專利名稱：一種三料柱氣相沉積爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及高溫爐技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種三料柱氣相沉積爐。
背景技術(shù)：
化學(xué)氣相沉積(CVI)是制造炭/炭復(fù)合材料的傳統(tǒng)工藝方法，它是將烴類氣體通入加熱爐內(nèi)，在1000°c左右條件下，熱解炭在炭纖維表面不斷生長，最終使纖維編織體致密化形成炭纖維增強(qiáng)熱解炭基體復(fù)合材料。目前，制備炭/炭復(fù)合材料的常用設(shè)備為真空氣相沉積爐，這種爐型通常使用炭氈做成筒型用于保溫隔熱，但由于炭氈是軟質(zhì)材料，不易制成要求的形狀，而且有污染，易癱軟，這就帶來了許多問題，如果一旦產(chǎn)生癱軟倒塌現(xiàn)象，便可能使軟炭氈與發(fā)熱體、三料柱之間的保溫材料相互碰撞，以至發(fā)生短路甚至破壞加熱電源，嚴(yán)重的可能造成災(zāi)難性的后果。另外這種保溫炭氈的使用壽命較短，連續(xù)使用3個(gè)月后，容易沉炭變硬，使保溫效果降低，能耗增大，而且更換成本較高；并且還容易發(fā)生高溫脆化、掉沫而導(dǎo)致污染料柱及環(huán)境。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種保溫效果好、使用壽命長、操作簡便的一種三料柱氣相沉積爐，以降低能耗、節(jié)約成本、提高產(chǎn)品質(zhì)量。本實(shí)用新型解決上述技術(shù)問題的技術(shù)方案如下一種三料柱氣相沉積爐，包括圓筒形爐體，在所述爐體中，分別設(shè)有三個(gè)工作室，其特點(diǎn)在于，所述每個(gè)工作室包括從里到外依次設(shè)置的圓筒形沉積室、發(fā)熱體及保溫筒，所述保溫筒是泡沫炭材質(zhì)。所述三個(gè)工作室呈等邊三角形設(shè)置。即所述三個(gè)工作室中心位置的連線構(gòu)成一個(gè)等邊三角形。所述工作室的沉積室與發(fā)熱體及發(fā)熱體與保溫筒之間分別留有10—30毫米的間隙。所述保溫筒的壁厚是50— 90毫米。本實(shí)用新型的有益效果是由于在發(fā)熱體外側(cè)采用了泡沫炭保溫層，與現(xiàn)有技術(shù)相比，提高了氣相沉積爐的保溫效果，降低了能耗和成本，并且避免了對料柱的污染。其原因在于，泡沫炭是一種硬質(zhì)多孔的炭材料，其密度低、多孔、質(zhì)輕而硬，可以用于高達(dá) 1000j800°C的高溫爐保溫，并且由于泡沫炭是由炭基質(zhì)組成的，在1000-3000°C高溫下使用無污染，易于安裝，保溫性能好，無揮發(fā)成份。因此使得本實(shí)用新型具有很好的保溫性能和長久的使用壽命，并且該保溫材料還便于加工和安裝。

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。在圖1中，1、工作室；2、料柱；3、沉積室；4、發(fā)熱體；5、保溫筒；6、爐體。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的原理和特征進(jìn)行描述，所舉實(shí)例只用于解釋本實(shí)用新型，并非用于限定本實(shí)用新型的范圍。如圖1所示，一種三料柱氣相沉積爐，包括圓筒形爐體6，在所述爐體6中，分別設(shè)有三個(gè)工作室1，所述每個(gè)工作室1包括從里到外依次設(shè)置的圓筒形沉積室3、發(fā)熱體4及保溫筒5，所述保溫筒5是泡沫炭材質(zhì)。本實(shí)用新型工作時(shí)，料柱2置于沉積室3中，所述料柱即為待加工的工件。其中每個(gè)工作室可以獨(dú)立控制工作。所述三個(gè)工作室1呈等邊三角形設(shè)置。所述工作室1的沉積室3與發(fā)熱體4及發(fā)熱體4與保溫筒5之間分別留有10— 30毫米的間隙。所述保溫筒5的壁厚是50— 90毫米。本實(shí)用新型的保溫筒5，其泡沫炭材料是以樹脂為粘結(jié)劑，加入多種殘?zhí)柯矢叩脑牧希?jīng)過混碾、裝模成型、炭化處理、機(jī)械加工、組裝及表面增強(qiáng)等工序，再進(jìn)行使用前的最后熱處理，即能夠適應(yīng)工作溫度要求以上的最后處理，如保溫層工作溫度為1000°C，最適宜的最后處理溫度應(yīng)該為1200°C以上。以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種三料柱氣相沉積爐，包括圓筒形爐體，在所述爐體中，分別設(shè)有三個(gè)工作室，其特征在于，所述每個(gè)工作室包括從里到外依次設(shè)置的圓筒形沉積室、發(fā)熱體及保溫筒，所述保溫筒是泡沫炭材質(zhì)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三料柱氣相沉積爐，其特征在于，所述三個(gè)工作室呈等邊三角形設(shè)置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的三料柱氣相沉積爐，其特征在于，所述工作室的沉積室與發(fā)熱體及發(fā)熱體與保溫筒之間分別留有10—30毫米的間隙。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的三料柱氣相沉積爐，其特征在于，所述保溫筒的壁厚是50— 90毫米。
專利摘要本實(shí)用新型涉及高溫爐技術(shù)領(lǐng)域，具體公開了一種三料柱氣相沉積爐，其包括圓筒形爐體，在所述爐體中，分別設(shè)有三個(gè)工作室，所述每個(gè)工作室包括從里到外依次設(shè)置的圓筒形沉積室、發(fā)熱體及保溫筒，所述保溫筒是泡沫炭材質(zhì)。所述三個(gè)工作室的中心位置相互之間呈等邊三角形設(shè)置，所述工作室的沉積室與發(fā)熱體及發(fā)熱體與保溫筒之間分別留一定的間隙。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提高了氣相沉積爐的保溫效果，降低了能耗和成本，并且避免了對料柱的污染。
文檔編號C23C16/44GK202323015SQ20122007558
公開日2012年7月11日 申請日期2012年3月2日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月2日
發(fā)明者劉廣達(dá), 葉會禮, 王樹山, 趙啟民, 隋英華 申請人:煙臺魯航炭材料科技有限公司