一種金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉淀設(shè)備，包括腔體、設(shè)置有噴淋頭的腔蓋、帶動(dòng)所述腔蓋開(kāi)合的位移機(jī)構(gòu)，和驅(qū)動(dòng)所述位移機(jī)構(gòu)工作的電動(dòng)機(jī)系統(tǒng)，所述電動(dòng)機(jī)系統(tǒng)包括電動(dòng)機(jī)和用于驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)工作的電源，其特征在于，還包括連接于所述電動(dòng)機(jī)與電源之間的電源控制模塊，所述電源控制模塊包括限流器，所述限流器用于限制輸出到所述電動(dòng)機(jī)的實(shí)際電流不高于一設(shè)定值。本發(fā)明還提供一種電動(dòng)機(jī)系統(tǒng)。本發(fā)明在電路中增加低成本的調(diào)壓限流電源控制模塊，使得電動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)速可調(diào)并且實(shí)際電流可限制在電動(dòng)機(jī)額定電流的任何范圍內(nèi)，有效限制了電動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)矩，可靠保護(hù)了位移機(jī)構(gòu)并保證噴淋頭不會(huì)損壞。
【專利說(shuō)明】一種金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及外延生長(zhǎng)設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】改進(jìn)，尤其是用于控制電動(dòng)機(jī)升降的電動(dòng)機(jī)系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉淀(以下簡(jiǎn)稱M0CVD)設(shè)備有兩個(gè)用于噴淋頭升降的電動(dòng)機(jī)，都使用恒定電壓作為驅(qū)動(dòng)電源。但是，這種電動(dòng)機(jī)的電源電壓恒定不能調(diào)節(jié)，使得電動(dòng)機(jī)的輸出電流會(huì)隨著負(fù)載變化而變化。例如在電動(dòng)機(jī)開(kāi)始啟動(dòng)時(shí)，啟動(dòng)電流增大，往往達(dá)到額定電流4~7倍，將導(dǎo)致線路電壓下降，影響負(fù)載正常工作。
[0003]為此，如圖1所示，每個(gè)電動(dòng)機(jī)電路中設(shè)置一只可調(diào)整電流大小的限流開(kāi)關(guān)18，當(dāng)電動(dòng)機(jī)12負(fù)載電流大于這個(gè)限流開(kāi)關(guān)的設(shè)置值而且維持一段時(shí)間后，限流開(kāi)關(guān)自動(dòng)斷開(kāi)，這時(shí)電動(dòng)機(jī)12與電源13不連通而失電，達(dá)到對(duì)電動(dòng)機(jī)12過(guò)載保護(hù)的目的。
[0004]但是，回路中限流開(kāi)關(guān)的關(guān)斷與否是由負(fù)載電流的大小和持續(xù)時(shí)間來(lái)決定的，這樣就造成電動(dòng)機(jī)過(guò)載保護(hù)不靈敏而并且不能預(yù)防電動(dòng)機(jī)過(guò)載所帶來(lái)的一系列影響。例如，若電動(dòng)機(jī)過(guò)載持續(xù)時(shí)間過(guò)長(zhǎng)，可能已經(jīng)使得噴淋頭的提升位移機(jī)構(gòu)損傷、甚至噴淋頭的損壞，而噴淋頭損壞是MOCVD設(shè)備的重大損失。另外，現(xiàn)有的電源控制電路也不能調(diào)節(jié)電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)速，不能對(duì)電動(dòng)機(jī)的 輸出轉(zhuǎn)矩進(jìn)行可控調(diào)節(jié)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]為解決現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題，本發(fā)明提供一種用于金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備的電動(dòng)機(jī)系統(tǒng)。
[0006]這種金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉淀設(shè)備，包括腔體、設(shè)置有噴淋頭的腔蓋、帶動(dòng)所述腔蓋開(kāi)合的位移機(jī)構(gòu)，和驅(qū)動(dòng)所述位移機(jī)構(gòu)工作的電動(dòng)機(jī)系統(tǒng)，所述電動(dòng)機(jī)系統(tǒng)包括電動(dòng)機(jī)和用于驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)工作的電源，還包括連接于所述電動(dòng)機(jī)與電源之間的電源控制模塊，所述電源控制模塊包括限流器，所述限流器用于限制輸出到所述電動(dòng)機(jī)的實(shí)際電流不高于一設(shè)定值。這種設(shè)計(jì)使得電動(dòng)機(jī)不會(huì)輸出過(guò)大的扭矩，造成噴淋頭的損傷，同時(shí)電動(dòng)機(jī)系統(tǒng)仍處于工作狀態(tài)，不會(huì)使得電動(dòng)機(jī)控制系統(tǒng)斷電，從而縮短系統(tǒng)重置和恢復(fù)時(shí)間。
