專利名稱：改進的鍍膜設備真空抽氣系統(tǒng)的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種鍍膜設備的真空抽氣系統(tǒng)。
背景技術：
現(xiàn)有鍍膜設備如成都真空PM1650-II型鍍膜設備的真空抽氣系統(tǒng)由機械泵、羅茨泵、增壓泵、擴散泵、保持泵和真空管道閥門等所組成，在每次抽真空過程中各泵組會按先后順序，從機械泵一羅茨泵一增壓泵一擴散泵依次逐級啟動。當抽真空初始，腔體內有大量的空氣，需要機械泵將大部分空氣抽走之后羅茨泵才能全速啟動，否則羅茨泵如果過早全速啟動會因為空氣太多而導致超負荷損壞，所以在機械泵開始抽氣到羅茨泵能正常開啟，這中間有1-2分鐘的時間羅茨泵是處于停止等待的狀態(tài)，這就浪費了時間，影響生產效 率。
發(fā)明內容本實用新型的目的是提供一種改進的鍍膜設備真空抽氣系統(tǒng)，它使羅茨泵從抽氣一開始便可以和其它機械泵一起參與運轉，加快了整個抽氣的過程。本實用新型解決上述問題所采用的技術方案是一種改進的鍍膜設備真空抽氣系統(tǒng)，包括按順序依次啟動的機械泵、羅茨泵、增壓泵、擴散泵、保持泵，羅茨泵的啟動系統(tǒng)裝有可控制轉速實現(xiàn)無級變速的變頻器。由于變頻器可根據(jù)電機的實際負荷量來控制羅茨泵的轉速實現(xiàn)無級變速，羅茨泵從抽氣一開始便可以和其它機械泵一起參與運轉，逐漸加速至額定轉速，加快了整個抽氣的過程，大大提高了生產效率。
以下結合附圖
和實施例對本實用新型進一步說明。圖I :現(xiàn)有技術工作流程圖圖2 :本實用新型工作流程圖
具體實施方式
本實用新型實施例是對成都真空機械廠生產的PM1650-II型鍍膜設備真空抽氣系統(tǒng)的改進。如圖I所示，PM1650-II型的真空抽氣系統(tǒng)包括機械泵、羅茨泵、增壓泵、擴散泵、保持泵，各種泵按順序依次逐級啟動，只有當機械泵將大部分空氣抽走之后羅茨泵才能全速啟動。如圖2所示，本實施例通過對羅茨泵進行改進，即其啟動系統(tǒng)安裝變頻器，變頻器根據(jù)電機的實際負荷量來控制羅茨泵的轉速實現(xiàn)無級變速，羅茨泵從抽氣一開始便可以和其它機械泵一起參與運轉，逐漸加速至額定轉速，加快了整個抽氣的過程，經測試，平均每生產一卷薄膜可縮短抽氣時間2分鐘，大大提高了生產效率。
權利要求1.ー種改進的鍍膜設備真空抽氣系統(tǒng)，包括按順序依次啟動的機械泵、羅茨泵、增壓泵、擴散泵、保持泵，其特征在于羅茨泵的啟動系統(tǒng)裝有可控制轉速實現(xiàn)無級變速的變頻器。
專利摘要本實用新型公開了一種改進的鍍膜設備真空抽氣系統(tǒng)，包括按順序依次啟動的機械泵、羅茨泵、增壓泵、擴散泵、保持泵，羅茨泵的啟動系統(tǒng)裝有可控制轉速實現(xiàn)無級變速的變頻器。由于變頻器可根據(jù)電機的實際負荷量來控制羅茨泵的轉速實現(xiàn)無級變速，羅茨泵從抽氣一開始便可以和其它機械泵一起參與運轉，逐漸加速至額定轉速，加快了整個抽氣的過程，提高了生產效率。
文檔編號C23C14/56GK202450153SQ20122001887
公開日2012年9月26日 申請日期2012年1月13日 優(yōu)先權日2012年1月13日
發(fā)明者吳明忠 申請人:海寧長宇鍍鋁材料有限公司