專(zhuān)利名稱(chēng)：反應(yīng)腔室的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及集成電路設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種反應(yīng)腔室。
背景技術(shù)：
金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)是在氣相外延生長(zhǎng)(VPE)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的一種化學(xué)氣相沉積工藝。它以III族、II族元素的有機(jī)化合物和ν、νι族元素的氫化物等作為晶體生長(zhǎng)的反應(yīng)氣體，以熱分解反應(yīng)方式在藍(lán)寶石襯底或其他襯底上進(jìn)行外延沉積工藝，生長(zhǎng)各種II1-V族、I1- VI族化合物半導(dǎo)體以及它們的多元固溶體的外延材料層。請(qǐng)參考圖1，其為現(xiàn)有技術(shù)的MOCVD設(shè)備的反應(yīng)腔室的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，反應(yīng)腔室I包括腔體10 ;設(shè)置于所述腔體10內(nèi)的托盤(pán)11，所述托盤(pán)11用以承載待處理的半導(dǎo)體晶片或介質(zhì)基片；驅(qū)動(dòng)所述托盤(pán)11轉(zhuǎn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)14，所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)14通過(guò)筒狀側(cè)壁16與所述托盤(pán)11連接，并且所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)14、托盤(pán)11及筒狀側(cè)壁16形成了一容置空間；加熱器12，所述加熱器12置于所述容置空間內(nèi)，并且所述加熱器12通過(guò)支撐結(jié)構(gòu)13保持穩(wěn)定。然而，現(xiàn)有技術(shù)的反應(yīng)腔室中，所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)通常在沒(méi)有達(dá)到其設(shè)計(jì)時(shí)的使用壽命之前就已經(jīng)損壞，從而大大增加了設(shè)備維護(hù)投入。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種反應(yīng)腔室，以解決現(xiàn)有反應(yīng)腔室中的旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)極易損壞的問(wèn)題。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種反應(yīng)腔室，所述反應(yīng)腔室包括:腔體；設(shè)置于所述腔體內(nèi)的托盤(pán)；設(shè)置于所述腔體內(nèi)的旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)通過(guò)筒狀側(cè)壁與所述托盤(pán)連接，所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)、托盤(pán)及筒狀側(cè)壁形成了一容置空間；設(shè)置于所述容置空間內(nèi)用于加熱所述托盤(pán)的加熱器；及設(shè)置于所述容置空間內(nèi)的隔熱結(jié)構(gòu)，所述隔熱結(jié)構(gòu)設(shè)置于所述加熱器和旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)之間。可選的，在所述的反應(yīng)腔室中，所述隔熱結(jié)構(gòu)為一隔熱板，在所述加熱器和旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)中，所述隔熱板更靠近所述加熱器?？蛇x的，在所述的反應(yīng)腔室中，所述隔熱板與所述筒狀側(cè)壁之間具有一間隙，所述間隙的寬度為0.lmnTlOmm?？蛇x的，在所述的反應(yīng)腔室中，所述筒狀側(cè)壁上設(shè)置有排氣孔，且所述排氣孔位于所述隔熱板和加熱器之間區(qū)域的所述筒狀側(cè)壁，所述排氣孔的直徑為0.lmnTlmm?？蛇x的，在所述的反應(yīng)腔室中，所述隔熱板面向所述加熱器的表面為一反射面，所述反射面反射所述加熱器發(fā)出的熱輻射。可選的，在所述的反應(yīng)腔室中，所述隔熱板包括本體和嵌于本體的冷卻管路或冷卻腔，所述冷卻管路或冷卻腔中通有冷卻液體或氣體。可選的，在所述的反應(yīng)腔室中，構(gòu)成所述隔熱板的材料為耐熱材料。[0013]可選的,在所述的反應(yīng)腔室中，所述隔熱板的厚度為lmnT5mm?？蛇x的，在所述的反應(yīng)腔室中，還包括一支撐柱，所述支撐柱穿過(guò)所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)連接所述加熱器和所述隔熱板，所述支撐柱支撐所述加熱器和所述隔熱板?？蛇x的，在所述的反應(yīng)腔室中，所述支撐柱上設(shè)置有冷卻液體或冷卻氣體傳輸管道，所述冷卻液體或冷卻氣體傳輸管道與所述隔熱板的冷卻管道或冷卻腔相連。本申請(qǐng)發(fā)明人經(jīng)過(guò)研究之后發(fā)現(xiàn):現(xiàn)有反應(yīng)腔室中的旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)在沒(méi)有達(dá)到其設(shè)計(jì)時(shí)的使用壽命之前就已經(jīng)損壞的原因在于，加熱器與旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)之間存在明顯的熱交換，而這種熱交換導(dǎo)致了旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的溫度超出了其安全工作的溫度，由此導(dǎo)致了現(xiàn)有反應(yīng)腔室中的旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)在沒(méi)有達(dá)到其設(shè)計(jì)時(shí)的使用壽命之前就已經(jīng)損壞。