專利名稱:真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及真空鍍膜領(lǐng)域,特別涉及一種真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)。
背景技術(shù):
工件的使用壽命主要取決于耐磨性和硬度,而真空鍍膜工藝是提高工件的耐磨性和硬度的常用方式。在真空鍍膜過程中,真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)發(fā)揮著重要的作用?,F(xiàn)有的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)通常包括電機(jī)、傳動(dòng)基座、真空室和載物臺(tái),電機(jī)通過傳動(dòng)帶驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)基座中的驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn),驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸帶動(dòng)載物臺(tái)旋轉(zhuǎn)?,F(xiàn)有的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)存在以下問題:第一、載物臺(tái)的厚度較大,由于載物臺(tái)包括轉(zhuǎn)盤和行星齒輪,轉(zhuǎn)盤和行星齒輪中的太陽輪通過軸承相樞接,而現(xiàn)有的軸承的尺寸一般較大,因此載物臺(tái)的厚度無法進(jìn)一步縮??;第二、容易高溫變形,由于載物臺(tái)還包括軸承套和自轉(zhuǎn)軸,自轉(zhuǎn)軸與軸承套直接相樞接,工作時(shí)容易因高溫而變形,造成自轉(zhuǎn)軸和行星齒輪的行星輪卡死;第三、傳動(dòng)基座和載物臺(tái)難以拆卸并分離,由于傳動(dòng)基座和載物臺(tái)需要通過螺栓鎖死以保持持續(xù)通電。因此在分離載物臺(tái)和傳動(dòng)基座時(shí),需要事先擰卸下該螺栓,使用過程十分不便;第四、載物臺(tái)的裝卸不便,裝卸時(shí),需要將自轉(zhuǎn)軸準(zhǔn)確旋轉(zhuǎn)至固定位置,然后將載物臺(tái)裝配上或卸載下,存在準(zhǔn)確定位上的難題。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)存在載物臺(tái)的厚度較大的缺陷,提供一種真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái),其載物臺(tái)具有厚度薄的優(yōu)點(diǎn)。本實(shí)用新型是通過下述技術(shù)方案來解決上述技術(shù)問題的:一種真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái),其包括一載物臺(tái),其特點(diǎn)在于,該載物臺(tái)包括一轉(zhuǎn)盤和一行星齒輪,該轉(zhuǎn)盤和該行星齒輪中的太陽輪通過滾珠相樞接。較佳的,該載物臺(tái)還包括多個(gè)軸承套,每一軸承套通過滾珠與一自轉(zhuǎn)軸相樞接。較佳的,該載物臺(tái)還包括一中心轉(zhuǎn)軸,該真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)還包括一具有驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸的傳動(dòng)基座,該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸通過一金屬彈片與該中心轉(zhuǎn)軸電連接。較佳的,該傳動(dòng)基座還包括一基座套,該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸與該基座套相樞接,該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸上設(shè)置有一檢測板,該基座套上設(shè)置有一檢測開關(guān),該檢測開關(guān)和該檢測板用于檢測該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸相對于該基座套的轉(zhuǎn)動(dòng)圈數(shù)。較佳的,該中心轉(zhuǎn)軸和該行星齒輪中的太陽輪通過一陶瓷軸承相樞接。較佳的,該真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)還包括一真空室,該真空室內(nèi)設(shè)置有兩個(gè)軌道,該載物臺(tái)上設(shè)置有兩列導(dǎo)輪,該些導(dǎo)輪用于沿著該些軌道滑滾運(yùn)動(dòng)。本實(shí)用新型的積極進(jìn)步效果在于:本實(shí)用新型提供了一種真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)。通過使用滾珠直接將該轉(zhuǎn)盤和該行星齒輪相樞接,該載物臺(tái)具有結(jié)構(gòu)簡單和輕薄的優(yōu)點(diǎn)。
圖1為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)的立體圖。圖2為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)的剖視圖。圖3為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)的局部剖視圖。圖4為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)的局部示意圖。附圖標(biāo)記說明:電機(jī):1傳動(dòng)帶:2傳動(dòng)基座:3 真空室:4載物臺(tái):5金屬彈片:6基座套:31 驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸:32檢測板:33 檢測開關(guān):34軌道:41限位板:42中心轉(zhuǎn)軸:51 陶瓷軸承:52轉(zhuǎn)盤:53高溫鋼珠:54太陽輪:55 行星輪:56自轉(zhuǎn)軸:57 軸承套:58高溫鋼珠:59 卡扣凸塊:320石墨環(huán):510 托板:511絕緣板:512 導(dǎo)輪:513卡扣槽51具體實(shí)施方式
