專利名稱：拋光板自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)的裝置及使用該裝置的拋光板操作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種用于使拋光板自轉(zhuǎn)(rotation)和公轉(zhuǎn)(revolution)的裝置以及ー種使用該裝置的拋光板操作方法，更具體地，涉及ー種用于使拋光板自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)的裝置以及ー種使用該裝置的拋光板操作方法，所述裝置和方法可通過允許拋光板自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)來提高玻璃基板的拋光率。
背景技術：
通常，非常重要的是使應用于液晶顯示器的玻璃基板保持其平面度(flatness)在某一水平，從而準確地呈現(xiàn)圖像。因此，存在于玻璃基板的表面的細微的不均勻或起伏應通過拋光エ藝去除。玻璃基板的拋光エ藝可分為將單獨的玻璃基板逐個拋光的所謂“操作順序控制陣列(Oscar)”法和連續(xù)拋光一系列玻璃基板的所謂“排隊(inline)”法。拋光エ藝還可分為僅對玻璃基板的ー個表面拋光的“單面拋光”和對玻璃基板的兩個表面都拋光的“雙面拋
V, ”
JU O參照圖1，其示意性示出一個常規(guī)的玻璃基板拋光設備，在玻璃基板G通過托架4保持在下部板2上的狀態(tài)中，拋光設備10將ー個上部板(或拋光板)8——其中拋光墊6安裝至該上部板(拋光板)——帶至與所述玻璃基板G接觸，并同時在轉(zhuǎn)動所述拋光板8時在拋光板8和玻璃基板G之間供應拋光液，由此研磨所述玻璃基板G。對于此，通過使用形成在拋光板8中的多個狹縫8a以及安裝在拋光板8上方的與所述拋光板8間隔開的ー個位置處的軟管3，拋光設備10借助自由降落供應拋光液體。拋光板8借助從ー個軸7傳送的轉(zhuǎn)動カ轉(zhuǎn)動。然而，由于僅拋光板8轉(zhuǎn)動，在提高玻璃基板G的拋光率方面存在限制。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明設計用于解決現(xiàn)有技術的問題，因此本發(fā)明的ー個目的是提供一種能夠允許拋光板(或軸)自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)的裝置，以及使用該裝置的拋光板操作方法。本發(fā)明的另一目的是提供ー種能夠提高玻璃基板的拋光率的裝置以及使用該裝置的拋光板操作方法。一方面，本發(fā)明提供了一種用于使拋光板自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)的裝置，包括一個圓柱體構(gòu)件(20)，具有沿長度方向形成的ー個中空部以及具有形成在外周緣的ー個外周緣齒輪
(26);—個軸(50)，沿長度方向安裝在所述中空部中并且由所述圓柱體構(gòu)件(20)支承以能夠在偏離所述圓柱體構(gòu)件(20)的中心的位置自轉(zhuǎn)，ー個軸齒輪(51)安裝至所述軸(50)的外周緣，所述軸(50)連接至一個拋光板；以及ー個環(huán)齒輪(60)，具有ー個內(nèi)部齒輪(61)和ー個外部齒輪(62)，所述內(nèi)部齒輪(61)形成在該環(huán)齒輪的內(nèi)周緣，所述外部齒輪(62)形成在該環(huán)齒輪的外周緣，所述內(nèi)部齒輪(61)被安裝為與所述軸齒輪(51)嚙合。在將ー個驅(qū)動力傳送至所述圓柱體構(gòu)件(20)使得所述圓柱體構(gòu)件(20)自轉(zhuǎn)的情況下，所述軸(50)借助于偏心性(eccentricity)在所述中空部內(nèi)公轉(zhuǎn),所述公轉(zhuǎn)是在所述軸齒輪(51)與所述內(nèi)部齒輪(61)嚙合的狀態(tài)下進行的。此時，在將一個驅(qū)動カ傳送至所述外部齒輪(62)以使得所述環(huán)齒輪(60)自轉(zhuǎn)的情況下，所述軸齒輪(51)可自轉(zhuǎn)。