在本申請(qǐng)?zhí)峁┑姆磻?yīng)腔室中設(shè)置有隔熱結(jié)構(gòu)，所述隔熱結(jié)構(gòu)至少減少加熱器與旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)之間的熱交換，由此，能夠緩解所述加熱器產(chǎn)生的熱量對(duì)于所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的溫度的影響，從而降低所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的損耗，提高所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的使用壽命。

圖1是現(xiàn)有技術(shù)的MOCVD設(shè)備的反應(yīng)腔室的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例的反應(yīng)腔室的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型提出的反應(yīng)腔室作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。根據(jù)下面說(shuō)明和權(quán)利要求書(shū)，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。現(xiàn)有技術(shù)的反應(yīng)腔室中，旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)通常在沒(méi)有達(dá)到其設(shè)計(jì)時(shí)的使用壽命之前就已經(jīng)損壞，從而大大增加了設(shè)備的維護(hù)投入。而對(duì)于這一問(wèn)題，本領(lǐng)域技術(shù)人員一直未曾找出其根本原因。也就是說(shuō)，現(xiàn)有的反應(yīng)腔室中旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)極易損壞的問(wèn)題長(zhǎng)期困擾著本領(lǐng)域技術(shù)人員，并且這一問(wèn)題的存在，直接導(dǎo)致了大量設(shè)備成本的投入。為此，本申請(qǐng)發(fā)明人也投入了大量的時(shí)間與精力去研究這一問(wèn)題。在經(jīng)過(guò)了大量的研究之后，本申請(qǐng)發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，導(dǎo)致這一嚴(yán)重問(wèn)題的根本原因是:加熱器與旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)之間存在明顯的熱交換，而這種熱交換導(dǎo)致了旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的溫度超出了其安全工作的溫度，從而導(dǎo)致旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)極易損壞，特別的，損壞的旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)遠(yuǎn)遠(yuǎn)沒(méi)有達(dá)到其設(shè)計(jì)時(shí)的使用壽命。進(jìn)一步的研究發(fā)現(xiàn)，通常的，旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的安全工作溫度(即在這一工作溫度之下，旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)能夠經(jīng)過(guò)正常的磨損之后，達(dá)到/基本達(dá)到其使用壽命)在幾十?dāng)z氏度，而加熱器的工作溫度經(jīng)常會(huì)到一千攝氏度以上。加熱器經(jīng)過(guò)與旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的熱交換之后，能夠?qū)⑺鲂D(zhuǎn)機(jī)構(gòu)加熱到幾百攝氏度，在這樣一個(gè)長(zhǎng)期高出安全工作溫度的情況下，導(dǎo)致了旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)損壞。為此，本申請(qǐng)發(fā)明人提出了一種新的反應(yīng)腔室，以解決現(xiàn)有技術(shù)中反應(yīng)腔室所存在的問(wèn)題。請(qǐng)參考圖2，其為本實(shí)用新型實(shí)施例的反應(yīng)腔室的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示，所述反應(yīng)腔室2包括:腔體20 ;設(shè)置于所述腔體20內(nèi)的托盤(pán)21 ;設(shè)置于所述腔體20內(nèi)的旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)24，所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)24通過(guò)筒狀側(cè)壁26與所述托盤(pán)21連接，所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)24、托盤(pán)21及筒狀側(cè)壁26形成了一容置空間28 ;設(shè)置于所述容置空間28內(nèi)用于加熱所述托盤(pán)21的加熱器22 ;及設(shè)置于所述容置空間28內(nèi)的隔熱結(jié)構(gòu)25，所述隔熱結(jié)構(gòu)25設(shè)置于所述加熱器22和旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)24之間，所述隔熱結(jié)構(gòu)25至少減少加熱器22與旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)24之間的熱交換。