專利名稱：低溫低應(yīng)力化學(xué)鍍銅溶液的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于印制電路板(PCB)表面處理技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種在較低溫度下，沉積速率高、鍍膜質(zhì)量好、鍍層應(yīng)力低、且鍍液穩(wěn)定的化學(xué)鍍銅溶液。
背景技術(shù)：
印制電路板(PCB)具有運(yùn)行可靠性高、重量輕、體積小、易于標(biāo)準(zhǔn)化等優(yōu)點(diǎn)，幾乎是所有電子設(shè)備的核心部件?；瘜W(xué)鍍銅工藝是印制電路金屬化的關(guān)鍵技術(shù)。隨著印制板線條的不斷細(xì)化，過(guò)去通過(guò)提高基體表面粗糙度的方法來(lái)提高基體與化學(xué)銅膜間粘結(jié)強(qiáng)度變得困難。如果基體表面粗糙度較高，使得銅互連線在高頻信號(hào)傳輸過(guò)程中產(chǎn)生較大的信號(hào)衰減和低的信噪比，極大的影響PCB的性能。為了降低高頻信號(hào)的衰減、獲得高的信噪比，同時(shí)在平滑的基體表面提高基材與金屬鍍層間的粘接強(qiáng)度，低溫、低應(yīng)力化學(xué)鍍銅技術(shù)尤為關(guān)鍵。因此研制開發(fā)低應(yīng)力化學(xué)鍍銅溶液對(duì)我國(guó)PCB產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展具有重要的意義。 低溫化學(xué)鍍銅溶液具有較低的操作溫度、降低甲醛揮發(fā)、有利于安全、節(jié)能、環(huán)保生產(chǎn)。低溫化學(xué)鍍銅溶液一般以酒石酸鉀鈉為絡(luò)合劑，甲醛為還原劑，本專利重點(diǎn)在尋找合適的有機(jī)添加劑(加速劑、抑制劑、消除應(yīng)力劑等)，并確定各組份最佳含量以及添加劑復(fù)配使用時(shí)的協(xié)同作用，最終獲得一種在低溫條件下，沉積速率高，應(yīng)力低，銅膜外觀較好且穩(wěn)定性良好的化學(xué)鍍銅溶液配方。為了抑制化學(xué)鍍銅中副反應(yīng)的發(fā)生，提高鍍液的穩(wěn)定性，常常需加入穩(wěn)定劑，但穩(wěn)定劑的加入會(huì)導(dǎo)致沉積速率下降太快，因此我們首先要研究化學(xué)鍍液的加速劑，在添加加速劑的基礎(chǔ)上，選擇合適的抑制劑，既能保持溶液的穩(wěn)定性，還能確保沉積速率不能下降太快，然后通過(guò)加入表面活性劑與應(yīng)力消除劑形成一種協(xié)同作用，最終來(lái)實(shí)現(xiàn)低溫低應(yīng)力化學(xué)鍍銅溶液。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的化學(xué)鍍銅溶液所存在的缺陷，本發(fā)明提供了一種能夠在低溫環(huán)境下實(shí)現(xiàn)沉積速率高、沉積銅膜應(yīng)力低、且銅膜質(zhì)量好，表面形成一種協(xié)同作用，化學(xué)鍍液穩(wěn)定的低溫低應(yīng)力化學(xué)鍍銅溶液。解決上述技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是在IL的該化學(xué)鍍銅溶液包含有下述質(zhì)量配比的原料五水硫酸銅5 20g 四水合酒石酸鉀鈉10 50g
甲醛或乙醛酸1.0 5.0g
硫酸鎳或其結(jié)晶水合物0.002 0.5g
加速劑0.001 0.02g 抑制齊U0.001 0.02g
陰離子表面活性劑0.002 0.5g
