專利名稱：一種磁控濺射鍍膜腔室的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種鍍膜腔室，特別涉及一種針對減少掉渣情況的大型磁控濺射
鍍膜腔室。
背景技術：
目前市面上的大型磁控濺射鍍膜腔室，在濺射室側壁的上半部分通常采用表面經過打磨拋光處理的不銹鋼擋板，由于拋光表面對濺射物吸附能力有限。濺射室內部在工作時，只有少部分濺射出的靶材被吸附在拋光的不銹鋼擋板表面，吸附量并不大，大多數靶材廢渣累積于下側擋板和底板上；當濺射室停止工作后，濺射室溫度會慢慢降低，被吸附于拋光表面的濺射物質，由于吸附不夠牢固，極易從表面脫裂，濺落在輥道附近。上述結構存在掉渣嚴重、積渣容易堆積的問題，當有產品經過該濺射室時，濺落的物質容易掉落在產品表面，導致后面膜層濺射不能完全附著在產品上，直接導致廣品報廢。針對上述不足之處，申請?zhí)枮?201110374715.X的中國發(fā)明專利申請《少落塵的真空磁控濺射鍍膜設備》公開了一種防落塵裝置，通過在濺射區(qū)內部焊接不銹鋼網，來增加廢塵的吸附力，減少落塵的幾率，但是其仍然存在以下不足之處:不銹鋼網焊接于濺射區(qū)內部，拆卸不變，鍍膜線需要頻繁地停產、并在濺射區(qū)內部進行長時間清洗，維護成本較高。

實用新型內容本實用新型要解決的技術問題在于克服現(xiàn)有技術的上述不足，提供易于清潔、并能夠有效減少濺射出的靶材廢渣脫落的磁控濺射鍍膜腔室。為解決上述技術問題，本實用新型提供了以下技術方案:一種磁控濺射鍍膜腔室，包括設置于濺射室的內部的網罩，所述網罩與濺射室可拆卸連接。優(yōu)選的，所述網罩由連接鋼板與不銹鋼網組成，所述連接鋼板的截面形狀與濺射室內腔側面的截面形狀相適配，所述不銹鋼網焊接于連接鋼板上，所述網罩通過連接螺栓與設置于濺射室上的螺紋固定孔連接。采用上述結構，網罩以點焊的方式固定在連接鋼板上，再通過連接鋼板以螺紋連接的方式可拆卸地安裝在濺射室的內腔，連接結構穩(wěn)定、拆裝尤為方便。優(yōu)選的，所述濺射室上均布有若干個螺孔，所述網罩上設置有若干個連接孔，所述連接孔的位置與螺紋固定孔的位置一一對應，所述各連接孔內均設置有一個連接螺栓。采用這樣的方式，連接結構簡單、穩(wěn)定。優(yōu)選的，所述網罩的頂面設置有若干個矩形通孔。優(yōu)選的，所述矩形通孔均勻分布于網罩的頂面。矩形通孔與腔室的矩形通孔一一對應。優(yōu)選的，所述網罩的橫截面呈“U”字型，進一步避免落塵的產生，防止落塵掉落在產品的表面、致使產品報廢。與現(xiàn)有技術相比，本實用新型的有益效果是:通過在濺射室的內部以可拆裝的方式設置有網罩，在減少掉渣的同時，更容易清潔，當需要清潔網罩時，只需要將網罩拆下，并通過噴砂、或其他工序進行清潔即可，清潔速度快、效率高，維護成本低。

圖1為本實用新型中網罩結構的主示意圖；圖2為本實用新型中網罩的立體結構示意圖；圖3為本實用新型中網罩的截面?zhèn)纫晥D。圖中標記:連接鋼板一I ;連接孔一2 ;矩形通孔一3 ;不銹鋼網一4。
具體實施方式
以下結合附圖和具體實施方式
