專利名稱：生長金剛石膜的耐高溫金屬絲裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
生長金剛石膜的耐高溫金屬絲裝置
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬于金剛石材料制備技術(shù)領(lǐng)域，涉及化學氣相沉積法生產(chǎn)多晶金剛石膜的裝置，特別是ー種配置耐高溫金屬絲的裝置。
背景技木采用化學氣相沉積法在異質(zhì)基底上生長出多晶金剛石薄膜，不但成本低，而且可沉積面積大，因此采用化學氣相沉積法生產(chǎn)多晶金剛石膜得到迅速發(fā)展。采用化學氣相沉積法在高溫環(huán)境內(nèi)制備多晶金剛石膜，需在真空環(huán)境內(nèi)的電極上裝配數(shù)根耐高溫金屬絲，耐高溫金屬絲在電流作用下產(chǎn)生熱能，但是耐高溫金屬絲在高溫環(huán)境下工作易產(chǎn)生形變，使工作參數(shù)不穩(wěn)定，斷電時耐高溫金屬絲斷裂，重新工作時需更換耐高溫金屬絲，導致高溫金屬絲的重復利用率低，并且裝配費時，工作效率低，不能滿足大批量生產(chǎn)的要求。

實用新型內(nèi)容為解決上述問題，本實用新型提供ー種裝配簡單、重復利用率高的生長金剛石膜的耐高溫金屬絲裝置。本實用新型采用的技術(shù)方案如下一種生長金剛石膜的耐高溫金屬絲裝置，主要由支架、第一電極、第二電極、耐高溫金屬絲組成，其特征在干在第一電極、第二電極上設(shè)置有第一滑塊、第二滑塊，耐高溫金屬絲的兩端分別通過第一定位板、第二定位板固定在第一滑塊、第二滑塊上，調(diào)整第一牽引桿和第二牽引桿，使耐高溫金屬絲處于直線狀態(tài)。前述第一滑塊放置在第一電極上，并通過第一拉緊桿將第一滑塊、第一電極與支架連接，第一拉緊桿下端伸出支架的部分有第一拉緊彈簧；第一滑塊左側(cè)有第一牽引板，第一牽引板下端通過第一螺栓與第一電極固定在一起，第一牽引板上端通過第一牽引桿與第一滑塊連接，第一牽引桿伸出第一牽引板的部分有第一牽引彈簧；第一滑塊右側(cè)上端有凹槽，凹槽內(nèi)有第一定位板，耐高溫金屬絲的一端放置在第一定位板與凹槽之間的縫隙內(nèi)通過第二螺栓壓緊第一定位板從而固定耐高溫金屬絲。前述第二滑塊放置在第二電極上，并通過第二拉緊桿將第二滑塊、第二電極與支架連接，第二拉緊桿下端伸出支架的部分有第二拉緊彈簧；第二滑塊右側(cè)有第二牽引板，第ニ牽引板下端通過第三螺栓與第二電極固定在一起，第二牽引板上端通過第二牽引桿與第ニ滑塊連接，第二牽引桿伸出第二牽引板的部分有第二牽引彈簧；第二滑塊左側(cè)上端有凹槽，凹槽內(nèi)有第二定位板，耐高溫金屬絲的一端放置在第二定位板與凹槽之間的縫隙內(nèi)通過第四螺栓壓緊第二定位板從而固定耐高溫金屬絲。采用上述技術(shù)方案，當耐高溫金屬絲受熱膨脹時，第一滑塊、第二滑塊分別向兩端外延輕微移動，從而使耐高溫金屬絲處于直線狀態(tài)，保證工作參數(shù)穩(wěn)定；當斷電后耐高溫金屬絲收縮時，第一滑塊、第二滑塊分別向回輕微移動，仍然使耐高溫金屬絲處于直線狀態(tài)，且不易斷裂，保證能夠再次通電后工作，能夠?qū)崿F(xiàn)耐高溫金屬絲的重復利用率高，重新工作時不需重新裝配耐高溫金屬絲，顯著提高工作效率。

圖I所示的是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖及實施例對本實用新型作進ー步說明。如圖I所示，一種生長金剛石膜的耐高溫金屬絲裝置，主要由支架(12)、第一電極
(5)、第二電極(18)、耐高溫金屬絲(11)組成，在第一電極(5)、第二電極(18)上設(shè)置有第ー滑塊出)、第二滑塊(17)，耐高溫金屬絲(11)的兩端分別通過第一定位板(9)、第二定位板(14)固定在第一滑塊出)、第二滑塊(17)上。第一滑塊(6)放置在第一電極(5)上，并通過第一拉緊桿(7)將第一滑塊￠)、第ー電極(5)與支架(12)連接，第一拉緊桿(7)下端伸出支架(12)的部分有第一拉緊彈簧