NaOH1.5 5.0g
蒸餾水加至IL上述的加速劑為含羧基衍生物或含氨基衍生物；上述的抑制劑為8-喹啉磺酰氯、2，2’ - 二硫二吡啶、2，9- 二甲基啉菲羅啉、1- (4-吡啶基)哌嗪、2，2，-聯(lián)吡啶和1，10-菲啰啉-5，6- 二酮中的任意一種；上述的陰離子表面活性劑為椰油基羥乙基磺酸鈉、N-椰子?；劝彼釂吴c鹽、壬基酚聚氧乙烯醚硫酸鈉、十二烷基苯磺酸鈉、十二烷基磺酸鈉、磺基琥珀酸蓖麻油酯鈉鹽中的任意一種。在IL的化學(xué)鍍銅溶液中所含原料較佳的質(zhì)量配比為
五水硫酸銅5 20g 四水合酒石酸鉀鈉10 50g
甲醛或乙醛酸1.0 5.0g
硫酸鎳或其結(jié)晶水合物0.005 0.3g
加速劑0.002 O.Olg
抑制劑0.002 O.Olg
陰離子表面活性劑0.004 0.4g
NaOH[5 5_0g
蒸餾水加至1L。在IL的化學(xué)鍍銅溶液中所含原料最佳的質(zhì)量配比為五水硫酸銅IOg 四水合酒石酸鉀鈉30g 甲醛或乙醛酸1.5g
硫酸鎳或其結(jié)晶水合物0.05g
加速劑0.004g 抑制劑0.005g
明離子表面活性劑0.02g
NaOH2.5g 蒸餾水加至1L。上述含羧基衍生物是5-羥基色氨酸、DL-賴氨酸、L-精氨酸、蘋果酸、馬來(lái)酸二酯、硫代蘋果酸、DL-谷氨酸中的任意一種。上述含氨基衍生物是2，6-二氨基吡啶、4-二甲氨基吡啶、3-氨基-4-甲酰胺基吡唑半硫酸鹽、3-氨基-4-羥基吡啶、2-氨基吡啶-3-羧酰胺中的任意一種。上述的硫酸鎳結(jié)晶水合物是七水硫酸鎳或六水硫酸鎳。上述低溫低應(yīng)力化學(xué)鍍銅溶液的制備方法是按照上述原料的質(zhì)量配比，將五水硫酸銅、四水合酒石酸鉀鈉加入到燒杯中，然后加入900mL蒸餾水至固體完全溶解，再依次加入甲醛或乙醛酸、濃度為2g/L的硫酸鎳或其結(jié)晶水合物、濃度為O. 4g/L的加速劑、濃度為O. 4g/L的抑制劑、濃度為O. 4g/L的陰離子表面活性劑、加NaOH調(diào)節(jié)溶液pH為12. 5，攪拌均勻，用蒸餾水定容至1L，配制成低溫低應(yīng)力的化學(xué)鍍銅溶液。本發(fā)明的低溫低應(yīng)力化學(xué)鍍銅溶液是在以硫酸銅為主鹽，四水合酒石酸鉀鈉為絡(luò)合劑，甲醛或乙醛酸為還原劑的基礎(chǔ)體系中添加加速劑、抑制劑、鎳離子和陰離子表面活性齊 ，可實(shí)現(xiàn)在低溫條件下快速沉積形成外觀光亮、應(yīng)力較低、質(zhì)量好、粘結(jié)強(qiáng)度高的化學(xué)銅膜鍍層，且本發(fā)明的化學(xué)鍍銅溶液穩(wěn)定，成本低，適于工業(yè)化應(yīng)用。


圖1是未使用添加劑的基礎(chǔ)鍍液在ABS板上所鍍銅膜的表面形貌環(huán)境掃描電子顯微鏡圖。圖2是添加了加速劑5-羥基色氨酸的化學(xué)鍍液所鍍銅膜的表面形貌環(huán)境掃描電子顯微鏡圖。圖3是添加了 5-羥基色氨酸和硫酸鎳的化學(xué)鍍液所鍍銅膜的表面形貌環(huán)境掃描電子顯微鏡圖。圖4是添加了 5-羥基色氨酸、硫酸鎳和抑制劑1- (4-吡啶基)哌嗪的化學(xué)鍍液所鍍銅膜的表面形貌環(huán)境掃描電子顯微鏡圖。圖5是實(shí)施例1制備的化學(xué)鍍銅溶液在ABS工程塑料板所鍍銅膜的表面形貌環(huán)境掃描電子顯微鏡圖。圖6是實(shí)施例1制備的化學(xué)鍍銅溶液在ABS工程塑料板上鍍銅后的X射線晶體衍射7是實(shí)施例1制備的化學(xué)鍍銅溶液在ABS工程塑料板所鍍銅膜(311)晶面的2 Θ -Sin2W的直線斜率圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，但本發(fā)明不限于這些實(shí)施例。實(shí)施例1以制備本發(fā)明化學(xué)鍍銅溶液IL為例，所用原料及其質(zhì)量配比如下