所述環(huán)齒輪(60)可通過使用來自ー個自轉(zhuǎn)馬達傳送的驅(qū)動カ自轉(zhuǎn)，所述圓柱體構(gòu)件(20)可通過使用來自ー個公轉(zhuǎn)馬達傳送的驅(qū)動カ自轉(zhuǎn)。另外，可在所述環(huán)齒輪(60)和所述自轉(zhuǎn)馬達之間安裝多個齒輪(71)、(72)、(73)、 (74)和(75),以允許傳送所述自轉(zhuǎn)馬達的驅(qū)動力，從而調(diào)節(jié)齒輪減速比(reduction rate)。此外，在所述外周緣齒輪(26)和所述公轉(zhuǎn)馬達之間可安裝多個齒輪(22)、(23)和
(24)，以允許傳送所述公轉(zhuǎn)馬達的驅(qū)動力，從而調(diào)節(jié)齒輪減速比。同時，在另一方面，本發(fā)明還提供了ー種使用使拋光板自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)的裝置的拋光板操作方法，其中通過推動(force)連接至用于將玻璃基板拋光的拋光板的ー個軸(50)自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)，使拋光板同時自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)。上述方法中使用的所述裝置可包括一個圓柱體構(gòu)件(20)，具有沿長度方向形成的ー個中空部以及具有形成在外周緣的ー個外周緣齒輪(26);—個軸(50)，沿長度方向安裝在所述中空部中并且由所述圓柱體構(gòu)件(20)支承以能夠在偏離所述圓柱體構(gòu)件(20)的中心的位置自轉(zhuǎn)，ー個軸齒輪(51)安裝至所述軸(50)的外周緣，所述軸(50)連接至所述拋光板；以及一個環(huán)齒輪(60),具有一個內(nèi)部齒輪(61)和一個外部齒輪(62),所述內(nèi)部齒輪(61)形成在該環(huán)齒輪的內(nèi)周緣，所述外部齒輪(62)形成在該環(huán)齒輪的外周緣，所述內(nèi)部齒輪(61)被安裝以與所述軸齒輪(51)嚙合。隨著所述圓柱體構(gòu)件(20)通過ー個驅(qū)動カ自轉(zhuǎn)，所述軸(50)借助于偏心性在所述中空部內(nèi)公轉(zhuǎn)，所述公轉(zhuǎn)是在所述軸齒輪(51)與所述內(nèi)部齒輪(61)嚙合的狀態(tài)下進行的。另外，在將ー個驅(qū)動カ傳送至所述外部齒輪(62)使得所述環(huán)齒輪(60)自轉(zhuǎn)的情況下，所述軸齒輪(51)自轉(zhuǎn)。用于所述自轉(zhuǎn)的所述驅(qū)動力可由一個自轉(zhuǎn)馬達傳送，用于所述公轉(zhuǎn)的所述驅(qū)動力由一個公轉(zhuǎn)馬達傳送，可在所述環(huán)齒輪(60)和所述自轉(zhuǎn)馬達之間安裝多個齒輪(71)、
(72)、(73)、(74)和(75)，以允許傳送所述自轉(zhuǎn)馬達的驅(qū)動力，從而調(diào)節(jié)齒輪減速比，以及在所述外周緣齒輪(26)和所述公轉(zhuǎn)馬達之間安裝多個齒輪(22)、(23)和(24)，以允許傳送所述公轉(zhuǎn)馬達的驅(qū)動力，從而調(diào)節(jié)齒輪減速比。根據(jù)本發(fā)明的用于使拋光板自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)的裝置以及使用該裝置的拋光板操作方法產(chǎn)生下列效果。首先，拋光板(或，軸)可同時自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)。其次，通過允許拋光板(或，軸)同時自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)，可提高玻璃基板的拋光率。


