国产精品1024永久观看,大尺度欧美暖暖视频在线观看,亚洲宅男精品一区在线观看,欧美日韩一区二区三区视频,2021中文字幕在线观看

  • <option id="fbvk0"></option>
    1. <rt id="fbvk0"><tr id="fbvk0"></tr></rt>
      <center id="fbvk0"><optgroup id="fbvk0"></optgroup></center>
      <center id="fbvk0"></center>

      <li id="fbvk0"><abbr id="fbvk0"><dl id="fbvk0"></dl></abbr></li>

      一種lpcvd工藝中的冷卻腔傳輸系統(tǒng)的制作方法

      文檔序號:3387992閱讀:310來源:國知局
      專利名稱:一種lpcvd工藝中的冷卻腔傳輸系統(tǒng)的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本實用新型涉及一種LPCVD工藝中的冷卻腔傳輸系統(tǒng),具體地講是涉及一種降低玻璃破碎率的LPCVD工藝中的冷卻腔傳輸系統(tǒng)。
      背景技術(shù)
      光伏應(yīng)用的未來市場發(fā)展,特別是用于與電網(wǎng)相連的光伏電廠的應(yīng)用,關(guān)鍵取決于降低太陽能電池生產(chǎn)成本的潛力。薄膜太陽能電池生產(chǎn)過程能耗低,具備大幅度降低原材料和制造成本的潛力;同時,薄膜太陽能電池在弱光條件下仍可發(fā)電。因此,目前市場對薄膜太陽能電池的需求正逐漸增長,而制造薄膜太陽能電池的技術(shù)更成為近年來的研究熱點。ZnO是一種N型直接帶隙半導(dǎo)體材料,室溫下禁帶寬度Eg為3. 37eV。由于其原材 料豐富且無毒,具有高電導(dǎo)和高透過率,并且在H等離子體環(huán)境中性能穩(wěn)定,因此,在太陽能電池領(lǐng)域,ZnO作為透明導(dǎo)電氧化物薄膜可進一步提高Si薄膜太陽能電池的效率和穩(wěn)定性,加快產(chǎn)業(yè)化進程。作為陷光結(jié)構(gòu)的絨面ZnO薄膜前電極和背反射電極顯得尤為重要。ZnO的生長方法有很多,包括脈沖激光沉積、低壓金屬有機物化學(xué)氣相沉積、射頻/中頻/直流濺射、電子束和熱反應(yīng)蒸發(fā)、等離子體化學(xué)氣相沉積、噴霧熱分解和溶膠-凝膠法等。近年來,以玻璃為基板材料的非晶硅薄膜太陽能電池憑借其成本低廉、工藝成熟、應(yīng)用范圍廣泛等優(yōu)勢,逐漸從各種類型的薄膜太陽能電池中脫穎而出。其中較為成熟的是低壓化學(xué)氣相沉積工藝,該工藝要求低壓真空環(huán)境和一定的加熱反應(yīng)溫度,反應(yīng)溫度是薄膜生長的重中之重。在ZnO的工藝中,ZnO反應(yīng)的溫度為200°C,故玻璃基板在加熱腔已經(jīng)進行預(yù)熱到200°C左右,在進入工藝氣體反應(yīng)腔后,放置在加熱板上保持溫度,在整個工藝沉積的過程中,溫度一直維持在設(shè)定溫度不變,當玻璃基板完成氣體沉積后被傳送系統(tǒng)傳輸?shù)嚼鋮s腔進行冷卻。