專利名稱：一種加熱盤與真空機(jī)械手定位裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型主要應(yīng)用于PECVD設(shè)備中，用于完成加熱盤在腔體里的中心的定位和真空機(jī)械手相對于加熱盤的定位。
背景技術(shù)：
等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)技術(shù)的原理是利用低溫等離子體作為能量源，樣品置于低氣壓下輝光放電的陰極上，利用輝光放電使樣品升溫到預(yù)定的溫度，然后通入適量的反應(yīng)氣體，氣體經(jīng)一系列化學(xué)反應(yīng)和等離子體反應(yīng)，在樣品表面形成固態(tài)薄膜。在成膜過程中，加熱盤相對于腔體的中心位置以及晶圓在加熱盤上的相對位置至關(guān)重要，在 PECVD系統(tǒng)中，加熱盤相對于腔體的中心位置以及晶圓在加熱盤上的相對位置直接影響到整個射頻回路的阻抗，從而影響成膜的質(zhì)量與成膜速度。
發(fā)明內(nèi)容為解決加熱盤在腔體里的中心的定位和真空機(jī)械手相對于加熱盤的定位等問題。 本實(shí)用新型的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單，能夠精確定位加熱盤和真空機(jī)械手的定位裝置。本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是一種加熱盤與真空機(jī)械手定位裝置，包括加熱盤和真空機(jī)械手，其特征在于加熱盤的外沿與加熱盤定位塊連接，加熱盤中心校準(zhǔn)工具置于加熱盤上，加熱盤中心校準(zhǔn)工具末端的內(nèi)弧面與加熱盤的外沿連接，加熱盤中心校準(zhǔn)工具的中心處設(shè)有定位銷，真空機(jī)械手通過定位銷與加熱盤固定。為保證加熱盤相對于在腔體里的中心的定位準(zhǔn)確，上述的加熱盤與真空機(jī)械手定位裝置，至少設(shè)有三個加熱盤定位塊。為保證加熱盤自身的中心的定位準(zhǔn)確，上述的加熱盤與真空機(jī)械手定位裝置，加熱盤中心校準(zhǔn)工具制成至少設(shè)有三個支架。上述的加熱盤與真空機(jī)械手定位裝置，加熱盤定位塊制成雙弧面結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型的原理是首先，通過加熱盤定位塊和加熱盤中心校準(zhǔn)工具實(shí)現(xiàn)加熱盤與腔體中心的定位，然后通過定位銷再實(shí)現(xiàn)真空機(jī)械手與加熱盤的定位，從而實(shí)現(xiàn)晶圓從真空機(jī)械手與加熱盤的準(zhǔn)確交接。本實(shí)用新型在校準(zhǔn)時，需要打開腔體，使加熱盤處于常溫狀態(tài)。本實(shí)用新型的有益效果是①精確度高。只需通過加熱盤定位塊、加熱盤中心校準(zhǔn)工具和定位銷即可實(shí)現(xiàn)精確定位。即，利用加熱盤定位塊、加熱盤中心校準(zhǔn)工具和定位銷的配合公差，使真空機(jī)械手能夠精確調(diào)整。②可靠性高。各個零件采用鋁合金配合硬質(zhì)表面氧化處理，有較好的抗變形能力和抗磨性能。

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；[0012]圖中，1、加熱盤定位塊；2、加熱盤中心校準(zhǔn)工具；3、定位銷；4、加熱盤；6、真空機(jī)械手。圖2為本實(shí)用新型的使用狀態(tài)圖。
具體實(shí)施方式
