，再將本體11的各個(gè)部分移走。換言之，可以更加容易地對(duì)本體11進(jìn)行拆卸。而且，由于拋光液的腐蝕作用，本體11在使用一段時(shí)間后需要進(jìn)行更換。對(duì)于可拆分的本體11來(lái)說(shuō)，只需要對(duì)拋光液腐蝕壞的子擋板110和/或連接件120進(jìn)行更換即可，而不需要對(duì)整個(gè)本體11進(jìn)行更換， 從而可以大大地延長(zhǎng)本體11的使用壽命，并進(jìn)而降低了化學(xué)機(jī)械拋光的成本。如圖9所示，在本實(shí)用新型的一個(gè)具體示例中，每個(gè)連接件120可以包括第一側(cè)板 121、第二側(cè)板122和中間板123。第一側(cè)板121可以與一個(gè)子擋板110相連，且第二側(cè)板 122可以與另一個(gè)子擋板110相連。中間板123可以分別與第一側(cè)板121和第二側(cè)板122 相連，其中中間板123上可以設(shè)有容納槽12。有利地，第一側(cè)板121、第二側(cè)板122和中間板123可以一體地形成。中間板123可以彎曲成弧形以便形成容納槽12。具體地，如圖9所示，每個(gè)連接件120還可以包括頂板124，頂板IM可以分別與第一側(cè)板121的頂端、第二側(cè)板122的頂端和中間板123的頂端相連。其中，一個(gè)連接件120 的頂板1 可以設(shè)在相臨的兩個(gè)子擋板110的上端面上，這樣可以使連接件120更加穩(wěn)固地與子擋板110相連。而且，外套筒2既可以與中間板123相連，也可以與頂板IM相連， 還可以與中間板123和頂板IM都相連。有利地，可以利用螺釘將外套筒2固定在連接件 120上。第一側(cè)板121、第二側(cè)板122、中間板123和頂板124可以一體地形成。如圖1和圖10所示，在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中，拋光液擋板1還可以包括多個(gè)弧形的集液槽20，多個(gè)集液槽20可以間隔開地設(shè)在本體11的底端，其中每個(gè)集液槽20 可以位于兩個(gè)容納槽12之間。通過(guò)設(shè)置集液槽20，可以收集沿本體11的內(nèi)表面112流下的拋光液，從而集中排放拋光液，進(jìn)一步減少飛濺的拋光液對(duì)拋光環(huán)境的污染。有利地，集液槽20的形狀可以與子擋板110的形狀適配。具體地，每個(gè)集液槽20都可以是圓弧形。在本實(shí)用新型的一個(gè)示例中，每個(gè)集液槽20都可以包括外側(cè)板21、內(nèi)側(cè)板22和底板23。外側(cè)板21可以是弧形，且外側(cè)板21的形狀可以與本體11的外表面111的形狀適配，其中外側(cè)板21可以設(shè)在本體11的外表面111的底端。內(nèi)側(cè)板22可以是弧形，且內(nèi)側(cè)板22的形狀可以與外側(cè)板21的形狀適配，其中內(nèi)側(cè)板22可以位于本體11的內(nèi)側(cè)(即內(nèi)側(cè)板22可以位于本體11和拋光盤300之間)。底板23可以分別與外側(cè)板21的底端和內(nèi)側(cè)板22的底端相連，其中外側(cè)板21、內(nèi)側(cè)板22與底板23之間可以限定有凹槽。所述凹槽用于收集沿本體11的內(nèi)表面112流下的拋光液。在所述高位內(nèi)側(cè)板22的上端面可以低于拋光盤300的盤面以避免內(nèi)側(cè)板22阻擋拋光液。通過(guò)將集液槽20的外側(cè)板21設(shè)在本體11的外表面111的底端、且將內(nèi)側(cè)板22 設(shè)在本體11的內(nèi)側(cè)，從而可以使本體11位于外側(cè)板21和內(nèi)側(cè)板22之間(即本體11的底端位于用于收集拋光液的所述凹槽內(nèi)或位于所述凹槽上方)，這樣可以將沿本體11的內(nèi)表面112流下的拋光液全部收集到集液槽內(nèi)，進(jìn)一步提高拋光環(huán)境的潔凈度。有利地，外側(cè)板21、內(nèi)側(cè)板22和底板23可以一體地形成。其中，底板23可以是V 形板、水平板和U形板中的一種。如圖2所示，在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，防濺裝置100還可以包括多個(gè)浮動(dòng)接頭5，每個(gè)浮動(dòng)接頭5可以包括基座51和球鉸鏈52。多個(gè)基座51可以分別對(duì)應(yīng)地與多個(gè)驅(qū)動(dòng)件4的驅(qū)動(dòng)部41相連。