[0007]優(yōu)選地，所述電源控制模塊還包括:電壓控制器，所述電壓控制器用于調(diào)節(jié)輸出到所述電動(dòng)機(jī)的實(shí)際電壓。電壓控制器的引入可以通過(guò)調(diào)節(jié)輸出到電動(dòng)機(jī)的電壓，而調(diào)節(jié)電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)速，從而能調(diào)節(jié)腔蓋的開(kāi)合速度，因此可以減少腔蓋的開(kāi)合時(shí)間。
[0008]優(yōu)選地,所述電動(dòng)機(jī)是感應(yīng)電動(dòng)機(jī)。
[0009]優(yōu)選地，所述設(shè)定值不高于所述電動(dòng)機(jī)的額定電流。
[0010]優(yōu)選地，所述位移機(jī)構(gòu)包括絲桿，所述絲桿通過(guò)螺紋配合與所述腔蓋連接；所述電動(dòng)機(jī)系統(tǒng)用于驅(qū)動(dòng)所述絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0011]優(yōu)選地，所述位移機(jī)構(gòu)包括相互平行的兩絲桿，所述兩絲桿同步轉(zhuǎn)動(dòng)以驅(qū)動(dòng)所述腔蓋開(kāi)合。兩平行絲桿使得腔蓋開(kāi)合平穩(wěn)，防止腔蓋傾斜，損傷噴淋頭。[0012]本發(fā) 明還提供這一電動(dòng)機(jī)系統(tǒng),包括電動(dòng)機(jī)和驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)工作的電源，還包括連接于所述電動(dòng)機(jī)與電源之間的電源控制模塊，所述電源控制模塊包括限流器，所述限流器用于限制輸出到所述電動(dòng)機(jī)的實(shí)際電流不高于一設(shè)定值。
[0013]優(yōu)選地，所述電源控制模塊還包括電壓控制器，所述電壓控制器用于調(diào)節(jié)輸出到所述電動(dòng)機(jī)的實(shí)際電壓。
[0014]優(yōu)選地,優(yōu)選地,所述電動(dòng)機(jī)是感應(yīng)電動(dòng)機(jī)。
[0015]優(yōu)選地，所述設(shè)定值不高于所述電動(dòng)機(jī)的額定電流。
[0016]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn):本發(fā)明的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備及其電動(dòng)機(jī)系統(tǒng)，在電路中增加了一個(gè)低成本的調(diào)壓限流電源控制模塊，使得電動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)速可調(diào)并且實(shí)際電流可限制在電動(dòng)機(jī)額定電流的任何范圍內(nèi)，有效限制了電動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)矩，可靠保護(hù)了位移機(jī)構(gòu)并保證噴淋頭不會(huì)損壞。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0017]圖1為現(xiàn)有的電動(dòng)機(jī)系統(tǒng)示意圖。
[0018]圖2為本發(fā)明實(shí)施例金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]圖3為本發(fā)明實(shí)施例的電動(dòng)機(jī)系統(tǒng)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0020]下面，將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明實(shí)施例作詳細(xì)說(shuō)明。
[0021]如圖2所示，本發(fā)明提供一種用于金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備，包括腔體20、設(shè)置有噴淋頭23的腔蓋21、帶動(dòng)所述腔蓋21開(kāi)合的位移機(jī)構(gòu)22，和驅(qū)動(dòng)所述位移機(jī)構(gòu)22的電動(dòng)機(jī)系統(tǒng)10。