五水硫酸銅IOg 四水合酒石酸鉀鈉30g 甲醛1.5g 硫酸鎳0.05g 5-羥基色氨酸0.004g1- (4-吡啶基)哌嗪0.005g
N-椰子酰基谷氨酸單鈉鹽0.02g
NaOH2.5g
蒸熘水加至IL上述化學(xué)鍍銅溶液是按照以下方法制備按照上述原料的質(zhì)量配比，將五水硫酸銅、四水合酒石酸鉀鈉加入燒杯中，加入900mL蒸餾水至固體完全溶解，再加入甲醛、濃度為O. 4g/L的5-羥基色氨酸、濃度為O. 4g/L的1- (4-吡啶基)哌嗪、濃度為2g/L的硫酸鎳、濃度為4g/L的N-椰子?；劝彼釂吴c鹽、用2. 5g的NaOH調(diào)節(jié)pH為12. 5，攪拌均勻，用蒸餾水定容至1L，配制成低溫低應(yīng)力化學(xué)鍍銅溶液。實(shí)施例2以制備本發(fā)明化學(xué)鍍銅溶液IL為例，所用原料及其質(zhì)量配比如下五水硫酸銅IOg 四水合酒石酸鉀鈉30g
甲醛1.5g
硫酸鎳0.05g
5-羥基色氨酸0.003g1- (4-吡啶基)哌嗉0.003g
N-椰子酰基谷氨酸單鈉鹽O.Olg
NaOH2.5g
蒸餾水加至IL
上述化學(xué)鍍銅溶液的制備方法與實(shí)施例1相同。實(shí)施例3以制備本發(fā)明化學(xué)鍍銅溶液IL為例，所用原料及其質(zhì)量配比如下
五水硫酸銅IOg
四水合酒石酸鉀鈉30g
甲醛1.5g
硫酸鎳0.05g
5-羥基色氨酸0.008g1- (4-吡啶基)哌嗪0.008g
N-椰子?；劝彼釂吴c鹽O.1g
NaOH2.Sg
蒸鎦水加至IL上述化學(xué)鍍銅溶液的制備方法與實(shí)施例1相同。實(shí)施例4以制備本發(fā)明化學(xué)鍍銅溶液IL為例，所用原料及其質(zhì)量配比如下
五水硫酸銅5g四水合酒石酸鉀鈉IOg
甲醛l.Og
硫酸鎳0.005g
5-羥基色氨酸0.004g1- (4-吡唳基)哌嗪0.005g
N-椰子酰基谷氨酸單鈉鹽0.02g
NaOH1.5g
蒸餾水加至IL上述化學(xué)鍍銅溶液制備方法與實(shí)施例1相同。實(shí)施例5以制備本發(fā)明化學(xué)鍍銅溶液IL為例，所用原料及其質(zhì)量配比如下 五水硫酸銅20g 四水合酒石酸鉀鈉50g
甲醛5.Og
硫酸鎳0.3g
5-經(jīng)基色氨酸0.004g1- (4-吡啶基)哌嗉0.005g
N-椰子?；劝彼釂吴c鹽0.02g
NaOII3.0g
蒸鎦水加至IL上述化學(xué)鍍銅溶液制備方法與實(shí)施例1相同。實(shí)施例6以制備本發(fā)明化學(xué)鍍銅溶液IL為例，所用原料及其質(zhì)量配比如下
五水硫酸銅5g 四水合酒石酸鉀鈉IOg
甲醛l.Og
硫酸鎳0.005g
5-羥基色氨酸0.002g1- (4-吡啶基)哌嗪0.002gN-椰子?；劝彼釂吴c鹽0.004g
NaOH1.5g
蒸餾水加至IL上述化學(xué)鍍銅溶液制備方法與實(shí)施例1相同。實(shí)施例7以制備本發(fā)明化學(xué)鍍銅溶液IL為例，所用原料及其質(zhì)量配比如下
五水硫酸銅20g 四水合酒石酸鉀鈉50g 甲醛5.0g 硫酸鎳0.3g
5-羥基色氨酸O.Olg1- (4-吡啶基)哌嗪O.Olg
N-椰子?；劝彼釂吴c鹽0.4g
NaOH3.Og
蒸餾水加至IL上述化學(xué)鍍銅溶液制備方法與實(shí)施例1相同。實(shí)施例8以制備本發(fā)明化學(xué)鍍銅溶液IL為例，所用原料及其質(zhì)量配比如下
五水硫酸銅20g 四水合酒石酸鉀鈉50g 甲醛5g 硫酸鎳0.5g 5-羥基色氨酸0.02g1- (4-吡啶基)哌嗉0.02g