換言之，基座51的數(shù)量可以與驅(qū)動(dòng)件4的數(shù)量相同，且一個(gè)基座51可以與一個(gè)驅(qū)動(dòng)件4的驅(qū)動(dòng)部41相連。多個(gè)球鉸鏈52的圓球部分521可以分別對(duì)應(yīng)地設(shè)在多個(gè)基座51的上表面上，多個(gè)球鉸鏈52的桿部522可以分別對(duì)應(yīng)地穿過(guò)多個(gè)導(dǎo)孔31，且多個(gè)球鉸鏈52的桿部522可以分別對(duì)應(yīng)地與多個(gè)外套筒容納腔21的頂壁相連以便帶動(dòng)拋光液擋板1和多個(gè)外套筒2沿豎直方向在所述低位和所述高位之間移動(dòng)。換言之， 球鉸鏈52的數(shù)量、內(nèi)套筒3的數(shù)量和外套筒2的數(shù)量可以相同，且一個(gè)球鉸鏈52的桿部522 可以穿過(guò)一個(gè)內(nèi)套筒3的導(dǎo)孔31且可以與一個(gè)外套筒2的外套筒容納腔21的頂壁相連。由于球鉸鏈52可以在一定的圓錐角內(nèi)可以自由轉(zhuǎn)動(dòng)，并且球鉸鏈52是剛性結(jié)構(gòu)， 因此具有球鉸鏈52的浮動(dòng)接頭5通過(guò)球鉸鏈52的偏轉(zhuǎn)可以彌補(bǔ)本體11的容納槽12的上端與驅(qū)動(dòng)件4的驅(qū)動(dòng)部41之間的位置誤差，不會(huì)給驅(qū)動(dòng)件4的驅(qū)動(dòng)部41帶來(lái)額外的負(fù)載， 使驅(qū)動(dòng)件4的驅(qū)動(dòng)部41受力均勻。這樣多個(gè)驅(qū)動(dòng)件4的驅(qū)動(dòng)部41可以同步地帶動(dòng)拋光液擋板1和多個(gè)外套筒2沿豎直方向移動(dòng)，不會(huì)發(fā)生卡死現(xiàn)象。如圖2所示，在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中，防濺裝置100還可以包括多個(gè)驅(qū)動(dòng)桿 6，多個(gè)驅(qū)動(dòng)桿6的下端可以分別對(duì)應(yīng)地與多個(gè)球鉸鏈52的桿部522的上端相連，且多個(gè)驅(qū)動(dòng)桿6的上端可以分別對(duì)應(yīng)地穿過(guò)多個(gè)導(dǎo)孔31，且多個(gè)驅(qū)動(dòng)桿6的上端可以與多個(gè)外套筒容納腔21的頂壁相連以便帶動(dòng)拋光液擋板1和多個(gè)外套筒2沿豎直方向在所述低位和所述高位之間移動(dòng)。換言之，驅(qū)動(dòng)桿6的數(shù)量、球鉸鏈52的數(shù)量、內(nèi)套筒3的數(shù)量和外套筒2 的數(shù)量可以相同，且一個(gè)驅(qū)動(dòng)桿6的下端可以與一個(gè)球鉸鏈52的桿部522的上端相連，一個(gè)驅(qū)動(dòng)桿6的上端可以穿過(guò)一個(gè)內(nèi)套筒3的導(dǎo)孔31且可以與一個(gè)外套筒2的外套筒容納腔21的頂壁相連。通過(guò)設(shè)置驅(qū)動(dòng)桿6，可以大大地減小驅(qū)動(dòng)件4的驅(qū)動(dòng)部41的長(zhǎng)度。這樣可以通過(guò)商業(yè)渠道得到驅(qū)動(dòng)件4，而不需要制造專用于防濺裝置100的驅(qū)動(dòng)件4，從而可以大大地降低防濺裝置100的制造成本。在本實(shí)用新型的一個(gè)具體示例中，多個(gè)基座51可以分別對(duì)應(yīng)地與多個(gè)驅(qū)動(dòng)件4的驅(qū)動(dòng)部41螺紋連接，多個(gè)驅(qū)動(dòng)桿6的下端可以分別對(duì)應(yīng)地與多個(gè)球鉸鏈52的桿部522的上端螺紋連接。這樣可以更加容易地將驅(qū)動(dòng)件4、浮動(dòng)接頭5和驅(qū)動(dòng)桿6連接在一起。具體地，基座51的下端可以設(shè)有內(nèi)螺紋且驅(qū)動(dòng)部41的上端可以設(shè)有外螺紋，基座51的下端可以與驅(qū)動(dòng)部41的上端螺紋連接。驅(qū)動(dòng)桿6的下端可以設(shè)有內(nèi)螺紋且球鉸鏈52的桿部522 的上端可以設(shè)有外螺紋，驅(qū)動(dòng)桿6的下端可以與球鉸鏈52的桿部522的上端螺紋連接。[0067]如圖2和圖4所示，在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，防濺裝置100還可以包括多個(gè)外套筒接頭M1，且每個(gè)外套筒容納腔21的頂壁可以設(shè)有與外套筒接頭241適配的容納孔 M，其中多個(gè)外套筒接頭241可以分別對(duì)應(yīng)地設(shè)在多個(gè)容納孔M內(nèi)，且多個(gè)驅(qū)動(dòng)桿6的上端可以分別對(duì)應(yīng)地與多個(gè)外套筒接頭241螺紋連接。