專利名稱：具有復(fù)合氣路的氣相沉積爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種具有復(fù)合氣路的氣相沉積爐。
背景技術(shù)：
以前沉積電爐中單一的氣路設(shè)計(jì)常使?fàn)t內(nèi)各點(diǎn)氣體不均勻，導(dǎo)致沉積效果不理
術(shù)g
；ο而且，傳統(tǒng)CVD化學(xué)氣相沉積爐氣體氣路采用“下進(jìn)上出”或者“前進(jìn)后出”方式， 進(jìn)氣方式單一，工件沉積的效果不理想，沉積時(shí)間長(zhǎng)，大型厚壁工件內(nèi)外沉積密度不一致， 達(dá)不到預(yù)定的要求。因此，有必要對(duì)現(xiàn)有的氣相沉積爐的氣路結(jié)構(gòu)進(jìn)行改進(jìn)。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決技術(shù)問(wèn)題是提供一種具有復(fù)合氣路的氣相沉積爐，該具有復(fù)合氣路的氣相沉積爐采用多點(diǎn)氣路設(shè)計(jì)，沉積效果好。本實(shí)用新型為解決上述技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是—種具有復(fù)合氣路的氣相沉積爐，包括爐體、抽氣管和進(jìn)氣點(diǎn)，爐體內(nèi)腔為氣相沉積室，抽氣管和進(jìn)氣點(diǎn)均與氣相沉積室連通；所述的抽氣管和進(jìn)氣點(diǎn)均為多個(gè)；抽氣管設(shè)置在爐體的上側(cè)或下側(cè)或上下側(cè)均設(shè)置，進(jìn)氣點(diǎn)設(shè)置在抽氣缸的相對(duì)側(cè)即抽氣管在下側(cè)時(shí)，進(jìn)氣點(diǎn)在上側(cè)；抽氣管在上側(cè)時(shí)，進(jìn)氣點(diǎn)在下側(cè)；或者爐體的上側(cè)和下側(cè)均設(shè)有多個(gè)抽氣管和進(jìn)氣點(diǎn)。抽氣管的數(shù)量與進(jìn)氣點(diǎn)的數(shù)量相同。抽氣管和進(jìn)氣點(diǎn)均與閥門相接。爐體的上側(cè)和下側(cè)均設(shè)有多個(gè)抽氣管和進(jìn)氣點(diǎn)，上側(cè)的抽氣管匯總后形成上抽氣管，下側(cè)的抽氣管匯總后形成下抽氣管，上抽氣管、下抽氣管與具有復(fù)合氣路的氣相沉積爐的主抽氣管通過(guò)三通轉(zhuǎn)換閥門連接。有益效果本實(shí)用新型的具有復(fù)合氣路的氣相沉積爐，采用多點(diǎn)氣路設(shè)計(jì)(或稱復(fù)合氣路設(shè)計(jì))，使得氣流在爐體沉積室中更均勻分布，從而沉積效果更好。另外，采用上下側(cè)都設(shè)有抽氣管和進(jìn)氣點(diǎn)的設(shè)計(jì)，并結(jié)合三通切換閥門，可以實(shí)現(xiàn)多種沉積工藝的自動(dòng)控制，自動(dòng)化程度高，沉積效果更為理想。實(shí)際應(yīng)用中，采用本實(shí)用新型的具有復(fù)合氣路的氣相沉積爐，在沉積速度、沉積均勻性、內(nèi)外沉積密度等指標(biāo)上有明顯提尚。

圖1為實(shí)施例1的具有復(fù)合氣路的氣相沉積爐的結(jié)構(gòu)示意圖；標(biāo)號(hào)說(shuō)明1-上進(jìn)氣管，2-下排氣管，3-保溫層，4-爐體，5-物料，6-物料放置板，7-下進(jìn)氣管，8-三通切換閥門。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。實(shí)施例1 如圖1所示，一種具有復(fù)合氣路的氣相沉積爐，包括爐體、抽氣管和進(jìn)氣點(diǎn)，爐體內(nèi)腔為氣相沉積室，抽氣管和進(jìn)氣點(diǎn)均與氣相沉積室連通；所述的抽氣管和進(jìn)氣點(diǎn)均為4 個(gè)；爐體的上側(cè)和下側(cè)均設(shè)有4個(gè)抽氣管和進(jìn)氣點(diǎn)。進(jìn)氣點(diǎn)均與閥門相接。上側(cè)的抽氣管匯總后形成上抽氣管，下側(cè)的抽氣管匯總后形成下抽氣管，上抽氣管、下抽氣管與具有復(fù)合氣路的氣相沉積爐的主抽氣管通過(guò)三通轉(zhuǎn)換閥門連接。本實(shí)施例的核心思想為在爐體頂部和底部均設(shè)置等量進(jìn)氣口和抽氣口，通過(guò)主抽氣管上三通轉(zhuǎn)換閥門，選擇上抽氣方式或下抽氣方式。