本發(fā)明的其他目的和方面將從下面參照附圖對實施方案的描述中變得明了，在所述附圖中圖I是示出一個常規(guī)的玻璃基板拋光設備的側(cè)視圖；圖2是示出根據(jù)本發(fā)明的一個優(yōu)選實施方案用于使拋光板自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)的裝置的立體圖；圖3是示出圖2的裝置中使用的公轉(zhuǎn)單元的立體圖；圖4是示出圖2的裝置中使用的圓柱體構(gòu)件和軸的豎向截面圖；圖5是示出圖2的裝置中使用的自轉(zhuǎn)單元的立體圖。<參考標記>
20:圓柱體構(gòu)件21 :公轉(zhuǎn)馬達22、23、24:齒輪 25 :中空部26 :外周緣齒輪50 -M51 :軸齒輪60 :環(huán)齒輪61:內(nèi)部齒輪62 :外部齒輪70:自轉(zhuǎn)馬達71、72、73、74、75 :齒輪100 :用于使拋光板自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)的裝置G:玻璃基板d:偏心距離
具體實施例方式在下文，將參照附圖詳細描述本發(fā)明的優(yōu)選實施方案。在描述之前，應理解在說明書和隨附權利要求中使用的術語不應理解為限制于通常含義和字典含義，而是應根據(jù)允許發(fā)明人為最佳解釋合適限定術語的原則，基于對應于本發(fā)明的技術方面的含義和概念被解釋。因此，本文給出的描述只是僅為示例目的的優(yōu)選示例，不意在限制本發(fā)明的范圍，因此應理解在不偏離本發(fā)明的主g和范圍的情況下，可對本發(fā)明做出其他等同替換和修改。圖2是示出根據(jù)本發(fā)明的一個優(yōu)選實施方案用于使拋光板自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)的裝置的立體圖。參照圖2，裝置100包括用于使軸50公轉(zhuǎn)的公轉(zhuǎn)單元和用于使軸50自轉(zhuǎn)的自轉(zhuǎn)單
J Li ο同時，軸50連接至一個拋光板8 (參見圖I)(圖2中未示出)。從而，在本發(fā)明中，如果軸50自轉(zhuǎn)，拋光板8也自轉(zhuǎn)。另外，如果軸50公轉(zhuǎn)，拋光板8也公轉(zhuǎn)。此外，如果軸50同時自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)，拋光板8也同時自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)。因此，在本發(fā)明中，軸50的自轉(zhuǎn)代表了拋光板8的自轉(zhuǎn),軸50的公轉(zhuǎn)代表了拋光板8的公轉(zhuǎn)。公轉(zhuǎn)單元包括一個圓柱體構(gòu)件20 ;—個公轉(zhuǎn)馬達21，用于提供允許所述圓柱體構(gòu)件20自轉(zhuǎn)的驅(qū)動カ；以及多個齒輪22、23和24，用于將公轉(zhuǎn)馬達21的驅(qū)動カ傳送至圓柱體構(gòu)件20。所述公轉(zhuǎn)単元允許安裝穿過所述圓柱體構(gòu)件20的軸50基于圓柱體構(gòu)件20的中心公轉(zhuǎn)。如圖4中所示，圓柱體構(gòu)件20包括沿該圓柱體構(gòu)件的長度方向形成的中空部25、一個安裝在該圓柱體構(gòu)件的外周緣的外周緣齒輪26、以及用干支承所述軸50的軸承27。圓柱體構(gòu)件20固定在框架30中。所述中空部25沿圓柱體構(gòu)件20的長度方向形成在圓柱體構(gòu)件20中，所述外周緣齒輪26接收來自公轉(zhuǎn)馬達21的驅(qū)動カ并自轉(zhuǎn)。軸承27支承安裝穿過所述中空部25的所述軸50，使得軸50可自轉(zhuǎn)。所述軸50被安裝為偏離所述圓柱體構(gòu)件20的中心ー個預定距離d。從而,如果圓柱體構(gòu)件20自轉(zhuǎn)，軸50公轉(zhuǎn)同時畫一個半徑為偏心距離d的圓。公轉(zhuǎn)馬達21通過多個齒輪22、23和24將驅(qū)動力傳送至外周緣齒輪26。多個齒輪22、23和24優(yōu)選具有不同的齒數(shù)目，使得可降低公轉(zhuǎn)馬達21的轉(zhuǎn)動速度(R. P.M.)。圖3示出了三個齒輪22、23和24被安裝為相互嚙合，可按照多種方式改變齒輪的組合來獲得想要的減速比。自轉(zhuǎn)單元允許所述軸50基于軸50的中心自轉(zhuǎn)。如圖5中所示，自轉(zhuǎn)單元包括一個軸50，具有安裝至該軸的軸齒輪51 ;—個環(huán)齒輪60，安裝用于與所述軸齒輪51嚙合；一個自轉(zhuǎn)馬達70 ；以及多個齒輪71、72、73、74和75，用于將該自轉(zhuǎn)馬達70的驅(qū)動カ傳送至所述環(huán)齒輪60。