在所述反應(yīng)腔室2中，由于增加了隔熱結(jié)構(gòu)25，所述隔熱結(jié)構(gòu)25能夠至少減少了加熱器22與旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)24之間的熱交換，由此，相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)施例中的加熱器22對(duì)于旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)24的溫度影響較低。從而能夠減少高溫對(duì)于旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)24的性能損害，進(jìn)而可提高旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)24的使用壽命，進(jìn)而也降低了設(shè)備維護(hù)投入。此外，通過(guò)增加所述隔熱結(jié)構(gòu)25不僅能夠降低旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)24的損害，提高旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)24的使用壽命；同時(shí)，由于在加熱器22與旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)24熱交換的過(guò)程中，除了會(huì)導(dǎo)致旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)24溫度的提高，也可能導(dǎo)致加熱器22的溫度降低，因此所述隔熱結(jié)構(gòu)25還有利于保持所述加熱器22的溫度，從而減少所述加熱器22的熱損耗。在本實(shí)施例中，所述隔熱結(jié)構(gòu)25為一隔熱板，所述隔熱板設(shè)置于所述加熱器22和旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)24之間。所述隔熱板可以阻擋所述加熱器22對(duì)所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)24的輻射加熱，從而減少所述加熱器22與所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)24之間的熱交換。在本實(shí)施例中，由于所述隔熱結(jié)構(gòu)25選擇了一隔熱板予以實(shí)現(xiàn)，因此，其實(shí)現(xiàn)起來(lái)非常方便、成本也相對(duì)較低廉。同時(shí)，將所述隔熱結(jié)構(gòu)25/隔熱板設(shè)置于所述加熱器22和旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)24之間，由此，可十分直接的減緩所述加熱器22對(duì)于所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)24的加熱作用。即通過(guò)上述結(jié)構(gòu)及位置的排布，能夠以低成本實(shí)現(xiàn)緩解所述加熱器22和旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)24之間的熱交換。當(dāng)然，在本實(shí)用新型的其他實(shí)施例中，所述加熱器22也可以通過(guò)其他結(jié)構(gòu)予以實(shí)現(xiàn)，其只要能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)于加熱器22和旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)24之間的熱交換予以緩解/減少即可，其他，本申請(qǐng)并不做限定。優(yōu)選的，在所述加熱器22和旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)24中，所述隔熱板更靠近所述加熱器22，也就是說(shuō)，相對(duì)于所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)24，所述隔熱結(jié)構(gòu)25/隔熱板更靠近所述加熱器22。通過(guò)此種設(shè)計(jì)，能夠使得所述隔熱結(jié)構(gòu)25/隔熱板較快地實(shí)現(xiàn)減少所述加熱器22和旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)24之間的熱交換的作用。在本實(shí)施例中，所述隔熱結(jié)構(gòu)25/隔熱板與所述筒狀側(cè)壁26之間具有一間隙。在此，考慮到所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)24將通過(guò)所述筒狀側(cè)壁26，帶動(dòng)所述托盤(pán)21進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，也就是說(shuō)，所述筒狀側(cè)壁26也將在所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)24的帶動(dòng)下進(jìn)行旋轉(zhuǎn)/轉(zhuǎn)動(dòng)。