專(zhuān)利名稱(chēng)：基于導(dǎo)熱油蒸發(fā)機(jī)制的蒸發(fā)器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種基于導(dǎo)熱油蒸發(fā)機(jī)制的蒸發(fā)器。
背景技術(shù)：
由于具有高沉積速率和大沉積區(qū)面積的優(yōu)點(diǎn)，金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積法(MOCVD)是制備高質(zhì)量的REBa2Cu3O7- 8 (RE即Rare Earth，代表Y，Sm, Gd及其他稀土金屬元素)高溫超導(dǎo)薄膜涂層導(dǎo)體材料的首選工藝之一。MOCVD工藝中采用的金屬有機(jī)源，以M(TMHD)x(M=Y, Ba, Cu,等)為代表，往往由于金屬離子的不同，其蒸發(fā)、升華和分解溫度有很大的區(qū)別。為了避免由于各金屬有機(jī)源的蒸發(fā)、升華和分解性能的區(qū)別，造成高溫超導(dǎo)薄膜成分控制的困難，研究人員發(fā)展了單一溶液源的方法；即將全部的M(TMHD)x原料按比例溶 于像四氫呋喃(THF)—類(lèi)的有機(jī)溶劑中，再將溶液注入蒸發(fā)器進(jìn)行蒸發(fā)成為金屬有機(jī)物，輸送到沉積區(qū)域。蒸發(fā)器必須有效地將溶液中的全部的物質(zhì)蒸發(fā)而不導(dǎo)致其分解，所以一方面蒸發(fā)器本身需具有均勻可控的溫度，另一方面則是將熱量有效地傳輸給注入的溶液。在現(xiàn)有設(shè)計(jì)中多采用對(duì)蒸發(fā)器直接進(jìn)行電加熱的方式達(dá)到工藝效果，缺點(diǎn)是蒸發(fā)器往往局部受熱，受熱面積小，且受熱不均，很難有效提升蒸發(fā)效能。當(dāng)然目前還有一類(lèi)方式是采用導(dǎo)熱油來(lái)加熱蒸發(fā)，具體實(shí)施時(shí)通常是在蒸發(fā)器的底部盤(pán)繞布置一根導(dǎo)熱油管，通過(guò)加熱爐來(lái)加熱導(dǎo)熱油，并使得導(dǎo)熱油通過(guò)導(dǎo)熱油管來(lái)對(duì)蒸發(fā)器進(jìn)行加熱。雖然這種加熱方式相比電加熱稍微提高了些蒸發(fā)效能，但還是存在下述缺陷由于導(dǎo)熱油管壁與蒸發(fā)器壁間的阻隔，導(dǎo)致熱量很難有效的傳遞，從而降低了蒸發(fā)器的受熱效果，在很大程度上限制了蒸發(fā)效能的進(jìn)一步提聞。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明目的是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，而提供一種基于導(dǎo)熱油蒸發(fā)機(jī)制的蒸發(fā)器，這種蒸發(fā)器的受熱面積大，受熱均勻，能夠極大的提升蒸發(fā)效能。本發(fā)明的技術(shù)方案是一種基于導(dǎo)熱油蒸發(fā)機(jī)制的蒸發(fā)器，包括蒸發(fā)容器，其特征在于所述蒸發(fā)容器側(cè)壁內(nèi)部設(shè)有夾層，所述夾層內(nèi)設(shè)有環(huán)繞蒸發(fā)容器的螺旋狀導(dǎo)熱油道，同時(shí)所述蒸發(fā)容器的側(cè)壁上開(kāi)設(shè)有分別同螺旋狀導(dǎo)熱油道的兩端相連的導(dǎo)熱油進(jìn)口和導(dǎo)熱油出口。優(yōu)選的，本發(fā)明中所述導(dǎo)熱油進(jìn)口的位置高于導(dǎo)熱油出口的位置，并且所述蒸發(fā)容器的底壁內(nèi)部設(shè)有與螺旋狀導(dǎo)熱油道連通的導(dǎo)油空腔，所述導(dǎo)熱油出口經(jīng)所述導(dǎo)油空腔與螺旋狀導(dǎo)熱油道相連。通過(guò)在容器底壁內(nèi)部設(shè)計(jì)導(dǎo)油空腔，引導(dǎo)導(dǎo)熱油從導(dǎo)油空腔內(nèi)通過(guò)，能夠進(jìn)一步提高蒸發(fā)容器的受熱面積，增大受熱效果，增強(qiáng)蒸發(fā)效能。同常規(guī)技術(shù)一樣，本發(fā)明中所述蒸發(fā)容器的頂部固定有伸入蒸發(fā)容器內(nèi)的通液管。同常規(guī)技術(shù)一樣，本發(fā)明中所述蒸發(fā)容器的底部固定有伸入蒸發(fā)容器內(nèi)的蒸發(fā)氣體排出管。