下面舉個(gè)較佳實(shí)施例,并結(jié)合附圖來更清楚完整地說明本實(shí)用新型。如圖1所示,本實(shí)施例的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)包括電機(jī)1、傳動(dòng)基座3、真空室4和載物臺(tái)5。該傳動(dòng)基座3包括基座套31和驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸32,該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸32與該基座套31相樞接。該載物臺(tái)5上設(shè)置有五個(gè)自轉(zhuǎn)軸57。工作時(shí),電機(jī)I通過傳動(dòng)帶2驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)基座3中的驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸32旋轉(zhuǎn),驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸32帶動(dòng)載物臺(tái)5中的自轉(zhuǎn)軸57旋轉(zhuǎn)。該些自轉(zhuǎn)軸57上均懸掛有預(yù)加工工件,真空室4密閉并包圍住載物臺(tái)5,真空室4內(nèi)具有正離子發(fā)射源,正離子發(fā)射源不斷的發(fā)射高溫正離子,由于預(yù)加工工件都帶有負(fù)電壓,正離子在電場力的作用下沉積于預(yù)加工工件的表面,實(shí)現(xiàn)真空鍍膜和提高工件的耐磨性和硬度的目的。如圖2-3所示,真空室4內(nèi)設(shè)置有兩個(gè)軌道41,該載物臺(tái)5上設(shè)置有兩列導(dǎo)輪513,該些導(dǎo)輪513用于沿著該些軌道41滑滾運(yùn)動(dòng)。如圖4所示,該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸32上設(shè)置有一檢測板33,該基座套31上設(shè)置有一檢測開關(guān)34,該檢測開關(guān)34和該檢測板33用于檢測該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸32相對于該基座套31的轉(zhuǎn)動(dòng)圈數(shù)。圖1-2未繪出檢測板33和檢測開關(guān)34。安裝時(shí),將檢測板33和檢測開關(guān)34對準(zhǔn)(零位),如圖3所示,將導(dǎo)輪513用于傾軋?jiān)谲壍?1上,推動(dòng)該載物臺(tái)5使得該些導(dǎo)輪513沿著該些軌道41滑滾即可實(shí)現(xiàn)安裝。卸載過程與安裝過程恰好相反,在此不再贅述。對準(zhǔn)零位的目的一方面是使得驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸32頂端的兩個(gè)卡扣凸塊320在安裝時(shí)能夠順利地陷入中心轉(zhuǎn)軸51的卡扣槽514內(nèi),另一方面是使得驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸32頂端的兩個(gè)卡扣凸塊在卸載時(shí)能夠順利地從中心轉(zhuǎn)軸51的卡扣槽脫離。通過設(shè)置檢測板33和檢測開關(guān)34,載物臺(tái)5在裝卸時(shí)很容易準(zhǔn)確定位,定位困難的技術(shù)問題得到了較好的解決。如圖2-3所示,載物臺(tái)5包括轉(zhuǎn)盤53和行星齒輪,該轉(zhuǎn)盤53和該行星齒輪中的太陽輪55通過高溫鋼珠54相樞接?,F(xiàn)有技術(shù)中,轉(zhuǎn)盤和太陽輪通過軸承相樞接。眾所周知,軸承一般由內(nèi)環(huán)套、鋼珠層和外環(huán)套組成。本實(shí)施例通過使用高溫鋼珠54直接將該轉(zhuǎn)盤53和太陽輪55相樞接,即只利用軸承中的核心部件鋼珠,摒棄其內(nèi)環(huán)套和外環(huán)套,可以使得載物臺(tái)5結(jié)構(gòu)簡單化和輕薄化。如圖2-3所示,該載物臺(tái)5還包括五個(gè)軸承套58,每一軸承套58通過高溫鋼珠59與一自轉(zhuǎn)軸57相樞接。現(xiàn)有技術(shù)中,自轉(zhuǎn)軸與軸承套直接相樞接,工作時(shí)容易因高溫而變形,造成自轉(zhuǎn)軸和行星齒輪的行星輪卡死。通過在自轉(zhuǎn)軸57和軸承套58之間增加高溫鋼珠59,本實(shí)施例的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)即使工作在600°C的情況下,自轉(zhuǎn)軸57依然能夠保持軸向位置不變,各個(gè)部件協(xié)調(diào)配合并順利旋轉(zhuǎn)。實(shí)際制作時(shí),還可以使用普通的滾珠代替高溫鋼珠,例如,銅珠或普通鋼珠。如圖2-3所示,該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸32通過一金屬彈片6與該中心轉(zhuǎn)軸51電連接。現(xiàn)有技術(shù)中,由于傳動(dòng)基座和載物臺(tái)需要通過螺栓鎖死以保持持續(xù)通電。因此在分離載物臺(tái)和傳動(dòng)基座時(shí),需要事先擰卸下該螺栓,使用過程十分不便。在本實(shí)施例的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)中,該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸32通過一金屬彈片6與該中心轉(zhuǎn)軸51電連接。金屬彈片在自身彈力的作用下能夠時(shí)刻抵迫于該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸32和該中心轉(zhuǎn)軸51之間,保持兩者的持續(xù)通電。在分離載物臺(tái) 和傳動(dòng)基座時(shí),該金屬彈片處于伸張松弛狀態(tài),在安裝載物臺(tái)和傳動(dòng)基座時(shí),該金屬彈片處于收縮壓迫狀態(tài),因此具有保持持續(xù)通電和使用方便的優(yōu)點(diǎn)。如圖2-3所示,在本實(shí)施例的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)中,自動(dòng)轉(zhuǎn)軸51和太陽輪55通過一陶瓷軸承52相樞接?,F(xiàn)有技術(shù)中,自動(dòng)轉(zhuǎn)軸51和太陽輪55通過一金屬軸承52相樞接。