換言之，外套筒接頭241的數(shù)量、驅(qū)動(dòng)桿6的數(shù)量和容納孔M的數(shù)量可以相同，且一個(gè)外套筒接頭241可以設(shè)在一個(gè)容納孔M 內(nèi)，一個(gè)外套筒接頭241可以與一個(gè)驅(qū)動(dòng)桿6的上端螺紋連接。[0068]在實(shí)際安裝時(shí)，可以先將驅(qū)動(dòng)桿6與球鉸鏈52的桿部522相連，隨后可以將驅(qū)動(dòng)桿6穿過(guò)工作平臺(tái)200的安裝孔210。由于浮動(dòng)接頭5是可以旋轉(zhuǎn)的，因此驅(qū)動(dòng)桿6不能與外套筒容納腔21的頂壁螺紋連接(由于浮動(dòng)接頭5位于工作平臺(tái)200的下方，因此不能通過(guò)外力來(lái)固定浮動(dòng)接頭幻。通過(guò)設(shè)置外套筒接頭對(duì)1，可以先將外套筒接頭241與驅(qū)動(dòng)桿6的上端螺紋連接，隨后可以將外套筒接頭241設(shè)在容納孔M內(nèi)。通過(guò)設(shè)置外套筒接頭 M1，可以使驅(qū)動(dòng)桿6通過(guò)外套筒接頭241與外套筒容納腔21的頂壁螺紋連接。[0069]如圖2和圖4所示，每個(gè)容納孔M可以是臺(tái)階孔，每個(gè)外套筒接頭Ml的外壁上可以設(shè)有周向凹槽M11，其中多個(gè)第二緊固件25(例如螺釘)的端部可以分別對(duì)應(yīng)地穿過(guò)多個(gè)容納孔M的壁，且多個(gè)第二緊固件25的端部可以分別對(duì)應(yīng)地位于多個(gè)周向凹槽Mll 內(nèi)。換言之，第二緊固件25的數(shù)量可以與容納孔M的數(shù)量相同，一個(gè)第二緊固件25可以穿過(guò)一個(gè)容納孔M的壁且可以位于一個(gè)外套筒接頭241的周向凹槽Mll內(nèi)。這樣可以使外套筒接頭241更加牢固地固定在容納孔M內(nèi)。[0070]每個(gè)驅(qū)動(dòng)件4可以是汽缸，且每個(gè)驅(qū)動(dòng)件4的驅(qū)動(dòng)部41可以是活塞桿。每個(gè)驅(qū)動(dòng)件4可以是電缸，且每個(gè)驅(qū)動(dòng)件4的驅(qū)動(dòng)部41可以是絲桿。具體地，驅(qū)動(dòng)件4可以通過(guò)驅(qū)動(dòng)件安裝座7固定在工作平臺(tái)200的下表面上。其中，驅(qū)動(dòng)件安裝座7大體可以是L形，驅(qū)動(dòng)件安裝座7的水平部可以固定在工作平臺(tái)200的下表面上，驅(qū)動(dòng)件4可以固定在驅(qū)動(dòng)件安裝座7的豎直部上。[0071]在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中，每個(gè)內(nèi)套筒3可以設(shè)有底座，且工作平臺(tái)200的上表面上可以設(shè)有內(nèi)套筒固定座。所述內(nèi)套筒固定座可以設(shè)有與安裝孔210連通的孔。其中， 內(nèi)套筒3的底座可以固定在所述內(nèi)套筒固定座上，且導(dǎo)孔31可以與所述孔連通。這樣可以更加容易地將內(nèi)套筒3固定在工作平臺(tái)200的上表面上。[0072]在本說(shuō)明書的描述中，參考術(shù)語(yǔ)“一個(gè)實(shí)施例”、“一些實(shí)施例”、“示例”、“具體示例”、或“一些示例”等的描述意指結(jié)合該實(shí)施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)包含于本實(shí)用新型的至少一個(gè)實(shí)施例或示例中。在本說(shuō)明書中，對(duì)上述術(shù)語(yǔ)的示意性表述不一定指的是相同的實(shí)施例或示例。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)可以在任何的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例或示例中以合適的方式結(jié)合。[0073]盡管已經(jīng)示出和描述了本實(shí)用新型的實(shí)施例，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以理解 在不脫離本實(shí)用新型的原理和宗旨的情況下可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型，本實(shí)用新型的范圍由權(quán)利要求及其等同物限定。
