專利名稱：一種手動加載晶圓載臺的結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備，具體地說是一種手動加載晶圓載臺的結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
薄膜沉積技術(shù)的原理是將晶圓置于真空環(huán)境中，通入適量的反應(yīng)氣體，利用氣體的物理變化和化學(xué)反應(yīng)，在晶圓表面形成固態(tài)薄膜。目前，晶圓批量生產(chǎn)采用的晶圓載臺是在晶圓載臺上加工出至少一個與晶圓直徑匹配的放置凹槽，將晶圓分別放在凹槽內(nèi)，沉積工藝完成后，待晶圓冷卻，使用鑷子夾取晶圓?，F(xiàn)有的晶圓載臺，取放不方便，而且晶圓需要冷卻后才能用鑷子夾取，冷卻時間長。
實用新型內(nèi)容針對手動加載晶圓的沉積設(shè)備，為了減少晶圓載臺冷卻的等待時間，本實用新型提供一種手動加載晶圓載臺的結(jié)構(gòu)。該手動加載晶圓載臺的結(jié)構(gòu)可以實現(xiàn)在晶圓載臺未完全冷卻的狀態(tài)下，進(jìn)行取出載臺和放入載臺的操作，提高設(shè)備的使用效率。本實用新型的目的是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的本實用新型包括夾子及晶圓載臺，其中晶圓載臺的外表面沿周向均布有多個夾取槽，所述夾子包括提手、連桿、固定板及夾爪，連桿的一端設(shè)有提手，另一端與固定板連接，所述固定板上安裝有多個夾爪，該夾爪的一端與固定板相連，另一端向夾子的中心軸線方向彎折、形成爪前端，該爪前端插入所述夾取槽內(nèi)，通過夾子取放晶圓載臺。其中所述爪前端端部的夾取處為圓滑過渡，夾爪的彎折處距夾子中心軸線之間的距離大于所述晶圓載臺的半徑，爪前端端部距夾子中心軸線之間的距離小于所述晶圓載臺的半徑；所述夾爪為“L”形，“L”形的一邊端部固接在固定板上，另一邊的端部即為向夾子的中心軸線方向彎折、形成爪前端，所述爪前端與“L”形的一邊相平行；所述連桿安裝在固定板的中間，固定板由其中間沿徑向向外延伸，固定板延伸部的數(shù)量與夾爪的數(shù)量相等，每個延伸部的端部均固接一個夾爪；兩相鄰?qiáng)A爪之間的夾角相等；所述夾取槽包括在晶圓載臺上表面邊緣開設(shè)的第一缺口、以及在晶圓載臺外表面沿徑向向內(nèi)開設(shè)的第二缺口，所述第二缺口位于第一缺口的下方、并與第一缺口連通，第二缺口的一側(cè)表面與第一缺口的同側(cè)表面共面；所述第一缺口為半圓形或矩形，其大小大于爪前端；所述第二缺口為矩形，其寬度大于所述爪前端寬度的二倍，第二缺口的高度和向內(nèi)的深度可容置下爪前端；所述第二缺口的上表面設(shè)有凹槽，該凹槽的寬度可容置下所述爪前端。本實用新型的優(yōu)點(diǎn)與積極效果為I.本實用新型可以實現(xiàn)在晶圓載臺未完全冷卻的狀態(tài)下，從沉積工藝腔室內(nèi)取出和放入晶圓載臺，減少冷卻的等待時間，增加沉積設(shè)備的使用率，并便于拾取晶圓。2.本實用新型晶圓載臺上開設(shè)的夾取槽分為上下兩個缺口，位于上方的缺口可以使夾爪準(zhǔn)確地落下，位于下方缺口的上表面還設(shè)置了凹槽，夾爪的爪前端在夾取晶圓載臺時卡入凹槽內(nèi)，防止夾取時掉出，避免晶圓載臺及晶圓脫落。3.本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，安裝維護(hù)方便，成本低廉。