(10);第ー滑塊(6)左側(cè)有第一牽引板(2)，第一牽引板(2)下端通過第一螺栓(3)與第一電極(5)固定在一起，第一牽引板(2)上端通過第一牽引桿(4)與第一滑塊(6)連接，第一牽引桿(4)伸出第一牽引板(2)的部分有第一牽引彈簧(I);第ー滑塊(6)右側(cè)上端有凹槽，凹槽內(nèi)有第一定位板(9),耐高溫金屬絲(11)的一端放置在第一定位板(9)與凹槽之間的縫隙內(nèi)通過第二螺栓(8)壓緊第一定位板(9)從而固定耐高溫金屬絲(11)。前述第二滑塊(17)放置在第二電極(18)上，并通過第二拉緊桿(16)將第二滑塊
(17)、第二電極(18)與支架(12)連接，第二拉緊桿(16)下端伸出支架(12)的部分有第二拉緊彈簧(13);第ニ滑塊(17)右側(cè)有第二牽引板(21)，第二牽引板(21)下端通過第三螺栓(20)與第二電極(18)固定在一起，第二牽引板(21)上端通過第二牽引桿(19)與第二滑塊(17)連接，第二牽引桿(19)伸出第二牽引板(21)的部分有第二牽引彈簧(22);第二滑塊(17)左側(cè)上端有凹槽，凹槽內(nèi)有第二定位板(14)，耐高溫金屬絲(11)的一端放置在第ニ定位板(14)與凹槽之間的縫隙內(nèi)通過第四螺栓(15)壓緊第二定位板(14)從而固定耐高溫金屬絲(11)。調(diào)整第一牽引桿⑷和第二牽引桿(19)，使耐高溫金屬絲(11)處于直線狀態(tài)。當耐高溫金屬絲(11)受熱膨脹時，第一滑塊(6)、第二滑塊(17)分別向兩端外延輕微移動，從而使耐高溫金屬絲(11)處于直線狀態(tài)；當斷電后耐高溫金屬絲(11)收縮，第ー滑塊出)、第二滑塊(17)分別向回輕微移動，仍然使耐高溫金屬絲(11)處于直線狀態(tài)，且耐高溫金屬絲(11)不易斷裂。權(quán)利要求1.生長金剛石膜的耐高溫金屬絲裝置，主要由支架、第一電極、第二電極、耐高溫金屬絲組成，其特征在于在第一電極、第二電極上設(shè)置有第一滑塊、第二滑塊，耐高溫金屬絲的兩端分別通過第一定位板、第二定位板固定在第一滑塊、第二滑塊上，調(diào)整第一牽引桿和第二牽引桿，使耐高溫金屬絲處于直線狀態(tài)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的生長金剛石膜的耐高溫金屬絲裝置，其特征在于第一滑塊放置在第一電極上，并通過第一拉緊桿將第一滑塊、第一電極與支架連接，第一拉緊桿下端伸出支架的部分有第一拉緊彈簧；第一滑塊左側(cè)有第一牽引板，第一牽引板下端通過第一螺栓與第一電極固定在一起，第一牽引板上端通過第一牽引桿與第一滑塊連接，第一牽引桿伸出第一牽引板的部分有第一牽引彈簧；第一滑塊右側(cè)上端有凹槽，凹槽內(nèi)有第一定位板，耐高溫金屬絲的一端放置在第一定位板與凹槽之間的縫隙內(nèi)通過第二螺栓壓緊第一定位板從而固定耐高溫金屬絲。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的生長金剛石膜的耐高溫金屬絲裝置，其特征在于第二滑塊放置在第二電極上，并通過第二拉緊桿將第二滑塊、第二電極與支架連接，第二拉緊桿下端伸出支架的部分有第二拉緊彈簧；第二滑塊右側(cè)有第二牽引板，第二牽引板下端通過第三螺栓與第二電極固定在一起，第二牽引板上端通過第二牽引桿與第二滑塊連接，第二牽引桿伸出第二牽引板的部分有第二牽引彈簧；第二滑塊左側(cè)上端有凹槽，凹槽內(nèi)有第二定位板，耐高溫金屬絲的一端放置在第二定位板與凹槽之間的縫隙內(nèi)通過第四螺栓壓緊第二定位板從而固定耐高溫金屬絲。
專利摘要本實用新型涉及一種生長金剛石膜的耐高溫金屬絲裝置，屬于金剛石材料制備技術(shù)領(lǐng)域，主要由支架、第一電極、第二電極、耐高溫金屬絲組成，其特征在于在第一電極、第二電極上設(shè)置有第一滑塊、第二滑塊，耐高溫金屬絲的兩端分別通過第一定位板、第二定位板固定在第一滑塊、第二滑塊上，調(diào)整第一牽引桿和第二牽引桿，使耐高溫金屬絲處于直線狀態(tài)。當耐高溫金屬絲受熱膨脹時，第一滑塊、第二滑塊分別向兩端外延輕微移動；當斷電后耐高溫金屬絲收縮時，第一滑塊、第二滑塊分別向回輕微移動，始終使耐高溫金屬絲處于直線狀態(tài)，且不易斷裂，保證能夠再次通電后工作，重新工作時不需重新裝耐配高溫金屬絲，顯著提高工作效率。
文檔編號C23C16/44GK202450154SQ20112053413
公開日2012年9月26日 申請日期2011年12月20日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月20日
發(fā)明者張洪濤 申請人:河南省豫星華晶微鉆有限公司