因此，為了防止所述筒狀側(cè)壁26在旋轉(zhuǎn)/轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中與所述隔熱結(jié)構(gòu)25/隔熱板發(fā)生摩擦而造成所述筒狀側(cè)壁26或者所述隔熱結(jié)構(gòu)25/隔熱板的損傷，所述隔熱結(jié)構(gòu)25/隔熱板與所述筒狀側(cè)壁26之間設(shè)置一間隙，從而方便、有效的避免了上述問(wèn)題。優(yōu)選的，所述間隙的寬度為0.1mnTlOmm,由此，既可避免所述筒狀側(cè)壁26在旋轉(zhuǎn)/轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中與所述隔熱結(jié)構(gòu)25/隔熱板發(fā)生摩擦；又能夠有效緩解/減少所述加熱器22與所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)24之間發(fā)生熱交換。更優(yōu)的，所述間隙的寬度為lmnT4mm，所述間隙在此寬度范圍內(nèi)，能夠較好的平衡避免摩擦和減少熱交換這兩項(xiàng)功能，具體的，所述間隙的寬度可以為lmm、l.5mm、2mm、2.5mm、3mm、3.5mm或者4mm等等。進(jìn)一步的，所述筒狀側(cè)壁26上設(shè)置有排氣孔(圖2中未示出)，并且所述排氣孔位于所述隔熱結(jié)構(gòu)25/隔熱板和加熱器22之間區(qū)域的所述筒狀側(cè)壁26。在此，考慮到雖然所述隔熱結(jié)構(gòu)25/隔熱板與所述筒狀側(cè)壁26之間具有的間隙尺寸非常小，但是，其還是在一定程度上降低了隔熱結(jié)構(gòu)25/隔熱板減少熱交換的效果，但加熱器22所產(chǎn)生的熱氣體還可能從隔熱板的靠近加熱器22的一側(cè)，泄露至隔熱板的靠近旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)24的一側(cè)，即泄露的熱氣體會(huì)對(duì)所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)24進(jìn)行加熱，使得所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)溫度升高。因此，在此通過(guò)在所述筒狀側(cè)壁26上設(shè)置排氣孔，從而使得加熱器22所產(chǎn)生的熱氣體可以從所述排氣孔排除出去，減少熱氣體的泄露量，進(jìn)一步降低所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)24的溫度。進(jìn)一步的，所述排氣孔靠近所述隔熱結(jié)構(gòu)25/隔熱板；即相對(duì)于所述加熱器22，所述排氣孔更加靠近所述隔熱結(jié)構(gòu)25/隔熱板，也就是說(shuō)所述排氣孔靠近所述間隙。將所述排氣孔設(shè)置得靠近所述間隙，由此可以使得所述排氣孔較好地實(shí)現(xiàn)對(duì)于熱氣體分流作用，使得所述加熱器22產(chǎn)生的熱氣體能夠盡量少的泄露并作用于所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)24。優(yōu)選的，所述排氣孔的直徑為0.lmnTlmm，通過(guò)將所述排氣孔的直徑設(shè)置在這一范圍內(nèi)，既能夠較好地實(shí)現(xiàn)熱氣/熱量的分流作用，又能夠使得所述腔室20內(nèi)的氣流相對(duì)穩(wěn)定。優(yōu)選的，所述隔熱板面向所述加熱器22的表面為一反射面，所述反射面反射所述加熱器22發(fā)出的熱輻射。通過(guò)反射熱輻射可減少加熱器22的熱量損失，增強(qiáng)加熱器22對(duì)托盤(pán)21的加熱效率，同時(shí)減少加熱器22對(duì)旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)24的加熱作用。進(jìn)一步的，所述反射面為鏡面。通過(guò)鏡面實(shí)現(xiàn)發(fā)射熱輻射的效果，即能花費(fèi)較低的成本，又能夠?qū)崿F(xiàn)較好地?zé)彷椛浞瓷渥饔?。?yōu)選的，所述隔熱結(jié)構(gòu)25/隔熱板包括本體和嵌于本體的冷卻管路或冷卻腔，所述冷卻管路或冷卻腔中通有冷卻液體或氣體。由此，能夠使得所述隔熱結(jié)構(gòu)25/隔熱板處于較低的溫度，特別的，所述加熱器22產(chǎn)生的熱量能夠在隔熱板處就被帶走，減少傳遞到所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)24的熱量。優(yōu)選的，構(gòu)成所述隔熱板的材料為耐熱材料，也就是形成所述隔熱板的材料為耐高溫材料。例如，構(gòu)成所述隔熱板的材料為鎢、鑰、鉭、鈮、釩、不銹鋼、碳化硼、碳化硅及氮化硼等中的一種或多種。在此，選用耐熱材料制作隔熱板，由此便可以提高隔熱板的使用壽命，降低設(shè)備的成本投入。例如，所述隔熱板的材料為不銹鋼，具體的，所述不銹鋼的厚度可以為lmnT5mm。通過(guò)上述厚度的選擇，能夠以較低的設(shè)備成本實(shí)現(xiàn)較好的隔熱效果，即實(shí)現(xiàn)了成本控制與隔熱效果的兼得。在本實(shí)施例中，所述反應(yīng)腔室2還包括一支撐柱23，所述支撐柱23穿過(guò)所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)24連接所述加熱器22和所述隔熱板，所述支撐柱23用于支撐所述加熱器22和所述隔熱板。在本實(shí)施中，所述加熱器22固定在所述支撐柱23上；所述隔熱結(jié)構(gòu)25/隔熱板通過(guò)固定結(jié)構(gòu)27固定于所述加熱器22上，進(jìn)而通過(guò)所述加熱器22固定于所述支撐柱23上，從而保證了所述隔熱結(jié)構(gòu)25/隔熱板的穩(wěn)定。在本實(shí)用新型的其他實(shí)施例中，所述隔熱結(jié)構(gòu)25/隔熱板還可以通過(guò)其他方式保持穩(wěn)定，例如，所述隔熱結(jié)構(gòu)25/隔熱板直接固定于所述支撐結(jié)構(gòu)23上等方式，對(duì)此，本申請(qǐng)并不做限定。