真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)的停機(jī)溫度和工作溫度分別為20°C和550°C,溫差變化較為劇烈,陶瓷軸承與金屬軸承相比,具有更為優(yōu)越的抗溫差變形性能和耐磨性能,因此本實(shí)施例的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)選擇陶瓷軸承。使用時(shí),如圖2-4所示,電機(jī)I通過傳動(dòng)帶2驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)基座3中的驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸32旋轉(zhuǎn),驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸32帶動(dòng)中心轉(zhuǎn)軸51旋轉(zhuǎn),基于應(yīng)用陶瓷軸承52,中心轉(zhuǎn)軸51的旋轉(zhuǎn)摩擦很小,中心轉(zhuǎn)軸51帶動(dòng)轉(zhuǎn)盤53轉(zhuǎn)動(dòng),轉(zhuǎn)盤53將轉(zhuǎn)矩傳遞至自轉(zhuǎn)軸57,自轉(zhuǎn)軸57帶動(dòng)行星輪56繞著太陽輪55旋轉(zhuǎn),在旋轉(zhuǎn)的過程中,石墨環(huán)510中的石墨粉能夠潤滑自轉(zhuǎn)軸57和軸承套58之間的罅隙。將電源的負(fù)極性端與金屬彈片6電連接,電場通過中心轉(zhuǎn)軸51和轉(zhuǎn)盤53傳遞至五個(gè)自轉(zhuǎn)軸57,使得該些自轉(zhuǎn)軸57上的預(yù)加工工件帶有負(fù)電壓,以便吸附真空室4內(nèi)的正離子。太陽輪55通過絕緣板512固定于托板511上,因此太陽輪55上的電壓不會(huì)傳導(dǎo)至太陽輪55上。另外,真空室4內(nèi)還設(shè)置有限位板42,限位板42能夠?qū)?dǎo)輪513限位于軌道上滑滾運(yùn)動(dòng)。雖然以上描述了本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
,但是本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解,這些僅是舉例說明,本實(shí)用新型的保護(hù)范圍是由所附權(quán)利要求書限定的。本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不背離本實(shí)用新型的原理和實(shí)質(zhì)的前提下,可以對這些實(shí)施方式做出多種變更或修改,但這些變更和 修改均落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái),其包括一載物臺(tái),其特征在于,該載物臺(tái)包括一轉(zhuǎn)盤和一行星齒輪,該轉(zhuǎn)盤和該行星齒輪中的太陽輪通過滾珠相樞接。
2.如權(quán)利要求1所述的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái),其特征在于,該載物臺(tái)還包括多個(gè)軸承套,每一軸承套通過滾珠與一自轉(zhuǎn)軸相樞接。
3.如權(quán)利要求2所述的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái),其特征在于,該載物臺(tái)還包括一中心轉(zhuǎn)軸,該真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)還包括一具有驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸的傳動(dòng)基座,該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸通過一金屬彈片與該中心轉(zhuǎn)軸電連接。
4.如權(quán)利要求3所述的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái),其特征在于,該傳動(dòng)基座還包括一基座套,該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸與該基座套相樞接,該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸上設(shè)置有一檢測板,該基座套上設(shè)置有一檢測開關(guān),該檢測開關(guān)和該檢測板用于檢測該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸相對于該基座套的轉(zhuǎn)動(dòng)圈數(shù)。
5.如權(quán)利要求3所述的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái),其特征在于,該中心轉(zhuǎn)軸和該行星齒輪中的太陽輪通過一陶瓷軸承相樞接。
6.如權(quán)利要求1-5中任意一項(xiàng)所述的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái),其特征在于,該真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)還包括一真 空室,該真空室內(nèi)設(shè)置有兩個(gè)軌道,該載物臺(tái)上設(shè)置有兩列導(dǎo)輪,該些導(dǎo)輪用于沿著該些軌道滑滾運(yùn)動(dòng)。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái),其包括一載物臺(tái),該載物臺(tái)包括一轉(zhuǎn)盤和一行星齒輪,該轉(zhuǎn)盤和該行星齒輪中的太陽輪通過滾珠相樞接。本實(shí)用新型通過使用滾珠直接將該轉(zhuǎn)盤和該行星齒輪相樞接,該載物臺(tái)具有結(jié)構(gòu)簡單和輕薄的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)C23C14/50GK203080059SQ201220624729
公開日2013年7月24日 申請日期2012年11月22日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月22日
發(fā)明者王叔暉, 劉竹楊 申請人:上海法德機(jī)械設(shè)備有限公司