N-椰子酰基谷氨酸單鈉鹽0.5g
NaOH5.Og
蒸餾水加至IL上述化學(xué)鍍銅溶液制備方法與實(shí)施例1相同。實(shí)施例9以制備本發(fā)明化學(xué)鍍銅溶液IL為例，所用原料及其質(zhì)量配比如下五水硫酸銅5g 四水合酒石酸鉀鈉IOg 甲醛l.Og 硫酸鎳0.002g 5-羥基色氨酸O.OOlg1- (4-吡啶基)哌嗪O.OOlg
N-椰子?；劝彼釂吴c鹽0.002g
NaOH1.Sg
蒸餾水加至IL 上述化學(xué)鍍銅溶液制備方法與實(shí)施例1相同。實(shí)施例10上述實(shí)施例1 9的化學(xué)鍍銅溶液中，原料中作為加速劑的5-羥基色氨酸用等質(zhì)量的DL-賴氨酸、L-精氨酸、蘋果酸、馬來(lái)酸二酯、硫代蘋果酸、DL-谷氨酸的任意一種替換。其他原料及其質(zhì)量配比與相應(yīng)實(shí)施例相同，制備方法與實(shí)施例1相同，制備成化學(xué)鍍銅溶液。實(shí)施例11上述實(shí)施例1 9的化學(xué)鍍銅溶液中，原料中作為加速劑的5-羥基色氨酸也可以用等質(zhì)量的2，6-二氨基卩比唳、4-二甲氨基卩比唳、3-氨基-4-甲酰胺基卩比唑半硫酸鹽、3-氨基-4-羥基吡啶、2-氨基吡啶-3-羧酰胺中的任意一種替換。其他原料及其質(zhì)量配比與相應(yīng)實(shí)施例相同，制備方法與實(shí)施例1相同，制備成化學(xué)鍍銅溶液。實(shí)施例12上述實(shí)施例1 11的化學(xué)鍍銅溶液中，原料甲醛用等質(zhì)量的乙醛酸替換。其他原料及其質(zhì)量配比與相應(yīng)實(shí)施例相同，制備方法與實(shí)施例1相同，制備成化學(xué)鍍銅溶液。實(shí)施例13上述實(shí)施例1 12的化學(xué)鍍銅溶液中，原料中作為抑制劑的1-(4_吡啶基)哌嗪用等質(zhì)量的8-喹啉磺酰氯、2，2’ - 二硫二吡啶、2，9- 二甲基啉菲羅啉、2，2，-聯(lián)吡啶、1，10-菲P羅啉-5，6- 二酮中的任意一種替換；其他原料及其質(zhì)量配比與相應(yīng)實(shí)施例相同，制備方法與實(shí)施例1相同，制備成化學(xué)鍍銅溶液。實(shí)施例14上述實(shí)施例1 13的化學(xué)鍍銅溶液中，所用N-椰子酰基谷氨酸單鈉鹽用等質(zhì)量的椰油基羥乙基磺酸鈉或壬基酚聚氧乙烯醚硫酸鈉或十二烷基苯磺酸鈉或十二烷基磺酸鈉或磺基琥珀酸蓖麻油酯鈉鹽替換。其他原料及其質(zhì)量配比與相應(yīng)實(shí)施例相同，制備方法與實(shí)施例1相同，制備成化學(xué)鍍銅溶液。實(shí)施例15上述實(shí)施例1 14的化學(xué)鍍銅溶液中，所用硫酸鎳可以用等質(zhì)量的七水硫酸鎳或六水硫酸鎳替換。其他原料及其質(zhì)量配比與相應(yīng)實(shí)施例相同，制備方法與實(shí)施例1相同，制備成化學(xué)鍍銅溶液。為了確定低溫低應(yīng)力化學(xué)鍍銅溶液(以下簡(jiǎn)稱化學(xué)鍍液)中添加劑(即加速劑、抑制劑、鎳離子和陰離子表面活性劑)的最佳配比以及本發(fā)明的有益效果，發(fā)明人進(jìn)行了大量的研究實(shí)驗(yàn)，具體實(shí)驗(yàn)情況如下實(shí)驗(yàn)材料表面光滑的丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物(ABS)工程塑料板，厚度Imm,實(shí)驗(yàn)中所用樣品均裁剪為40mmX25mm的長(zhǎng)方形小片。實(shí)驗(yàn)試劑CATAPREP預(yù)浸劑404 (氯化亞錫固體)與CATAP0SIT催化劑44 (氯化鈀溶液)，由羅門哈斯公司提供。