在現(xiàn)有技術(shù)中,冷卻腔的傳輸系統(tǒng)是由6組傳動滾輪組成的,如圖I所示1為帶動滾輪轉(zhuǎn)動的電機,2為傳動滾輪,這6組傳動滾輪均勻排步在腔室內(nèi)部。由于玻璃基板材質(zhì)的特殊性,當玻璃前端離開第一組滾輪在到達第二組滾輪之前,玻璃基板前端部分在重力的作用下發(fā)生形變下垂。同時玻璃基板后端在傳送過程中,在剛剛離開滾輪支撐時同樣會在重力的作用下發(fā)生形變下垂。眾所周知玻璃在由高溫向低溫轉(zhuǎn)變的過程中,玻璃內(nèi)部的應(yīng)力會有相應(yīng)變化,如溫度變化過于劇烈,會導(dǎo)致應(yīng)力變化而造成玻璃的破碎。故在生產(chǎn)制造時應(yīng)使玻璃冷卻的過程的時間加長,避免溫度變化的過于劇烈。同時玻璃本身的形變也會增加玻璃破損的概率,現(xiàn)有的技術(shù)中,玻璃在冷卻的過程中,溫度變化導(dǎo)致內(nèi)部應(yīng)力的變化還要疊加上玻璃自身的形變,這會導(dǎo)致玻璃基板在冷卻腔室冷卻的過程中破損幾率的增加。最關(guān)鍵的是由于滾輪傳輸裝置本身是水冷裝置,高溫玻璃在與滾輪裝置接觸時會導(dǎo)致玻璃基板邊沿局部溫度的劇烈變化,也會增加玻璃基板破碎的幾率
      實用新型內(nèi)容
      [0006]本實用新型提供一種LPCVD工藝中的冷卻腔傳輸系統(tǒng),簡化了結(jié)構(gòu)的同時,消除了玻璃基板自身的變形以及局部溫度變化過于劇烈等導(dǎo)致玻璃破損的因素,降低了玻璃傳輸過程中的破碎率,提高了生產(chǎn)的穩(wěn)定性,且易于維護。為解決上述技術(shù)問 題,本實用新型技術(shù)方案如下一種LPCVD工藝中的冷卻腔傳輸系統(tǒng),包括傳動滾輪等,傳動滾輪只有一組,該系統(tǒng)還包括從動滾輪和由傳動滾輪驅(qū)動的傳送皮帶,傳動滾輪和從動滾輪分別位于傳送皮帶傳送方向的兩端;傳送皮帶為兩邊各一條,各自架設(shè)于冷卻腔兩邊的傳動滾輪和從動滾輪上,保證傳送皮帶能夠勻速運轉(zhuǎn),進而帶動玻璃勻速傳輸。所述傳送皮帶為耐至少200°C高溫的皮帶,可以確保玻璃邊沿與皮帶接觸不會導(dǎo)致皮帶壽命的降低。同時由于傳送皮帶本身是熱的不良導(dǎo)體,不會引起玻璃邊沿局部溫度的劇烈變化。所述傳送皮帶上還設(shè)有使傳送皮帶繃緊的裝置,優(yōu)選為向下頂緊傳動皮帶下方一邊的滾軸,可以設(shè)于傳送皮帶的中間部位,這樣將皮帶下方一邊拉緊后,可以保證皮帶上方一邊保持緊繃狀態(tài),使其與玻璃接觸時不至于出現(xiàn)玻璃受力不均勻的情況。同時,該裝置的另一功能為可以方便皮帶的拆卸。所述皮帶外側(cè)固定有傳輸導(dǎo)向裝置,可以選擇為擋板,用于玻璃在傳送的過程中限制其兩側(cè)的運動軌跡,避免傳歪而導(dǎo)致玻璃基板碰撞破碎。所述傳輸導(dǎo)向裝置上開有供冷卻腔室外部的電機與傳動滾輪連接的孔,方便電機與傳動滾輪之間的傳動。本實用新型提供的LPCVD工藝中的冷卻腔傳輸系統(tǒng),通過用皮帶傳輸結(jié)構(gòu)替代了傳統(tǒng)的多組滾輪傳輸結(jié)構(gòu),簡化了結(jié)構(gòu)的同時,消除了玻璃基板自身的變形以及局部溫度變化過于劇烈等導(dǎo)致玻璃破損的因素,降低了玻璃傳輸過程中的破碎率,提高了生產(chǎn)的穩(wěn)定性,且易于維護。