對本實用新型作進一步的說明。本實用新型的實施方式不限于以下實施例，在不脫離本實用新型宗旨的前提下做出的各種變化均屬于本實用新型的保護范圍之內。實施例1本實施例磁控濺射鍍膜腔室，包括設置有磁控濺射靶的濺射室，濺射室的內部連接有網罩，磁控濺射靶、以及濺射室的結構為現(xiàn)有結構，在圖中未示出。在圖1和圖2中所示的結構為連接鋼板1，本實施例中，網罩由連接鋼板I與不銹鋼網4組成，不銹鋼網4通過該連接鋼板I與濺射室可拆卸連接，所述連接鋼板I的截面形狀與濺射室內腔側面的截面形狀相適配，所述不銹鋼網4焊接于連接鋼板I上，所述網罩通過連接螺栓與設置于濺射室上的螺紋固定孔連接，所述連接鋼板I的截面形狀與濺射室內腔的截面形狀相適配，如圖3所示，本實施例中，連接鋼板I的橫截面呈“U”字型、并與被連接的濺射室的內腔形狀相適配。本實施例中，網罩與濺射室是螺栓連接的方式，即連接鋼板I通過連接螺栓與濺射室螺紋固定孔連接，具體的:連接鋼板I的頂面設置有連接孔2、設置螺栓后與濺射室的內腔螺紋連接，所述不銹鋼網4焊接與連接鋼板I上，不銹鋼網4以點焊的方式固定在連接鋼板I上，再通過連接鋼板I以螺紋連接的方式可拆卸地安裝在濺射室的內腔，連接結構穩(wěn)定、拆裝尤為方便。為了不影響抽真空操作，并保證連接結構的穩(wěn)定，連接鋼板I的頂面的設置有若干個矩形通孔3，矩形通孔3間隔設置于連接孔2之間，矩形通孔3沿連接鋼板I的延伸方向均勻分布于連接鋼板I的頂面，矩形通孔3的位置與濺射室上預設的螺紋固定孔的位置一一對應，各矩形通孔3內均設置有一個連接螺栓、用于固定連接鋼板I和濺射室，相比于其余實施方式中，單個螺栓連接的方式，這樣的連接結構尤為穩(wěn)定。通過在濺射室的內部以可拆裝的方式設置有連接鋼板1，在減少掉渣的同時，更容易清潔，當需要清潔網罩時，只需要將連接鋼板I連同不銹鋼網4 一起拆下，并通過噴砂、或其他工序進行清潔即可，清潔速度快、效率高，維護成本低。在其余實施方式中，連接鋼板I亦可以采用卡式連等其他慣用的可拆裝連接方式與濺射室相互連接，同時，不銹鋼網4也通過相應的方式可拆卸地連接于濺射室內腔，均可以起到易于拆卸清潔的作用，在此就不再贅述。 本實用新型并不局限于前述的具體實施方式
。本實用新型擴展到任何在本說明書中披露的新特征或任何新的組合，以及披露的任一新的方法或過程的步驟或任何新的組
口 o
權利要求1.一種磁控濺射鍍膜腔室，包括設置于濺射室的內部的網罩，其特征在于:所述網罩與濺射室可拆卸連接。
2.根據權利要求1所述的磁控濺射鍍膜腔室，其特征在于:所述網罩由連接鋼板與不銹鋼網組成，所述連接鋼板的截面形狀與濺射室內腔側面的截面形狀相適配，所述不銹鋼網焊接于連接鋼板上，所述網罩通過連接螺栓與設置于濺射室上的螺紋固定孔連接。
3.根據權利要求2所述的磁控濺射鍍膜腔室，其特征在于:所述濺射室上均布有若干個螺孔，所述網罩上設置有若干個連接孔，所述連接孔的位置與螺紋固定孔的位置一一對應，所述各連接孔內均設置有一個連接螺栓。
4.根據權利要求1至3中任一所述的磁控濺射鍍膜腔室，其特征在于:所述網罩的頂面設置有若干個矩形通孔。
5.根據權利要求4所述的磁控濺射鍍膜腔室，其特征在于:所述矩形通孔均勻分布于網罩的頂面。
6.根據權利要求5所述的磁控濺射鍍膜腔室，其特征在于:所述網罩的橫截面呈“U”字型。
專利摘要本實用新型涉及一種磁控濺射鍍膜腔室，包括設置于濺射室的內部的網罩，所述網罩與濺射室可拆卸連接，通過在濺射室的內部以可拆裝的方式設置有網罩，在減少掉渣的同時，更容易清潔，當需要清潔網罩時，只需要將網罩拆下，并通過噴砂、或其他工序進行清潔即可，清潔速度快、效率高，維護成本低。
文檔編號C23C14/35GK202989275SQ20122068874
公開日2013年6月12日 申請日期2012年12月13日 優(yōu)先權日2012年12月13日
發(fā)明者龍永洪, 李建根, 徐伯永 申請人:成都南玻玻璃有限公司