所述軸50沿所述圓柱體構(gòu)件20的長度方向被安裝在中空部25中。所述軸50被安裝在偏離所述圓柱體構(gòu)件20的中心ー個預定距離d的位置。所述軸50被軸承27支承以能夠自轉(zhuǎn)。軸齒輪51安裝在所述軸50的外周緣，拋光板8 (參見圖I)(圖5中未示出)安裝在軸50的下端。環(huán)齒輪60安裝在圓柱體構(gòu)件20的上側(cè)。環(huán)齒輪60包括ー個內(nèi)部齒輪61和ー個外部齒輪62,內(nèi)部齒輪61形成在該環(huán)齒輪的內(nèi)周緣,外部齒輪62形成在該環(huán)齒輪的外周緣。所述內(nèi)部齒輪61被安裝為與軸齒輪51嚙合，所述外部齒輪62被安裝為與所述齒輪75
ロ四合。環(huán)齒輪60和圓柱體構(gòu)件20分開自轉(zhuǎn)。換言之，環(huán)齒輪60通過自轉(zhuǎn)馬達70的驅(qū)動カ自轉(zhuǎn)，圓柱體構(gòu)件20通過公轉(zhuǎn)馬達21的驅(qū)動カ自轉(zhuǎn)。環(huán)齒輪60具有一個允許所述軸50同時自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)的內(nèi)徑(由環(huán)齒輪60的內(nèi)周緣形成的直徑)。換言之，軸50被安裝在ー個偏離圓柱體構(gòu)件20的中心的位置并且公轉(zhuǎn)，同時畫一個半徑為偏心距離d的圓。此時，環(huán)齒輪60具有如下ー個內(nèi)徑，該內(nèi)徑保持所述軸50在如上所述公轉(zhuǎn)時與內(nèi)部齒輪61嚙合，從而所述軸50可同時自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)。自轉(zhuǎn)馬達70通過多個齒輪71、72、73、74和75將驅(qū)動力傳送至外部齒輪62。所述多個齒輪71、72、73、74和75優(yōu)選具有不同的齒數(shù)目，使得可降低自轉(zhuǎn)馬達70的轉(zhuǎn)動速度(R.P.M.)。盡管圖5示出了五個齒輪71、72、73、74和75被安裝為相互嚙合，但可按照多種方式改變齒輪的組合來獲得想要的減速比。現(xiàn)在，將描述根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實施方案的裝置100的操作過程。該操作過程也指拋光板操作方法。同時，在該操作方法中，通過使用托架4 (圖I)將玻璃基板G (參見圖I)放置在下部板2的上表面以及將拋光液供應在拋光板8和玻璃基板G之間是本領域眾所周知的，此處將不再詳細描述。首先，如果自轉(zhuǎn)馬達70工作，所述自轉(zhuǎn)馬達70的驅(qū)動カ通過多個齒輪71、72、73、74和75被傳送至外部齒輪62，從而使所述環(huán)齒輪60自轉(zhuǎn)。如果環(huán)齒輪60自轉(zhuǎn)，與所述內(nèi)部齒輪61嚙合的軸齒輪51自轉(zhuǎn)，從而使所述軸50自轉(zhuǎn)。如圖5中所示，如果環(huán)齒輪60沿逆時針方向(沿箭頭方向，其在從上方觀察時是逆時針方向)自轉(zhuǎn)，則所述軸50也沿逆時針方向(沿箭頭方向)自轉(zhuǎn)。同吋，如果公轉(zhuǎn)馬達21工作，所述公轉(zhuǎn)馬達21的驅(qū)動カ通過多個齒輪22、23和24傳送至外周緣齒輪26，從而使所述圓柱體構(gòu)件20自轉(zhuǎn)。如果圓柱體構(gòu)件20自轉(zhuǎn),軸50繞圓柱體構(gòu)件20的中心旋轉(zhuǎn)同時畫一個半徑為偏心距離d的圓。