專利名稱：一種pecvd沈積設(shè)備加熱器均溫板固定裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于光伏玻璃工藝設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種PECVD沈積設(shè)備加熱器均溫板固定裝置。
背景技術(shù)：
通常PECVD沈積設(shè)備內(nèi)置加熱器均溫板組件是使用螺絲等鎖固扣件固定于加熱器框架上，但由于加熱器發(fā)熱后，均溫板承受一定程度的熱源，同時(shí)隨著時(shí)間變化會(huì)產(chǎn)生不同程度的帳縮，致使均溫板尺寸發(fā)生變化，若使用螺絲鎖固方式固定，均溫板會(huì)因鎖固而無法自由變形而產(chǎn)生不同程度的板內(nèi)變形無法保持平整度，當(dāng)溫度下降后并無法回復(fù)，導(dǎo)致永久變形產(chǎn)生，影像均溫板均勻散熱的目的。

發(fā)明內(nèi)容
綜上所述，為了克服現(xiàn)有技術(shù)不足，本發(fā)明的主要目的在于提供一種PECVD沈積設(shè)備加熱器均溫板固定裝置，它利用等高柱本體上車削固定凹槽以放置均溫板，使均溫板有自由的空間產(chǎn)生因熱源而發(fā)生的尺寸上的變化，解決了因鎖固方式無法自由膨脹而致使均溫板表面平整度發(fā)生永久變形的現(xiàn)象。
本發(fā)明一種PECVD沈積設(shè)備加熱器均溫板固定裝置具有以下優(yōu)點(diǎn):
1.本發(fā)明利用等高柱車削凹槽方式固定加熱器均溫板，保證均溫板表面平整度
2.本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，拆卸快速。


圖1系為本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖。主要組件符號(hào)說明
1...等聞柱本體
2...固定凹槽
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對本發(fā)明做進(jìn)一步說明。請參閱圖1所示，一種PECVD沈積設(shè)備加熱器均溫板固定裝置，其包括等高柱本體I，本體上車削固定凹槽2
以上所述實(shí)例是對本發(fā)明技術(shù)方案的說明而非限制，所屬技術(shù)領(lǐng)域普通技術(shù)人員的等同替換或者根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)而做的修改 ，只要未超出本發(fā)明技術(shù)方案的思路和范圍，均應(yīng)包含在本發(fā)明的權(quán)利要求范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種PECVD沈積設(shè)備加熱器均溫板固定裝置，其包括等高柱本體及凹槽組成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述之等高柱，其特征在于不銹鋼表面上車削一寬度3.2mm、深度3mm的凹槽 ，同時(shí)表面經(jīng)過滲碳硬化處理。
全文摘要
本發(fā)明系提供一種PECVD沈積設(shè)備加熱器均溫板固定裝置，通過等高柱凹槽設(shè)計(jì)將加熱器均溫板扣固在等高柱凹槽內(nèi)，取代以螺絲固定方式，鎖固在一固定源上，有效避免加熱器均溫板因加熱時(shí)產(chǎn)生的膨脹變形量無法伸縮的現(xiàn)象，導(dǎo)致加熱器均溫板變形。
文檔編號(hào)C23C16/46GK103194732SQ20121000094
公開日2013年7月10日 申請日期2012年1月5日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月5日
發(fā)明者周文彬, 劉幼海, 劉吉人 申請人:吉富新能源科技(上海)有限公司