實(shí)驗(yàn)儀器X-射線衍射儀，型號(hào)為D/Max2550VB+/PC，由日本理學(xué)公司生產(chǎn)；環(huán)境掃描電子顯微鏡，型號(hào)為Quanta 200 ；FEI公司生產(chǎn)。 實(shí)驗(yàn)1:加速劑5-羥基色氨酸對(duì)化學(xué)鍍銅沉積速率的影響I)配制前處理溶液用SYT8010型除油濃縮液與蒸餾水按體積比為1:1配制成除油液；氫氧化鈉與N-甲基-2-卩比咯烷酮、乙二醇丁醚、蒸餾水按質(zhì)量比為45 50 9 :396配制成膨潤(rùn)液；二氧化錳50g/L，蒸餾水、濃硫酸按質(zhì)量比為1:2配制成微蝕液；配制質(zhì)量濃度為28g/L的草酸水溶液作為中和液，質(zhì)量濃度為300g/L的CATAPREP預(yù)浸劑404作為預(yù)浸液，CATAPREP預(yù)浸劑404與CATAP0SIT催化劑44、蒸餾水按質(zhì)量比為27 6 67配制成活化液，配制體積分?jǐn)?shù)為100mL/L的鹽酸水溶液作為敏化液。2 )前處理丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物工程塑料板將丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物工程塑料板裁剪成面積為40 X 25mm2、厚度為1.Omm的長(zhǎng)方形板塊，浸入除油液中，650C除油10分鐘，取出，用蒸餾水沖洗干凈，浸入膨潤(rùn)液中，50 70°C攪拌膨潤(rùn)5 15分鐘，取出，用蒸餾水沖洗干凈，浸入微蝕液中，70°C攪拌微蝕20分鐘，取出，用蒸餾水沖洗干凈，浸入中和液中，60°C攪拌中和2 IO分鐘，取出，用蒸餾水沖洗干凈，浸入CATAPREP預(yù)浸劑404水溶液中，25°C攪拌預(yù)浸2分鐘，取出，浸入活化液中，45 °C攪拌活化5分鐘，取出，用蒸餾水沖洗干凈，浸入敏化液中，25 °C敏化I分鐘，取出，用蒸餾水沖洗干凈，用吹風(fēng)機(jī)吹干。3)制備化學(xué)鍍銅溶液取五水合硫酸銅10g、四水合酒石酸鉀鈉30g各6份，分別加入到IOOOmL的高腳燒杯中，加入蒸餾水，攪拌至固體完全溶解，分別加入甲醛1. 5g，然后用移液管分別移取質(zhì)量濃度為O. 4g/L的5-羥基色氨酸溶液0mL、lmL、2mL、3mL、4mL和5mL，分別加入到上述溶液中，加入2. 5g的NaOH調(diào)節(jié)溶液的pH至12. 5，攪拌均勻，用蒸餾水定容至1L，配制成化學(xué)鍍銅溶液。4)化學(xué)鍍銅將所制備的化學(xué)鍍銅溶液用水浴加熱至溫度為33°C，將步驟2)中前處理的丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物ABS工程塑料板分別懸掛在步驟3)制備的化學(xué)鍍銅溶液的正上方，使其完全浸沒在鍍液中，攪拌反應(yīng)60分鐘，取出塑料板，用蒸餾水沖洗，吹干，根據(jù)下述公式計(jì)算沉積速度
W1 -W1v--—
PiS7
式中V為沉積速度,單位為μ m/小時(shí)；w2為化學(xué)鍍后塑料板的質(zhì)量為化學(xué)鍍前基板的質(zhì)量；P為銅的密度；s為ABS板的面積；t為化學(xué)鍍時(shí)間。測(cè)試和計(jì)算結(jié)果見表I 表I加速劑5-羥基色氨酸對(duì)鍍液穩(wěn)定性和化學(xué)鍍銅沉積速率的影響
權(quán)利要求