圖I為本實用新型夾子的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖I中I處的局部放大圖；圖3為本實用新型晶圓載臺的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為圖3中II處的局部放大圖；圖5為本實用新型夾子取放晶圓載臺的使用示意圖；圖6為圖5中III處的局部放大圖；圖7為工藝腔室內(nèi)部剖面圖。其中1為夾子，11為提手，12為連桿，13為固定板,14為夾爪,141為爪前端,2為夾取槽，21為第一缺口，22為第二缺口，221為凹槽，3為晶圓載臺，4為工藝腔室。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型作進(jìn)一步詳述。如圖I 6所示，本實用新型包括夾子I及晶圓載臺3，其中夾子I包括提手11、連桿12、固定板13及夾爪14，連桿12的一端設(shè)有提手11，另一端固接在固定板13的中間；在固定板13上固接有多個夾爪14，兩相鄰?qiáng)A爪14之間的夾角相等；固定板13由其中間沿徑向向外延伸，固定板13延伸部的數(shù)量與夾爪14的數(shù)量相等，每個延伸部的端部均固接一個夾爪14 ;本實施例的夾爪14為三個，固定板13的延伸部也為三個，三個夾爪14相互間成120°夾角。夾爪14為“L”形，“L”形的一邊端部固接在固定板13的延伸部上，另一邊的端部向夾子I的中心軸線(即連桿12的中心軸線)方向彎折、形成爪前端141，所述爪前端141與“L”形的一邊相平行。爪前端141端部的夾取處為圓滑過渡，夾爪14的彎折處距夾子I中心軸線之間的距離大于晶圓載臺3的半徑，爪前端141端部距夾子I中心軸線之間的距離小于晶圓載臺3的半徑。在晶圓載臺3的外表面沿周向均布有一組或多組夾取槽2，每組夾取槽2的數(shù)量與夾爪14的數(shù)量相同；夾取槽2可以有預(yù)留，防止磨損。夾取槽2包括在晶圓載臺3上表面邊緣開設(shè)的第一缺口 21、以及在晶圓載臺3外表面沿徑向向內(nèi)開設(shè)的第二缺口 22，第一缺口 21為半圓形或矩形，其大小要大于爪前端141，即保證第一缺口 21可以放入夾爪14的爪前端141。第二缺口 22位于第一缺口 21的下方、并與第一缺口 21連通，第二缺口 22的一側(cè)表面與第一缺口 21的同側(cè)表面共面；第二缺口 22為矩形，其寬度大于爪前端141寬度的二倍，第二缺口 22的高度和向內(nèi)的深度可容置下爪前端141，即第二缺口 22的高度大于爪前端141的厚度，第二缺口 22向內(nèi)的深度大于爪前端141的長度。第二缺口 22的上表面設(shè)有凹槽221，該凹槽221的寬度可容置下所述爪前端141。如圖7所示，使用時，手持夾子I的提手11，將夾子I的三個夾爪14對準(zhǔn)晶圓載臺3上表面的三個第一缺口 21，豎直向下放入夾子1，確認(rèn)三個夾爪14由第一缺口 21都放入到相應(yīng)的第二缺口 22后，旋轉(zhuǎn)夾子I到最大角度，向上提起，夾子I的三個夾爪14都將卡入第二缺口 22上表面開設(shè)的凹槽221內(nèi)，此時即可安全的提起晶圓載臺3，將載臺3從工藝腔室4內(nèi)取出或放入。·
權(quán)利要求1.一種手動加載晶圓載臺的結(jié)構(gòu)，其特征在于包括夾子(I)及晶圓載臺(3)，其中晶圓載臺(3)的外表面沿周向均布有多個夾取槽(2)，所述夾子(I)包括提手(11)、連桿(12)、固定板(13)及夾爪(14)，連桿(12)的一端設(shè)有提手(11)，另一端與固定板(13)連接，所述固定板(13)上安裝有多個夾爪(14)，該夾爪(14)的一端與固定板(13)相連，另一端向夾子(I)的中心軸線方向彎折、形成爪前端(141)，該爪前端(141)插入所述夾取槽(2)內(nèi)，通過夾子(I)取放晶圓載臺(3)。