本發(fā)明在具體使用時(shí)需要同常規(guī)的導(dǎo)熱油加熱爐配合使用對(duì)導(dǎo)熱油實(shí)施加熱，待蒸液體(蒸發(fā)源)則通過(guò)蒸發(fā)容器頂部的通液管通入蒸發(fā)容器內(nèi)。高溫導(dǎo)熱油通過(guò)輸送管道經(jīng)蒸發(fā)容器上的導(dǎo)熱油進(jìn)口通入，由上而下沿螺旋狀導(dǎo)熱油道行進(jìn)，最后流過(guò)蒸發(fā)容器底部的導(dǎo)油空腔，經(jīng)導(dǎo)熱油出口排出。此過(guò)程中高溫導(dǎo)熱油對(duì)蒸發(fā)容器內(nèi)部的待蒸液體實(shí)施充分加熱，加速其蒸發(fā)成氣體，從蒸發(fā)氣體排出管中排出蒸發(fā)容器。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是I.本發(fā)明提供的這種基于導(dǎo)熱油機(jī)制的蒸發(fā)器，其在蒸發(fā)容器側(cè)壁內(nèi)設(shè)置夾層，并在夾層內(nèi)設(shè)置螺旋狀導(dǎo)熱油道，利用夾層大面積加熱蒸發(fā)源，同時(shí)利用螺旋狀導(dǎo)熱油道引導(dǎo)導(dǎo)熱油螺旋行進(jìn)，解決夾層內(nèi)導(dǎo)熱油的油溫分布不均勻的問(wèn)題，相比現(xiàn)有技術(shù)使得蒸發(fā)器的受熱面積更大，受熱更均勻，從而大大提升了蒸發(fā)器的蒸發(fā)效果和單位面積的蒸發(fā) 效率。2.本發(fā)明中的導(dǎo)熱油直接通入蒸發(fā)容器側(cè)壁的夾層內(nèi)對(duì)蒸發(fā)源實(shí)施加熱，熱傳導(dǎo)快，加熱效果更好。


下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步描述圖I為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖(圖中虛線(xiàn)為導(dǎo)熱油行進(jìn)路線(xiàn))。其中1、蒸發(fā)容器；2、螺旋狀導(dǎo)熱油道；3、導(dǎo)熱油進(jìn)口 ；4、導(dǎo)熱油出口 ；5、導(dǎo)油空腔；6、通液管；7、蒸發(fā)氣體排出管。
具體實(shí)施例方式實(shí)施例結(jié)合圖I所示，本發(fā)明提供了一種基于導(dǎo)熱油蒸發(fā)機(jī)制的蒸發(fā)器，其具有蒸發(fā)容器1，同常規(guī)技術(shù)一樣，該蒸發(fā)容器I的頂部固定有伸入蒸發(fā)容器I內(nèi)的通液管6，而蒸發(fā)容器I的底部固定有伸入蒸發(fā)容器I內(nèi)的蒸發(fā)氣體排出管7。本發(fā)明的核心技術(shù)改進(jìn)在于，所述蒸發(fā)容器I側(cè)壁內(nèi)部設(shè)有夾層，所述夾層內(nèi)設(shè)有環(huán)繞蒸發(fā)容器I的螺旋狀導(dǎo)熱油道2，同時(shí)所述蒸發(fā)容器I的側(cè)壁上開(kāi)設(shè)有分別同螺旋狀導(dǎo)熱油道2的兩端相連的導(dǎo)熱油進(jìn)口 3和導(dǎo)熱油出口 4。并且具體如圖I所示，本實(shí)施例中所述導(dǎo)熱油進(jìn)口 3的位置高于導(dǎo)熱油出口 4的位置，所述蒸發(fā)容器I的底壁內(nèi)部還設(shè)有與螺旋狀導(dǎo)熱油道2連通的導(dǎo)油空腔5，所述導(dǎo)熱油出口 4是經(jīng)所述導(dǎo)油空腔5與螺旋狀導(dǎo)熱油道2相連的。本發(fā)明在具體使用時(shí)需要同常規(guī)的導(dǎo)熱油加熱爐配合使用對(duì)導(dǎo)熱油實(shí)施加熱，待蒸液體(蒸發(fā)源)則通過(guò)蒸發(fā)容器I頂部的通液管6通入蒸發(fā)容器I內(nèi)。高溫導(dǎo)熱油通過(guò)輸送管道經(jīng)蒸發(fā)容器I上的導(dǎo)熱油進(jìn)口 3通入，由上而下沿螺旋狀導(dǎo)熱油道2行進(jìn)，最后流過(guò)蒸發(fā)容器I底部的導(dǎo)油空腔5，經(jīng)導(dǎo)熱油出口 4排出。此過(guò)程中高溫導(dǎo)熱油對(duì)蒸發(fā)容器I內(nèi)部的待蒸液體實(shí)施充分加熱，加速其蒸發(fā)成氣體，從蒸發(fā)氣體排出管7中排出蒸發(fā)容器I。