[0022]其中，所述位移機(jī)構(gòu)22包括絲桿24，所述絲桿24通過(guò)螺紋配合與所述腔蓋21連接；通過(guò)所述電動(dòng)機(jī)系統(tǒng)10驅(qū)動(dòng)該絲桿24轉(zhuǎn)動(dòng)。進(jìn)一步地，該絲桿24優(yōu)選兩根且相互平行設(shè)置，所述兩絲桿24同步轉(zhuǎn)動(dòng)以驅(qū)動(dòng)所述腔蓋21開(kāi)合。這種結(jié)構(gòu)能使腔蓋21開(kāi)合平穩(wěn)，防止腔蓋21傾斜，損傷噴淋頭23。
[0023]其中，結(jié)合圖3所示，電動(dòng)機(jī)系統(tǒng)10包括電動(dòng)機(jī)12和用于驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)12工作的電源13，還包括連接于所述電動(dòng)機(jī)12與電源13之間的電源控制模塊15，其中，電源13是采用交流電源。
[0024]其中，所述電源控制模塊15包括:
[0025]電壓控制器16，該電壓控制器16連接于所述電源13與所述電動(dòng)機(jī)12之間，用于調(diào)節(jié)輸出到所述電動(dòng)機(jī)12的實(shí)際電壓。這種電壓控制器16例如為晶閘管，這種晶閘管常接入于電源13和電動(dòng)機(jī)12定子之間，通過(guò)改變其導(dǎo)通角可實(shí)現(xiàn)電動(dòng)機(jī)12電壓的平穩(wěn)升降和無(wú)觸點(diǎn)通斷。
[0026]限流器17，該限流器17串聯(lián)于所述電壓控制器16與所述電動(dòng)機(jī)12之間，用于限制輸出到所述電動(dòng)機(jī)12的實(shí)際電流不超過(guò)一設(shè)定值，該設(shè)定值通常根據(jù)所述金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備的設(shè)置要求而設(shè)定。該設(shè)定值通常不高于額定電流。限流器17例如是電流控制環(huán)，通過(guò)將設(shè)定值與跟蹤檢索所得的電動(dòng)機(jī)12實(shí)際電流變化狀況作對(duì)比，控制電動(dòng)機(jī)12的實(shí)際工作狀態(tài)。[0027]本發(fā)明對(duì)電動(dòng)機(jī)系統(tǒng)10的改進(jìn)，尤其適用于感應(yīng)電動(dòng)機(jī)。即，由定子繞組形成的旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)與轉(zhuǎn)子繞組中感應(yīng)電流的磁場(chǎng)相互作用而產(chǎn)生電磁轉(zhuǎn)矩驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)的交流電動(dòng)機(jī)。
[0028]下面說(shuō)明本發(fā)明電動(dòng)機(jī)系統(tǒng)10的工作流程:
[0029]在每個(gè)電動(dòng)機(jī)系統(tǒng)10中如上述結(jié)構(gòu)安裝可以調(diào)壓限流的電源控制模塊15，閉合電路使交流電源13連通。電源控制模塊15中引入了限流器17，限定輸出到電動(dòng)機(jī)12的實(shí)際電流。例如，通過(guò)電流控制環(huán)隨時(shí)跟蹤和監(jiān)測(cè)電動(dòng)機(jī)12電流的變化狀況，通過(guò)預(yù)先設(shè)置的設(shè)定值，限定輸出到電動(dòng)機(jī)12實(shí)際電流不高于額定電流，保證電動(dòng)機(jī)12的輸出轉(zhuǎn)矩可控。其中，所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員可以根據(jù)電動(dòng)機(jī)12的額定電流、運(yùn)作參數(shù)、工作環(huán)境等綜合確定設(shè)定值，一般不高于額定電流。當(dāng)實(shí)際電流超過(guò)設(shè)定值，電流控制環(huán)通過(guò)自身電路結(jié)構(gòu)將超額電流分流，保證輸出到電動(dòng)機(jī)12的實(shí)際電流仍然小于或等于額定電流。限流器17的引入,對(duì)電動(dòng)機(jī)12的過(guò)載工作反應(yīng)靈敏,能預(yù)防電動(dòng)機(jī)12過(guò)載可能對(duì)升降位移機(jī)構(gòu)22或噴淋頭23所造成的損害。例如，由于位移機(jī)構(gòu)22卡死，不能轉(zhuǎn)動(dòng)，會(huì)造成電動(dòng)機(jī)12電流大大增加，限流器17便可以通過(guò)分流的方式將超額電流分到其他支路中，仍然維持輸出到電動(dòng)機(jī)上的實(shí)際電流小于或等于電動(dòng)機(jī)的額定電流，保證了電動(dòng)機(jī)不被燒壞，同時(shí)電動(dòng)機(jī)12輸出的扭矩也被限制在小于一與設(shè)定電流相關(guān)的設(shè)定值，使得所述電動(dòng)機(jī)12不會(huì)輸出過(guò)大的扭矩，造成所述位移機(jī)構(gòu)22損壞。