此時，為了獲得想要的減速比，可互換所述齒輪22、23和24來改變減速比。如圖3中所示，如果圓柱體構(gòu)件20沿順時針方向(沿箭頭方向，該箭頭方向在從上方觀察時是順時針方向)自轉(zhuǎn)，軸50也沿順時針方向(當從上方觀察時)“公轉(zhuǎn)”。由于在軸齒輪51保持與內(nèi)部齒輪61嚙合時進行公轉(zhuǎn)，因此在公轉(zhuǎn)期間持續(xù)地進行自轉(zhuǎn)。如上所述，根據(jù)本發(fā)明的裝置100可提高拋光率，因為公轉(zhuǎn)馬達21和自轉(zhuǎn)馬達70都工作使得拋光板8同時自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)。例如，根據(jù)本發(fā)明的裝置100可將玻璃基板G的拋 光率提高O. 3 μ m/min以上。同吋，盡管已示例為公轉(zhuǎn)馬達21和自轉(zhuǎn)馬達70都工作使得軸50——也即，拋光板8——同時自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)，但在根據(jù)本發(fā)明的裝置100中，在自轉(zhuǎn)馬達70處于關停狀態(tài)的情況下，通過僅運行所述公轉(zhuǎn)馬達21可使拋光板8同時自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)。盡管自轉(zhuǎn)馬達70被關停，軸50也可自轉(zhuǎn)，因為在軸50公轉(zhuǎn)時所述軸齒輪51保持與內(nèi)部齒輪61嚙合。另外，還可能的是，通過僅運行所述自轉(zhuǎn)馬達70并關停所述公轉(zhuǎn)馬達21來使所述拋光板8自轉(zhuǎn)。這對于本領域普通技術人員而言是明了的，此處不再詳細描述。
權利要求
1.一種用于使拋光板自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)的裝置，包括 一個圓柱體構(gòu)件(20)，具有沿長度方向形成的一個中空部以及具有形成在外周緣的一個外周緣齒輪(26)； 一個軸(50)，沿長度方向安裝在所述中空部中并且由圓柱體構(gòu)件(20)支承以能夠在偏離所述圓柱體構(gòu)件(20)的中心的位置自轉(zhuǎn),一個軸齒輪(51)安裝至所述軸(50)的外周緣，所述軸(50)連接至一個拋光板；以及 一個環(huán)齒輪(60),具有一個內(nèi)部齒輪(61)和一個外部齒輪(62),所述內(nèi)部齒輪(61)形成在該環(huán)齒輪的內(nèi)周緣，所述外部齒輪(62)形成在該環(huán)齒輪的外周緣,所述內(nèi)部齒輪(61)被安裝為與所述軸齒輪(51)嚙合， 其中，在將一個驅(qū)動力傳送至所述圓柱體構(gòu)件(20)以使得所述圓柱體構(gòu)件(20)自轉(zhuǎn)的情況下，所述軸(50)借助于偏心性在所述中空部內(nèi)公轉(zhuǎn)，所述公轉(zhuǎn)是在所述軸齒輪(51)與所述內(nèi)部齒輪(61)嚙合的狀態(tài)下進行的。
2.根據(jù)權利要求I所述的使拋光板自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)的裝置，其中在驅(qū)動力傳送至所述外部齒輪(62)使得所述環(huán)齒輪(60)自轉(zhuǎn)的情況下，所述軸齒輪(51)自轉(zhuǎn)。
3.根據(jù)權利要求2所述的使拋光板自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)的裝置，其中所述環(huán)齒輪(60)通過使用來自一個自轉(zhuǎn)馬達傳送的驅(qū)動力自轉(zhuǎn)，所述圓柱體構(gòu)件(20)通過使用來自一個公轉(zhuǎn)馬達傳送的驅(qū)動力自轉(zhuǎn)。
4.根據(jù)權利要求3所述的使拋光板自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)的裝置，其中在所述環(huán)齒輪(60)和所述自轉(zhuǎn)馬達之間安裝多個齒輪(71)、(72)、(73)、(74)和(75)，以允許傳送所述自轉(zhuǎn)馬達的驅(qū)動力，從而調(diào)節(jié)齒輪減速比。
