專利名稱：一種高純鎵氧化渣刮板裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種高純鎵氧化渣刮板裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及一種高純鎵氧化渣刮板裝置。
背景技術(shù)：
[0002]高純鎵的提純生產(chǎn)中，盡管采取了措施隔絕空氣，但仍然不可避免的要接觸空氣 中的氧氣，就會(huì)有一定量的鎵被氧化，生成一種氧化物。此種氧化物顏色為銀白色，有的會(huì) 呈現(xiàn)黃色或者是黑色。這種高純鎵的氧化物，其中夾富集著高純鎵中的雜質(zhì)，金屬和非金屬 類別的雜質(zhì)會(huì)較多的富集在氧化物中，此外，氧化物中的氧元素，對(duì)于高純鎵應(yīng)用與半導(dǎo)體 器件的性能有影響，必須可靠的去除。氧化渣相對(duì)于高純鎵，由于體積酥松，密度比高純鎵 小，因此容易漂浮在液態(tài)鎵表面。這給氧化渣的去除提供了一個(gè)很好的條件。目前氧化渣的 去除，會(huì)通過(guò)過(guò)濾等方式，使用過(guò)濾材料分離相對(duì)酥松的氧化物。此方法耗費(fèi)能量和時(shí)間， 且容易造成二次污染。不適合高純度鎵氧化渣的去除。實(shí)用新型內(nèi)容[0003]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種高純鎵氧化渣刮板裝置，解決了上述 問(wèn)題。[0004]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的[0005]一種高純鎵氧化渣刮板裝置，其特征在于包括機(jī)械機(jī)構(gòu)、正刮板、反刮板和氧化 渣收集容器；所述機(jī)械機(jī)構(gòu)連接并帶動(dòng)正刮板垂直上下運(yùn)動(dòng)、圓周運(yùn)動(dòng)或水平移動(dòng)，所述機(jī) 械機(jī)構(gòu)連接并帶動(dòng)反刮板水平方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)；所述氧化渣收集容器設(shè)在正刮板和反刮板相 切時(shí)的正下方。[0006]所述機(jī)械結(jié)構(gòu)由伺服電機(jī)和其帶動(dòng)的同步齒形帶組成。[0007]所述機(jī)械結(jié)構(gòu)手控運(yùn)動(dòng)或者通過(guò)自控程序控制運(yùn)動(dòng)。[0008]所述正刮板和反刮板的材質(zhì)選用硬塑料。[0009]所述硬塑料為聚乙烯、聚丙烯或聚四氟乙烯。[0010]本實(shí)用新型相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)的有益效果是[0011]本實(shí)用新型采用可靠的往復(fù)循環(huán)機(jī)械運(yùn)動(dòng)，可以連續(xù)的將高純鎵表面的氧化渣刮 除，取代了過(guò)濾等復(fù)雜操作，高效可靠；本裝置可以減輕氧化渣去除的繁重體力勞動(dòng)，提高 效率；本裝置可設(shè)置在潔凈的手套箱內(nèi)，杜絕污染；本裝置采用的材質(zhì)均可使用耐化學(xué)品 的塑料，不會(huì)污染高純鎵；本裝置可以通過(guò)與自控裝置對(duì)接，設(shè)置在流水線等連續(xù)操作線 上，批量工業(yè)化生產(chǎn)。


[0012]圖1本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖[0013]圖中，1-伺服電機(jī)，2-同步齒形帶，3-正刮板，4-反刮板，5-氧化渣收集容器， 6-高純鎵液體容器具體實(shí)施方式
[0014]圖1所示，一種高純鎵氧化渣刮板裝置，其特征在于包括機(jī)械機(jī)構(gòu)、正刮板3、反 刮板4和氧化渣收集容器5 ;所述機(jī)械機(jī)構(gòu)連接并帶動(dòng)正刮板3垂直上下運(yùn)動(dòng)、圓周運(yùn)動(dòng)或 水平移動(dòng)，所述機(jī)械機(jī)構(gòu)連接并帶動(dòng)反刮板4水平方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)；所述氧化渣收集容器5設(shè) 在正刮板3和反刮板4相切時(shí)的正下方。[0015]所述機(jī)械結(jié)構(gòu)由伺服電機(jī)I和其帶動(dòng)的同步齒形帶2組成。[0016]所述機(jī)械結(jié)構(gòu)手控運(yùn)動(dòng)或者通過(guò)自控程序控制運(yùn)動(dòng)。