2.按權(quán)利要求I所述手動加載晶圓載臺的結(jié)構(gòu)，其特征在于所述爪前端(141)端部的夾取處為圓滑過渡，夾爪(14)的彎折處距夾子(I)中心軸線之間的距離大于所述晶圓載臺(3)的半徑，爪前端(141)端部距夾子(I)中心軸線之間的距離小于所述晶圓載臺(3)的半徑。
3.按權(quán)利要求I所述手動加載晶圓載臺的結(jié)構(gòu)，其特征在于所述夾爪(14)為“L”形，“L”形的一邊端部固接在固定板(13)上，另一邊的端部即為向夾子(I)的中心軸線方向彎折、形成爪前端(141 )，所述爪前端(141)與“L”形的一邊相平行。
4.按權(quán)利要求I所述手動加載晶圓載臺的結(jié)構(gòu)，其特征在于所述連桿(12)安裝在固定板(13)的中間，固定板(13)由其中間沿徑向向外延伸，固定板(13)延伸部的數(shù)量與夾爪(14)的數(shù)量相等，每個延伸部的端部均固接一個夾爪(14)。
5.按權(quán)利要求4所述手動加載晶圓載臺的結(jié)構(gòu)，其特征在于兩相鄰?qiáng)A爪(14)之間的夾角相等。
6.按權(quán)利要求I所述手動加載晶圓載臺的結(jié)構(gòu)，其特征在于所述夾取槽(2)包括在晶圓載臺(3)上表面邊緣開設(shè)的第一缺口(21)、以及在晶圓載臺(3)外表面沿徑向向內(nèi)開設(shè)的第二缺口(22)，所述第二缺口(22)位于第一缺口(21)的下方、并與第一缺口(21)連通，第二缺口(22)的一側(cè)表面與第一缺口(21)的同側(cè)表面共面。
7.按權(quán)利要求6所述手動加載晶圓載臺的結(jié)構(gòu)，其特征在于所述第一缺口(21)為半圓形或矩形，其大小大于爪前端(141 )。
8.按權(quán)利要求6所述手動加載晶圓載臺的結(jié)構(gòu)，其特征在于所述第二缺口(22)為矩形，其寬度大于所述爪前端(141)寬度的二倍，第二缺口(22)的高度和向內(nèi)的深度可容置下爪前端(141)。
9.按權(quán)利要求6或8所述手動加載晶圓載臺的結(jié)構(gòu)，其特征在于所述第二缺口(22)的上表面設(shè)有凹槽(221)，該凹槽(221)的寬度可容置下所述爪前端(141)。
專利摘要本實用新型涉及半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備，具體地說是一種手動加載晶圓載臺的結(jié)構(gòu)，包括夾子及晶圓載臺，其中晶圓載臺的外表面沿周向均布有多個夾取槽，所述夾子包括提手、連桿、固定板及夾爪，連桿的一端設(shè)有提手，另一端與固定板連接，所述固定板上安裝有多個夾爪，該夾爪的一端與固定板相連，另一端向夾子的中心軸線方向彎折、形成爪前端，該爪前端插入所述夾取槽內(nèi)，通過夾子取放晶圓載臺。本實用新型可以實現(xiàn)在晶圓載臺未完全冷卻的狀態(tài)下，從沉積工藝腔室內(nèi)取出和放入晶圓載臺，減少冷卻的等待時間，增加沉積設(shè)備的使用率，并便于拾取晶圓。
文檔編號C23C16/458GK202796901SQ20122043528
公開日2013年3月13日 申請日期2012年8月29日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月29日
發(fā)明者凌復(fù)華, 王麗丹, 吳鳳麗 申請人:沈陽拓荊科技有限公司