專利名稱：氣體輸送系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo) 體制造裝置，尤其是用于輸送反應(yīng)物氣體到處理腔室的系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造工藝中，多個場合需要使用反應(yīng)物氣體。例如在化學(xué)氣相沉積(CVD)中，不同反應(yīng)物的反應(yīng)物氣體同時被輸送給反應(yīng)腔內(nèi)的一個或多個襯底，并且在預(yù)設(shè)的溫度和壓力下彼此反應(yīng)以在襯底上生長薄膜。又如在原子層沉積(ALD)中，交替并重復(fù)地向反應(yīng)腔內(nèi)的襯底輸送不同的反應(yīng)物氣體形成分子單層薄膜，以與前一種反應(yīng)物形成的分子單層進(jìn)行反應(yīng)，直至達(dá)到目標(biāo)厚度?；蛘咴诘入x子體干法蝕刻工藝中，蝕刻氣體與惰性氣體同時被輸送至反應(yīng)腔，在電場的作用下，蝕刻氣體轟擊襯底，以物理和/或化學(xué)作用削減襯底的厚度。參見圖I所示的現(xiàn)有的氣體輸送系統(tǒng)與反應(yīng)腔連接的示意圖，反應(yīng)氣體或者惰性氣體首先通過過濾器，再通過流量調(diào)節(jié)閥門后進(jìn)入反應(yīng)腔。然而，在某些工藝中，前級管道(foreline)中的氣體會出現(xiàn)返流的情況，返流氣體進(jìn)入過濾器之后，可能會導(dǎo)致過濾器的污染，導(dǎo)致其過濾效果下降，一方面縮短過濾器的使用壽命、使得生產(chǎn)成本上升；另一方面導(dǎo)致進(jìn)入反應(yīng)腔的反應(yīng)氣體帶有雜質(zhì)，影響局部放電性能以及成品率，嚴(yán)重時可能會導(dǎo)致襯底的報廢。

實用新型內(nèi)容本實用新型針對現(xiàn)有技術(shù)中前級管道氣體返流造成雜質(zhì)污染的問題，對氣體輸送系統(tǒng)進(jìn)行改進(jìn)。本實用新型所采用的技術(shù)方案是一種氣體輸送系統(tǒng)，包括連接至氣源的氣體入口、連接至反應(yīng)腔的氣體出口；連接于氣體入口與氣體出口之間的過濾器；連接于過濾器與氣體出口之間的流量控制閥；連接于過濾器與流量控制閥之間的止回閥。通過以上技術(shù)方案的實施，本實用新型所達(dá)到的優(yōu)點(diǎn)是止回閥能夠阻擋返流氣體，使得返流氣體不會對過濾器造成影響，能夠保證過濾器的性能不受影響，一方面降低由于更換過濾器帶來的成本增加，另一方面確保后續(xù)生產(chǎn)中氣體的純凈,使得其局部放電性能不受影響，保證生產(chǎn)的成品率。

通過附圖中所示的本實用新型的優(yōu)選實施例的更具體說明，本實用新型的上述及其它目的、特征和優(yōu)勢將更加清晰。在全部附圖中相同的附圖標(biāo)記指示相同的部分。并未刻意按實際尺寸等比例縮放繪制附圖，重點(diǎn)在于示出本實用新型的主旨。圖I為現(xiàn)有的氣體輸送系統(tǒng)與反應(yīng)腔連接的示意圖；圖2為本實用新型提出的氣體輸送系統(tǒng)與反應(yīng)腔連接的示意圖。
具體實施方式

以下結(jié)合附圖對本實用新型的實施例作詳細(xì)說明本實施例在以本實用新型技術(shù)方案為前提下進(jìn)行實施，給出了詳細(xì)的實施方式，但本實用新型的保護(hù)范圍不限于下述的實施例。參見圖2所示的本申請?zhí)岢龅臍怏w輸送系統(tǒng)，它包括連接至氣源的氣體入口 I、連接至反應(yīng)腔3的氣體出口 2 ;連接于氣體入口 I與氣體出口 2之間的過濾器4，用于過濾氣體中的雜質(zhì)；連接于過濾器4與氣體出口 2之間的流量控制閥5，該流量控制閥5可以僅為開關(guān)閥，用于打開和切斷氣流，也可以為能夠調(diào)整流量，用于調(diào)整進(jìn)入反應(yīng)腔的氣體的流量；連接于過濾器4與流量控制閥5之間的止回閥(單向閥)6。為了實現(xiàn)反應(yīng)，所述反應(yīng)腔3上通常連接有多條上述氣體輸送系統(tǒng)，多條氣體輸送系統(tǒng)連接至各種不同的氣源，氣源為各種不同的反應(yīng)氣體或者惰性氣體，本實施例僅以兩條氣體輸送系統(tǒng)為例，但并不構(gòu)成對實施方式的限制?！0013]本氣體輸送裝置，由于具有了止回閥6，即使出現(xiàn)氣體返流的情況，返流氣體因為受到止回閥6的阻擋，并不會進(jìn)入過濾器4，不會對過濾器4造成影響，能夠保證過濾器4的性能不受影響，一方面降低由于更換過濾器4帶來的成本增加，另一方面確保后續(xù)生產(chǎn)中氣體的純凈，使得其局部放電性能不受影響，保證生產(chǎn)的成品率。本實用新型雖然以較佳實施例公開如上，但其并不是用來限定權(quán)利要求，任何本領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本實用新型的精神和范圍內(nèi)，都可以做出可能的變動和修改，因此本實用新型的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以本實用新型權(quán)利要求所界定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種氣體輸送系統(tǒng)，包括連接至氣源的氣體入口、連接至反應(yīng)腔的氣體出口 ；連接于氣體入口與氣體出口之間的過濾器；連接于過濾器與氣體出口之間的流量控制閥；其特征在于，該氣體輸送系統(tǒng)還包括連接于過濾器與流量控制閥之間的止回閥。
2.如權(quán)利要求I所述的氣體輸送系統(tǒng)，其特征在于所述反應(yīng)腔上連接有多條氣體輸送系統(tǒng)，多條氣體輸送系統(tǒng)分別連接至不同氣源。
3.如權(quán)利要求2所述的氣體輸送系統(tǒng)，其特征在于所述氣源為反應(yīng)物氣體或者惰性氣體。
專利摘要本實用新型涉及半導(dǎo)體制造裝置，尤其是一種氣體輸送系統(tǒng)，它包括連接至氣源的氣體入口、連接至反應(yīng)腔的氣體出口；連接于氣體入口與氣體出口之間的過濾器；連接于過濾器與氣體出口之間的流量控制閥；連接于過濾器與流量控制閥之間的止回閥。本實用新型的優(yōu)點(diǎn)是止回閥能夠阻擋返流氣體，使得返流氣體不會對過濾器造成影響，能夠保證過濾器的性能不受影響，一方面降低由于更換過濾器帶來的成本增加，另一方面確保后續(xù)生產(chǎn)中氣體的純凈，使得其局部放電性能不受影響，保證生產(chǎn)的成品率。
文檔編號C23C16/455GK202758844SQ20122043491
公開日2013年2月27日 申請日期2012年8月29日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月29日
發(fā)明者鄭修鋒, 解毅, 朱義黨, 胡可綠, 王華鈞, 忻圣波 申請人:上海宏力半導(dǎo)體制造有限公司