      圖I是現(xiàn)有技術(shù)的冷卻腔室傳輸系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖;圖2是本實用新型的冷卻腔室滾輪傳輸系統(tǒng)的立體結(jié)構(gòu)示意圖;圖3是本實用新型的冷卻腔室滾輪傳輸系統(tǒng)的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。
      具體實施方式
      以下結(jié)合附圖和具體實施方式
      對本實用新型作進一步詳細的說明。實施例I一種LPCVD工藝中的冷卻腔傳輸系統(tǒng),如圖2、3所示,包括一組傳動滾輪2,還包括從動滾輪5和由傳動滾輪2驅(qū)動的傳送皮帶3,傳動滾輪2和從動滾輪5分別位于傳送皮帶3傳送方向的兩端;傳送皮帶3為兩邊各一條,各自架設(shè)于冷卻腔兩邊的傳動滾輪2和從動滾輪5上,保證傳送皮帶3能夠勻速運轉(zhuǎn),進而帶動玻璃勻速傳輸。所述傳送皮帶3為耐200°C高溫的皮帶,可以確保玻璃邊沿與皮帶接觸不會導(dǎo)致皮帶壽命的降低。同時由于傳送皮帶3本身是熱的不良導(dǎo)體,不會引起玻璃邊沿局部溫度的劇烈變化。[0021]所述傳送皮帶3上還設(shè)有向下頂緊傳動皮帶3下方一邊的滾軸4,設(shè)于傳送皮帶3的中間部位,用于繃緊皮帶,這樣將皮帶下方一邊拉緊后,可以保證皮帶上方一邊保持緊繃狀態(tài),使其與玻璃接觸時不至于出現(xiàn)玻璃受力不均勻的情況。所述傳送皮帶3外側(cè)固定有擋板6,用于玻璃在傳送的過程中限制其在兩側(cè)的運動軌跡,避免傳歪而導(dǎo)致玻璃基板碰撞破碎。擋板6上開有供冷卻腔室外部的電機I與傳動滾輪2連接的孔,方便電機I與傳動滾輪2之間的傳動。
      權(quán)利要求1.一種LPCVD工藝中的冷卻腔傳輸系統(tǒng),包括傳動滾輪,其特征在于傳動滾輪只有一組,該系統(tǒng)還包括從動滾輪和由傳動滾輪驅(qū)動的傳送皮帶,傳動滾輪和從動滾輪分別位于傳送皮帶傳送方向的兩端。
      2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的LPCVD工藝中的冷卻腔傳輸系統(tǒng),其特征在于所述傳送皮帶為耐至少200°C高溫的皮帶。
      3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的LPCVD工藝中的冷卻腔傳輸系統(tǒng),其特征在于所述傳送皮帶為兩邊各一條,各自架設(shè)于冷卻腔兩邊的傳動滾輪和從動滾輪上。
      4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的LPCVD工藝中的冷卻腔傳輸系統(tǒng),其特征在于所述傳送皮帶上還設(shè)有使傳送皮帶繃緊的裝置。
      5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的LPCVD工藝中的冷卻腔傳輸系統(tǒng),其特征在于所述使傳送皮帶繃緊的裝置設(shè)于傳送皮帶的中間部位。
      6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的LPCVD工藝中的冷卻腔傳輸系統(tǒng),其特征在于所述傳送皮帶繃緊的裝置為向下頂緊傳動皮帶下方一邊的滾軸。
      7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的LPCVD工藝中的冷卻腔傳輸系統(tǒng),其特征在于所述皮帶外側(cè)固定有傳輸導(dǎo)向裝置。
      8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的LPCVD工藝中的冷卻腔傳輸系統(tǒng),其特征在于所述傳輸導(dǎo)向裝置上開有供冷卻腔室外部的傳動電機與傳動滾輪連接的孔。
      9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的LPCVD工藝中的冷卻腔傳輸系統(tǒng),其特征在于所述傳輸導(dǎo)向裝置為擋板。
      專利摘要本實用新型涉及一種LPCVD工藝中的冷卻腔傳輸系統(tǒng),具體地講是涉及一種降低玻璃破碎率的LPCVD工藝中的冷卻腔傳輸系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括一組傳動滾輪,還包括從動滾輪和由傳動滾輪驅(qū)動的傳送皮帶,傳動滾輪和從動滾輪分別位于傳送皮帶傳送方向的兩端。該系統(tǒng)簡化了結(jié)構(gòu)的同時,消除了玻璃基板自身的變形以及局部溫度變化過于劇烈等兩個導(dǎo)致玻璃破損的因素,降低了玻璃傳輸過程中的破碎率,提高了生產(chǎn)的穩(wěn)定性,且易于維護。
      文檔編號C23C16/44GK202380078SQ20112053520
      公開日2012年8月15日 申請日期2011年12月20日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月20日
      發(fā)明者吳國發(fā), 彭侃, 辛科 申請人:漢能科技有限公司
      網(wǎng)友詢問留言 已有0條留言
      • 還沒有人留言評論。精彩留言會獲得點贊!
      1