當(dāng)采用上抽氣管抽氣時(shí)，氣體從下進(jìn)氣點(diǎn)進(jìn)入爐膛沉積室(即爐體沉積室)；當(dāng)采用下抽氣管抽氣時(shí)，氣體從上進(jìn)氣點(diǎn)進(jìn)入爐膛沉積室。通過(guò)調(diào)節(jié)進(jìn)氣、排氣方式在同一工序上實(shí)現(xiàn)“下進(jìn)氣、上抽氣”，“上進(jìn)氣、下抽氣”“內(nèi)進(jìn)氣、外抽氣”，“外進(jìn)氣、內(nèi)抽氣”等復(fù)合氣路工藝。其工作原理為爐體上設(shè)置有多路進(jìn)氣，并能分別實(shí)現(xiàn)上下進(jìn)氣(進(jìn)氣方式由閥門控制)，氣體從氣源經(jīng)由上/下多個(gè)進(jìn)氣點(diǎn)進(jìn)入爐體，從而實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)進(jìn)氣的目的。本實(shí)用新型還可以有很多變形形式如下實(shí)施例2 抽氣管設(shè)置在爐體的上側(cè)或下側(cè)或上下側(cè)均設(shè)置，進(jìn)氣點(diǎn)設(shè)置在抽氣缸的相對(duì)側(cè)即抽氣管在下側(cè)時(shí)，進(jìn)氣點(diǎn)在上側(cè)；抽氣管在上側(cè)時(shí)，進(jìn)氣點(diǎn)在下側(cè)。抽氣管和進(jìn)氣點(diǎn)均與閥門相接。實(shí)施例3 通實(shí)施例1，不同之處在于上抽氣管和下抽氣管分別用單路的閥門控制，而不采用三通切換閥門。
權(quán)利要求1.一種具有復(fù)合氣路的氣相沉積爐，包括爐體、抽氣管和進(jìn)氣點(diǎn)，爐體內(nèi)腔為氣相沉積室，抽氣管和進(jìn)氣點(diǎn)均與氣相沉積室連通；其特征在于，所述的抽氣管和進(jìn)氣點(diǎn)均為多個(gè)； 抽氣管設(shè)置在爐體的上側(cè)或下側(cè)或上下側(cè)均設(shè)置，進(jìn)氣點(diǎn)設(shè)置在抽氣缸的相對(duì)側(cè)即抽氣管在下側(cè)時(shí)，進(jìn)氣點(diǎn)在上側(cè)；抽氣管在上側(cè)時(shí)，進(jìn)氣點(diǎn)在下側(cè)；或者爐體的上側(cè)和下側(cè)均設(shè)有多個(gè)抽氣管和進(jìn)氣點(diǎn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有復(fù)合氣路的氣相沉積爐，其特征在于，抽氣管的數(shù)量與進(jìn)氣點(diǎn)的數(shù)量相同。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的具有復(fù)合氣路的氣相沉積爐，其特征在于，抽氣管和進(jìn)氣點(diǎn)均與閥門相接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的具有復(fù)合氣路的氣相沉積爐，其特征在于，爐體的上側(cè)和下側(cè)均設(shè)有多個(gè)抽氣管和進(jìn)氣點(diǎn)，上側(cè)的抽氣管匯總后形成上抽氣管，下側(cè)的抽氣管匯總后形成下抽氣管，上抽氣管、下抽氣管與具有復(fù)合氣路的氣相沉積爐的主抽氣管通過(guò)三通轉(zhuǎn)換閥門連接。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種具有復(fù)合氣路的氣相沉積爐，包括爐體、抽氣管和進(jìn)氣點(diǎn)，爐體內(nèi)腔為氣相沉積室，抽氣管和進(jìn)氣點(diǎn)均與氣相沉積室連通；所述的抽氣管和進(jìn)氣點(diǎn)均為4個(gè)；爐體的上側(cè)和下側(cè)均設(shè)有4個(gè)抽氣管和進(jìn)氣點(diǎn)。進(jìn)氣點(diǎn)均與閥門相接。上側(cè)的抽氣管匯總后形成上抽氣管，下側(cè)的抽氣管匯總后形成下抽氣管，上抽氣管、下抽氣管與具有復(fù)合氣路的氣相沉積爐的主抽氣管通過(guò)三通轉(zhuǎn)換閥門連接。該具有復(fù)合氣路的氣相沉積爐采用多點(diǎn)氣路設(shè)計(jì)，沉積效果好。
文檔編號(hào)C23C16/455GK202297768SQ20112040189
公開日2012年7月4日 申請(qǐng)日期2011年10月20日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月20日
發(fā)明者曹瑤瓊 申請(qǐng)人:湖南科源真空裝備有限公司