如圖1所示，一種加熱盤與真空機(jī)械手定位裝置，包括加熱盤(4)和真空機(jī)械手 (6)，加熱盤(4)的外沿與加熱盤定位塊(1)連接，加熱盤中心校準(zhǔn)工具(2)置于加熱盤(4) 上，其末端的內(nèi)弧面與加熱盤的(4)的外沿連接，加熱盤中心校準(zhǔn)工具(2)上設(shè)有定位銷 (3),真空機(jī)械手(6)通過定位銷(3)與加熱盤(4)固定。上述的加熱盤與真空機(jī)械手定位裝置，設(shè)有三塊加熱盤定位塊(1)。上述的加熱盤與真空機(jī)械手定位裝置，加熱盤中心校準(zhǔn)工具(2)制成至少設(shè)有三個支架。上述的加熱盤與真空機(jī)械手定位裝置，加熱盤定位塊(1)制成雙弧面結(jié)構(gòu)。如圖2所示，安裝時，將本實(shí)用新型置于PECVD設(shè)備的腔體(5)內(nèi)。首先，加熱盤定位塊與腔體內(nèi)壁固定，加熱盤置于腔體內(nèi)，其外沿與加熱盤定位塊連接，實(shí)現(xiàn)加熱盤與反應(yīng)腔體的對中，加熱盤定位塊具有雙弧面結(jié)構(gòu)，可以較好的實(shí)現(xiàn)加熱盤與腔體的對中定位。其次，將加熱盤中心校準(zhǔn)工具置于加熱盤上，其三個支架末端的內(nèi)弧面與加熱盤的外沿定位， 即可實(shí)現(xiàn)加熱盤中心的定位。再次，將真空機(jī)械手放入加熱盤上，通過設(shè)在加熱盤中心校準(zhǔn)工具中心的定位銷實(shí)現(xiàn)真空機(jī)械手與加熱盤的定位。因此在工作時，通過真空機(jī)械手可將晶圓精確地置于加熱盤的中心位置，在樣品成膜過程中，使得成膜質(zhì)量好，成膜速度快。
權(quán)利要求1.一種加熱盤與真空機(jī)械手定位裝置，包括加熱盤(4)和真空機(jī)械手(6)，其特征在于加熱盤(4)的外沿與加熱盤定位塊(1)連接，加熱盤中心校準(zhǔn)工具(2)置于加熱盤(4) 上，加熱盤中心校準(zhǔn)工具(2)末端的內(nèi)弧面與加熱盤(4)的外沿連接，加熱盤中心校準(zhǔn)工具 (2)的中心處設(shè)有定位銷(3)，真空機(jī)械手(6)通過定位銷(3)與加熱盤(4)固定。
2.按照權(quán)利要求1所述的加熱盤與真空機(jī)械手定位裝置，其特征在于至少設(shè)有三個加熱盤定位塊(1)。
3.按照權(quán)利要求1或2所述的加熱盤與真空機(jī)械手定位裝置，其特征在于加熱盤中心校準(zhǔn)工具(2)制成至少設(shè)有三個支架。
4.按照權(quán)利要求1或2所述的加熱盤與真空機(jī)械手定位裝置，其特征在于加熱盤定位塊(1)制成雙弧面結(jié)構(gòu)。
5.按照權(quán)利要求4所述的加熱盤與真空機(jī)械手定位裝置，其特征在于加熱盤中心校準(zhǔn)工具(2)制成至少設(shè)有三個支架。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種加熱盤與真空機(jī)械手定位裝置。采用的技術(shù)方案是包括加熱盤和真空機(jī)械手，加熱盤的外沿與加熱盤定位塊連接，加熱盤中心校準(zhǔn)工具置于加熱盤上，加熱盤中心校準(zhǔn)工具末端的內(nèi)弧面與加熱盤的外沿連接，加熱盤中心校準(zhǔn)工具的中心處設(shè)有定位銷，真空機(jī)械手通過定位銷與加熱盤固定。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，精確度高，可靠性高，能夠精確定位加熱盤在腔體里的中心的位置和真空機(jī)械手相對于加熱盤的位置。
文檔編號C23C16/458GK202323012SQ20112042785
公開日2012年7月11日 申請日期2011年11月2日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月2日
發(fā)明者凌復(fù)華, 劉憶軍, 李忠然 申請人:沈陽拓荊科技有限公司