本發(fā)明提供的這種基于導(dǎo)熱油機(jī)制的蒸發(fā)器，其在蒸發(fā)容器I側(cè)壁內(nèi)設(shè)置夾層，并在夾層內(nèi)設(shè)置螺旋狀導(dǎo)熱油道2，利用夾層大面積加熱蒸發(fā)源，同時(shí)利用螺旋狀導(dǎo)熱油道2引導(dǎo)導(dǎo)熱油螺旋行進(jìn)(如圖I中虛線(xiàn)所示)，解決夾層內(nèi)導(dǎo)熱油的油溫分布不均勻的問(wèn)題，相比現(xiàn)有技術(shù)使得蒸發(fā)器的受熱面積更大，受熱更均勻，從而大大提升了蒸發(fā)器的蒸發(fā)效果和單位面積的蒸發(fā)效率。并且由于本發(fā)明中的導(dǎo)熱油直接通入蒸發(fā)容器I側(cè)壁的夾層內(nèi)對(duì)蒸發(fā)源實(shí)施加熱，熱傳導(dǎo)快，加熱效果更好。當(dāng)然上述實(shí)施例只為說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn)，其目的在于讓熟悉此項(xiàng)技術(shù)的人能夠了解本發(fā)明的內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施，并不能以此限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。凡根據(jù)本發(fā)明主要技術(shù)方案的精神實(shí)質(zhì)所做 的修飾，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種基于導(dǎo)熱油蒸發(fā)機(jī)制的蒸發(fā)器，包括蒸發(fā)容器(I)，其特征在于所述蒸發(fā)容器(I)側(cè)壁內(nèi)部設(shè)有夾層，所述夾層內(nèi)設(shè)有環(huán)繞蒸發(fā)容器(I)的螺旋狀導(dǎo)熱油道(2)，同時(shí)所述蒸發(fā)容器(I)的側(cè)壁上開(kāi)設(shè)有分別同螺旋狀導(dǎo)熱油道(2)的兩端相連的導(dǎo)熱油進(jìn)口(3)和導(dǎo)熱油出口(4)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的基于導(dǎo)熱油蒸發(fā)機(jī)制的蒸發(fā)器，其特征在于所述導(dǎo)熱油進(jìn)口(3)的位置高于導(dǎo)熱油出口(4)的位置，并且所述蒸發(fā)容器(I)的底壁內(nèi)部設(shè)有與螺旋狀導(dǎo)熱油道(2)連通的導(dǎo)油空腔(5)，所述導(dǎo)熱油出口(4)經(jīng)所述導(dǎo)油空腔(5)與螺旋狀導(dǎo)熱油道(2)相連。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的基于導(dǎo)熱油蒸發(fā)機(jī)制的蒸發(fā)器，其特征在于所述蒸發(fā)容器(I)的頂部固定有伸入蒸發(fā)容器(I)內(nèi)的通液管(6)。
4.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的基于導(dǎo)熱油蒸發(fā)機(jī)制的蒸發(fā)器，其特征在于所述蒸發(fā)容器(I)的底部固定有伸入蒸發(fā)容器(I)內(nèi)的蒸發(fā)氣體排出管(7)。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種基于導(dǎo)熱油蒸發(fā)機(jī)制的蒸發(fā)器，包括蒸發(fā)容器，其特征在于所述蒸發(fā)容器側(cè)壁內(nèi)部設(shè)有夾層，所述夾層內(nèi)設(shè)有環(huán)繞蒸發(fā)容器的螺旋狀導(dǎo)熱油道，同時(shí)所述蒸發(fā)容器的側(cè)壁上開(kāi)設(shè)有分別同螺旋狀導(dǎo)熱油道的兩端相連的導(dǎo)熱油進(jìn)口和導(dǎo)熱油出口。本發(fā)明利用夾層大面積加熱蒸發(fā)源，同時(shí)利用螺旋狀導(dǎo)熱油道引導(dǎo)導(dǎo)熱油螺旋行進(jìn)，解決夾層內(nèi)導(dǎo)熱油的油溫分布不均勻的問(wèn)題，相比現(xiàn)有技術(shù)使得蒸發(fā)器的受熱面積更大，受熱更均勻，從而大大提升了蒸發(fā)器的蒸發(fā)效果和單位面積的蒸發(fā)效率。
文檔編號(hào)C23C16/448GK102644064SQ20121014548
公開(kāi)日2012年8月22日 申請(qǐng)日期2012年5月11日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月11日
發(fā)明者周?chē)?guó)山, 謝義元 申請(qǐng)人:蘇州新材料研究所有限公司