[0030]另一方面，電壓控制器16中的晶閘管輸出電壓逐漸增加，電動(dòng)機(jī)12逐漸加速，直到晶閘管全導(dǎo)通，使電動(dòng)機(jī)12達(dá)到額定電壓。電壓控制器16通過(guò)調(diào)節(jié)輸出到電動(dòng)機(jī)12的實(shí)際電壓，不僅可以調(diào)節(jié)電動(dòng)機(jī)12的轉(zhuǎn)速，還使得電動(dòng)機(jī)12在開(kāi)始啟動(dòng)時(shí)不會(huì)直接達(dá)到額定電壓，啟動(dòng)電流不至 于過(guò)大，而影響負(fù)載正常工作。另外，可以通過(guò)電壓控制器16調(diào)節(jié)輸入到所述電動(dòng)機(jī)12的實(shí)際電壓從而調(diào)節(jié)所述電動(dòng)機(jī)12的輸出轉(zhuǎn)速。
[0031 ] 本發(fā)明的電源控制模塊成本低廉，通過(guò)調(diào)壓限流使得電動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)速可調(diào)并且實(shí)際電流可限制在電動(dòng)機(jī)額定電流的任何范圍內(nèi)，有效限制了電動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)矩，可靠保護(hù)了提升位移機(jī)構(gòu)并保證噴淋頭不會(huì)損壞。
【權(quán)利要求】
1.一種金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉淀設(shè)備，包括腔體、設(shè)置有噴淋頭的腔蓋、帶動(dòng)所述腔蓋開(kāi)合的位移機(jī)構(gòu)，和驅(qū)動(dòng)所述位移機(jī)構(gòu)工作的電動(dòng)機(jī)系統(tǒng)，所述電動(dòng)機(jī)系統(tǒng)包括電動(dòng)機(jī)和用于驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)工作的電源，其特征在于，還包括連接于所述電動(dòng)機(jī)與電源之間的電源控制模塊，所述電源控制模塊包括限流器，所述限流器用于限制輸出到所述電動(dòng)機(jī)的實(shí)際電流不高于一設(shè)定值。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉淀設(shè)備，其特征在于，所述電源控制模塊還包括電壓控制器，所述電壓控制器用于調(diào)節(jié)輸出到所述電動(dòng)機(jī)的實(shí)際電壓。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉淀設(shè)備，其特征在于，所述電動(dòng)機(jī)是感應(yīng)電動(dòng)機(jī)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉淀設(shè)備，其特征在于，所述設(shè)定值不高于所述電動(dòng)機(jī)的額定電流。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉淀設(shè)備，其特征在于，所述位移機(jī)構(gòu)包括絲桿，所述絲桿通過(guò)螺紋配合與所述腔蓋連接；所述電動(dòng)機(jī)系統(tǒng)用于驅(qū)動(dòng)所述絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉淀設(shè)備，其特征在于，所述位移機(jī)構(gòu)包括相互平行兩絲桿，所述兩絲桿同步轉(zhuǎn)動(dòng)以驅(qū)動(dòng)所述腔蓋開(kāi)合。
7.一種電動(dòng)機(jī)系統(tǒng)，包括電動(dòng)機(jī)和驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)工作的電源，其特征在于:還包括連接于所述電動(dòng)機(jī)與電源之間的電源控制模塊，所述電源控制模塊包括限流器，所述限流器用于限制輸出到所述電動(dòng)機(jī)的實(shí)際電流不高于一設(shè)定值。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述電動(dòng)機(jī)系統(tǒng)，其特征在于，所述電源控制模塊還包括電壓控制器，所述電壓控制器用于調(diào)節(jié)輸出到所述電動(dòng)機(jī)的實(shí)際電壓。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述電動(dòng)機(jī)系統(tǒng)，其特征在于，所述電動(dòng)機(jī)是感應(yīng)電動(dòng)機(jī)。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述 電動(dòng)機(jī)系統(tǒng)，其特征在于，所述設(shè)定值不高于所述電動(dòng)機(jī)的額定電流。
【文檔編號(hào)】C23C16/44GK103911598SQ201210591384
【公開(kāi)日】2014年7月9日 申請(qǐng)日期:2012年12月31日 優(yōu)先權(quán)日:2012年12月31日
【發(fā)明者】張義明, 陳力兵, 祝龍飛, 房偉 申請(qǐng)人:光達(dá)光電設(shè)備科技（嘉興）有限公司