權(quán)利要求1.一種拋光液擋板，其特征在于，包括本體，所述本體為環(huán)形，所述本體上間隔開地設(shè)有多個(gè)容納槽，其中每個(gè)所述容納槽沿豎直方向延伸且下端敞開。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光液擋板，其特征在于，每個(gè)所述容納槽沿所述本體的厚度方向貫通。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光液擋板，其特征在于，所述本體的徑向截面為圓環(huán)形。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的拋光液擋板，其特征在于，所述多個(gè)容納槽沿所述本體的周向等間距地分布。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光液擋板，其特征在于，所述本體的外表面沿豎直方向延伸，所述本體的內(nèi)表面的上端向上向內(nèi)延伸。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光液擋板，其特征在于，所述本體包括多個(gè)子擋板，每個(gè)所述子擋板為弧形；和多個(gè)連接件，一個(gè)所述連接件的第一端與一個(gè)所述子擋板相連且第二端與另一個(gè)所述子擋板相連，其中每個(gè)所述連接件上設(shè)有所述容納槽，所述容納槽位于所述第一端和所述第二端之間。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的拋光液擋板，其特征在于，每個(gè)所述連接件包括第一和第二側(cè)板，所述第一側(cè)板與一個(gè)所述子擋板相連且所述第二側(cè)板與另一個(gè)所述子擋板相連；和中間板，所述中間板分別與所述第一側(cè)板和所述第二側(cè)板相連，其中所述中間板上設(shè)有所述容納槽。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的拋光液擋板，其特征在于，每個(gè)所述連接件還包括頂板，所述頂板分別與所述第一側(cè)板的頂端、所述第二側(cè)板的頂端和所述中間板的頂端相連。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光液擋板，其特征在于，還包括多個(gè)弧形的集液槽，所述多個(gè)集液槽間隔開地設(shè)在所述本體的底端，其中每個(gè)所述集液槽位于兩個(gè)所述容納槽之間。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的拋光液擋板，其特征在于，每個(gè)所述集液槽包括外側(cè)板，所述外側(cè)板為弧形且所述外側(cè)板的形狀與所述本體的外表面的形狀適配，其中所述外側(cè)板設(shè)在所述本體的外表面的底端；內(nèi)側(cè)板，所述內(nèi)側(cè)板為弧形且所述內(nèi)側(cè)板的形狀與所述外側(cè)板的形狀適配，其中所述內(nèi)側(cè)板位于所述本體的內(nèi)側(cè)；和底板，所述底板分別與所述外側(cè)板的底端和所述內(nèi)側(cè)板的底端相連，其中所述外側(cè)板、 所述內(nèi)側(cè)板與所述底板之間限定有凹槽。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種拋光液擋板，所述拋光液擋板包括本體，所述本體為環(huán)形，所述本體上間隔開地設(shè)有多個(gè)容納槽，其中每個(gè)所述容納槽沿豎直方向延伸且下端敞開。根據(jù)本實(shí)用新型的拋光液擋板通過(guò)設(shè)置多個(gè)沿豎直方向延伸的所述容納槽，從而可以容納多個(gè)外套筒。在進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光時(shí)，所述拋光液擋板可以擋住飛濺出來(lái)的拋光液，并可以使拋光液沿所述拋光液擋板的本體的內(nèi)表面流下以便集中排放，從而不會(huì)污染拋光環(huán)境。
文檔編號(hào)B24B29/00GK202240852SQ20112037483
公開日2012年5月30日 申請(qǐng)日期2011年9月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月28日
發(fā)明者許振杰, 路新春 申請(qǐng)人:清華大學(xué)