5.根據(jù)權利要求3所述的使拋光板自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)的裝置，其中在所述外周緣齒輪(26)和所述公轉(zhuǎn)馬達之間安裝多個齒輪(22)、(23)和(24)，以允許傳送所述公轉(zhuǎn)馬達的驅(qū)動力，從而調(diào)節(jié)齒輪減速比。
6.一種使用使拋光板自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)的裝置的拋光板操作方法，其中通過推動連接至用于將玻璃基板拋光的拋光板的一個軸(50)自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn),使所述拋光板同時自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)。
7.根據(jù)權利要求6所述的使用使拋光板自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)的裝置的拋光板操作方法，其中所述裝置包括 一個圓柱體構(gòu)件(20)，具有沿長度方向形成的一個中空部以及具有形成在外周緣的一個外周緣齒輪(26)； 一個軸(50)，沿長度方向安裝在所述中空部中并且由圓柱體構(gòu)件(20)支承以能夠在偏離所述圓柱體構(gòu)件(20)的中心的位置自轉(zhuǎn),一個軸齒輪(51)安裝至所述軸(50)的外周緣，所述軸(50)連接至所述拋光板；以及 一個環(huán)齒輪(60),具有一個內(nèi)部齒輪(61)和一個外部齒輪(62),所述內(nèi)部齒輪(61)形成在該環(huán)齒輪的內(nèi)周緣，所述外部齒輪(62)形成在該環(huán)齒輪的外周緣,所述內(nèi)部齒輪(61)被安裝為與所述軸齒輪(51)嚙合， 其中，隨著所述圓柱體構(gòu)件(20)通過一個驅(qū)動力自轉(zhuǎn)，所述軸(50)借助于偏心性在所述中空部內(nèi)公轉(zhuǎn)，所述公轉(zhuǎn)是在所述軸齒輪(51)與所述內(nèi)部齒輪(61)嚙合的狀態(tài)下進行的，以及 其中，在將一個驅(qū)動力傳送至所述外部齒輪(62)以使得所述環(huán)齒輪(60)自轉(zhuǎn)的情況下，所述軸齒輪(51)自轉(zhuǎn)。
8.根據(jù)權利要求7所述的使用使拋光板自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)的裝置的拋光板操作方法， 其中用于所述自轉(zhuǎn)的驅(qū)動力由一個自轉(zhuǎn)馬達傳送，以及用于所述公轉(zhuǎn)的驅(qū)動力由一個公轉(zhuǎn)馬達傳送，以及 其中在所述環(huán)齒輪(60)和所述自轉(zhuǎn)馬達之間安裝多個齒輪(71)、(72)、(73)、(74)和(75)，以允許傳送所述自轉(zhuǎn)馬達的驅(qū)動力，從而調(diào)節(jié)齒輪減速比，以及在所述外周緣齒輪(26)和所述公轉(zhuǎn)馬達之間安裝多個齒輪(22)、(23)和(24)，以允許傳送所述公轉(zhuǎn)馬達的驅(qū)動力，從而調(diào)節(jié)齒輪減速比。
全文摘要
一種用于使拋光板自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)的裝置，其可提高玻璃基板的拋光率，因為拋光板可同時自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)。
文檔編號B24B7/24GK102825516SQ201210206029
公開日2012年12月19日 申請日期2012年6月18日 優(yōu)先權日2011年6月16日
發(fā)明者馬久鎬, 樸炳奎, 鄭昱, 李大淵, 宋在翊 申請人:株式會社Lg化學