[0017]所述正刮板3和反刮板4的材質(zhì)選用硬塑料。[0018]所述硬塑料為聚乙烯、聚丙烯或聚四氟乙烯。[0019]使用實(shí)例1:將盛有高純鎵液體的容器固定在該裝置下方，手控機(jī)械機(jī)構(gòu)帶動(dòng)正 刮板向下運(yùn)動(dòng)，目視當(dāng)正刮板接觸高純鎵液體表面時(shí)停止，再手控機(jī)械機(jī)構(gòu)帶動(dòng)正刮板水 平圓周運(yùn)動(dòng)，將氧化渣刮除，此時(shí)氧化渣由于表面張力的作用會(huì)粘附在刮板上，然后機(jī)械機(jī) 構(gòu)帶動(dòng)正刮板向上運(yùn)動(dòng)，脫離液態(tài)鎵，再水平運(yùn)動(dòng)至正反刮板的切線處停止，此時(shí)手控反刮 板與正刮板相切運(yùn)動(dòng)，將粘附在正刮板上的氧化渣去除，掉落在氧化渣收集器中。[0020]使用實(shí)例2 :將盛有高純鎵液體的容器固定在裝置下方，由設(shè)定的程序自動(dòng)控制 機(jī)械機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)，帶動(dòng)正刮板向下運(yùn)動(dòng)，當(dāng)正刮板接觸高純鎵液體表面時(shí)停止，再帶動(dòng)正刮板 水平圓周運(yùn)動(dòng)，將氧化渣刮除，然后再向上運(yùn)動(dòng)，脫離液態(tài)鎵，再水平運(yùn)動(dòng)至正反刮板的切 線處停止，此時(shí)反刮板運(yùn)動(dòng)，將粘附在正刮板上的氧化渣去除，掉落在氧化渣收集器中。
權(quán)利要求1.一種高純鎵氧化渣刮板裝置，其特征在于包括機(jī)械機(jī)構(gòu)、正刮板、反刮板和氧化渣收集容器；所述機(jī)械機(jī)構(gòu)連接并帶動(dòng)正刮板垂直上下運(yùn)動(dòng)、圓周運(yùn)動(dòng)或水平移動(dòng)，所述機(jī)械機(jī)構(gòu)連接并帶動(dòng)反刮板水平方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)；所述氧化渣收集容器設(shè)在正刮板和反刮板相切時(shí)的正下方。
2.如權(quán)利要求1所述的高純鎵氧化渣刮板裝置，其特征在于所述機(jī)械結(jié)構(gòu)由伺服電機(jī)和其帶動(dòng)的同步齒形帶組成。
3.如權(quán)利要求1所述的高純鎵氧化渣刮板裝置，其特征在于所述機(jī)械結(jié)構(gòu)手控運(yùn)動(dòng)或者通過(guò)自控程序控制運(yùn)動(dòng)。
4.如權(quán)利要求1所述的高純鎵氧化渣刮板裝置，其特征在于所述正刮板和反刮板的材質(zhì)選用硬塑料。
5.如權(quán)利要求4所述的高純鎵氧化渣刮板裝置，其特征在于所述硬塑料為聚乙烯、聚丙烯或聚四氟乙烯。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種高純鎵氧化渣刮板裝置，其特征在于包括機(jī)械機(jī)構(gòu)、正刮板、反刮板和氧化渣收集容器；所述機(jī)械機(jī)構(gòu)連接并帶動(dòng)正刮板垂直上下運(yùn)動(dòng)、圓周運(yùn)動(dòng)和水平移動(dòng)，所述機(jī)械機(jī)構(gòu)連接并帶動(dòng)反刮板水平方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)；所述氧化渣收集容器設(shè)在正刮板和反刮板相切時(shí)的正下方。本實(shí)用新型采用可靠的往復(fù)循環(huán)機(jī)械運(yùn)動(dòng)，可以連續(xù)的將高純鎵表面的氧化渣刮除，取代了過(guò)濾等復(fù)雜操作，高效可靠；本裝置可以減輕氧化渣去除的繁重體力勞動(dòng)，提高效率；本裝置可設(shè)置在潔凈的手套箱內(nèi)，杜絕污染；本裝置采用的材質(zhì)均可使用耐化學(xué)品的塑料，不會(huì)污染高純鎵；本裝置可以通過(guò)與自控裝置對(duì)接，設(shè)置在流水線等連續(xù)操作線上，批量工業(yè)化生產(chǎn)。
文檔編號(hào)B22D43/00GK202861391SQ201220527320
公開(kāi)日2013年4月10日 申請(qǐng)日期2012年10月15日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月15日
發(fā)明者康云飛, 喬文, 鐘曉露 申請(qǐng)人:南京隆潤(rùn)半導(dǎo)體材料有限公司