1.一種低溫低應(yīng)力的化學(xué)鍍銅溶液，其特征在于在IL的化學(xué)鍍銅溶液包含有下述質(zhì)量配比的原料五水硫酸銅5 20g 四水合酒石酸鉀鈉10 50g甲醛或乙醛酸1.0 5.0g硫酸鎳或其結(jié)晶水合物0.002 0.5g加速劑0.001 0.02g抑制劑0.001 0.02g陰離子表面活性劑0.002 0.5gNaOH1.5 5.Og蒸餾水加至IL上述的加速劑為含羧基衍生物或含氨基衍生物；上述的抑制劑為8-喹啉磺酰氯、2，2’ - 二硫二吡啶、2，9- 二甲基啉菲羅啉、1-(4-吡啶基)哌嗪、2，2’ -聯(lián)吡啶和1，10-菲啰啉-5，6- 二酮中的任意一種；上述的陰離子表面活性劑為椰油基羥乙基磺酸鈉、N-椰子?；劝彼釂吴c鹽、壬基酚聚氧乙烯醚硫酸鈉、十二烷基苯磺酸鈉、十二烷基磺酸鈉、磺基琥珀酸蓖麻油酯鈉鹽中的任意一種。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低溫低應(yīng)力的化學(xué)鍍銅溶液，其特征在于在IL的化學(xué)鍍銅溶液包含有下述質(zhì)量配比的原料五水硫酸銅5 20g 四水合酒石酸鉀鈉10 50g甲醛或乙醛酸〗.0 5.0g硫酸鎳或其結(jié)晶水合物0.005 0.3g加速劑0.002 0.01 g抑制劑0.002 O.Olg明離子表面活性劑0.004 0.4gNaOH1_5 5.0g蒸餾水加至IL。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低溫低應(yīng)力的化學(xué)鍍銅溶液，其特征在于在IL的化學(xué)鍍銅溶液包含有下述質(zhì)量配比的原料五水硫酸銅IOg 四水合酒石酸鉀鈉30g 甲醛或乙醛酸1.5g 硫酸鎳或其結(jié)晶水合物0.05g加速劑O 004g 抑制劑0.005g陰離子表面活性劑0.02gNaOH2. Sg蒸餾水加至1L。
4.根據(jù)權(quán)利要求1 3任一項(xiàng)所述的低溫低應(yīng)力的化學(xué)鍍銅溶液，其特征在于所述含羧基衍生物是5-羥基色氨酸、DL-賴氨酸、L-精氨酸、蘋果酸、馬來(lái)酸二酯、硫代蘋果酸、 DL-谷氨酸中的任意一種。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 3任一項(xiàng)所述的低溫低應(yīng)力的化學(xué)鍍銅溶液，其特征在于所述含氨基衍生物是2，6- 二氨基吡啶、4- 二甲氨基吡啶、3-氨基-4-甲酰胺基吡唑半硫酸鹽、3-氨基-4-羥基吡啶、2-氨基吡啶-3-羧酰胺中的任意一種。
6.根據(jù)權(quán)利要求1 3任一項(xiàng)所述的低溫低應(yīng)力的化學(xué)鍍銅溶液，其特征在于所述硫酸鎳結(jié)晶水合物是七水硫酸鎳或六水硫酸鎳。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種低溫低應(yīng)力的化學(xué)鍍銅溶液，主要是在以硫酸銅為主鹽，四水合酒石酸鉀鈉為絡(luò)合劑，甲醛或乙醛酸為還原劑的基礎(chǔ)體系中添加加速劑、抑制劑、鎳離子和陰離子表面活性劑，可實(shí)現(xiàn)在低溫條件下快速沉積形成外觀光亮、應(yīng)力較低、質(zhì)量好、粘結(jié)強(qiáng)度高的化學(xué)銅膜鍍層，且本發(fā)明的化學(xué)鍍銅溶液穩(wěn)定，成本低，適于工業(yè)化應(yīng)用。
文檔編號(hào)C23C18/40GK103014682SQ20121052126
公開日2013年4月3日 申請(qǐng)日期2012年12月5日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月5日
發(fā)明者王增林, 李喜榮, 李麗莎 申請(qǐng)人:陜西師范大學(xué)