進(jìn)一步的，所述支撐柱23上設(shè)置有冷卻液體或冷卻氣體傳輸管道，所述冷卻液體或冷卻氣體傳輸管道與所述隔熱板的冷卻管道或冷卻腔相連。所述冷卻液體或冷卻氣體傳輸管道向所述隔熱板的冷卻管道或冷卻腔循環(huán)傳輸冷卻液體或冷卻氣體。在本實(shí)施例提供的反應(yīng)腔室中，有效地減少了加熱器與旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)之間的熱交換，從而提高了旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的使用壽命，降低了設(shè)備維護(hù)投入。進(jìn)一步的，本申請(qǐng)發(fā)明人對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)的反應(yīng)腔室以及本實(shí)施例的反應(yīng)腔室做了一熱氣體狀態(tài)的仿真實(shí)驗(yàn)，實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:本實(shí)施例提供的反應(yīng)腔室有效地減少了加熱器與旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)之間的熱傳遞。特別的，本實(shí)施例提供的反應(yīng)腔室中的旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的溫度較現(xiàn)有技術(shù)中的反應(yīng)腔室中的旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的溫度要低得多。最終體現(xiàn)為本實(shí)施例的反應(yīng)腔室有效地減少了加熱器與旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)之間的熱交換，提高了旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的使用壽命，降低了設(shè)備維護(hù)投入。上述描述僅是對(duì)本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的描述，并非對(duì)本實(shí)用新型范圍的任何限定，本實(shí)用新型領(lǐng)域的普通技術(shù)人員根據(jù)上述揭示內(nèi)容做的任何變更、修飾，均屬于權(quán)利要求書(shū)的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種反應(yīng)腔室，其特征在于，包括:腔體；設(shè)置于所述腔體內(nèi)的托盤(pán)；設(shè)置于所述腔體內(nèi)的旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)通過(guò)筒狀側(cè)壁與所述托盤(pán)連接，所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)、托盤(pán)及筒狀側(cè)壁形成了一容置空間；設(shè)置于所述容置空間內(nèi)用于加熱所述托盤(pán)的加熱器；及設(shè)置于所述容置空間內(nèi)的隔熱結(jié)構(gòu)，所述隔熱結(jié)構(gòu)設(shè)置于所述加熱器和旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)之間。
2.如權(quán)利要求1所述的反應(yīng)腔室，其特征在于，所述隔熱結(jié)構(gòu)為一隔熱板，在所述加熱器和旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)中，所述隔熱板更靠近所述加熱器。
3.如權(quán)利要求2所述的反應(yīng)腔室，其特征在于，所述隔熱板與所述筒狀側(cè)壁之間具有一間隙，所述間隙的寬度為0.1mm 10mm。
4.如權(quán)利要求2所述的反應(yīng)腔室，其特征在于，所述筒狀側(cè)壁上設(shè)置有排氣孔，且所述排氣孔位于所述隔熱板和加熱器之間區(qū)域的所述筒狀側(cè)壁，所述排氣孔的直徑為0.
5.如權(quán)利要求2所述的反應(yīng)腔室，其特征在于，所述隔熱板面向所述加熱器的表面為一反射面，所述反射面反射所述加熱器發(fā)出的熱輻射。
6.如權(quán)利要求2所述的反應(yīng)腔室，其特征在于，所述隔熱板包括本體和嵌于本體的冷卻管路或冷卻腔，所述冷卻管路或冷卻腔中通有冷卻液體或氣體。
7.如權(quán)利要求2所述的反應(yīng)腔室，其特征在于，構(gòu)成所述隔熱板的材料為耐熱材料。
8.如權(quán)利要求7中的任一項(xiàng)所述的反應(yīng)腔室，其特征在于，所述隔熱板的厚度為1mm 5mm.
9.如權(quán)利要求6所述的反應(yīng)腔室，其特征在于，還包括一支撐柱，所述支撐柱穿過(guò)所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)連接所述加熱器和所述隔熱板，所述支撐柱支撐所述加熱器和所述隔熱板。
10.如權(quán)利要求9所述的反應(yīng)腔室，其特征在于，所述支撐柱上設(shè)置有冷卻液體或冷卻氣體傳輸管道，所述冷卻液體或冷卻氣體傳輸管道與所述隔熱板的冷卻管道或冷卻腔相連。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型提供了一種反應(yīng)腔室，所述反應(yīng)腔室包括腔體；設(shè)置于所述腔體內(nèi)的托盤(pán)；設(shè)置于所述腔體內(nèi)的旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)通過(guò)筒狀側(cè)壁與所述托盤(pán)連接，所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)、托盤(pán)及筒狀側(cè)壁形成了一容置空間；設(shè)置于所述容置空間內(nèi)用于加熱所述托盤(pán)的加熱器；及設(shè)置于所述容置空間內(nèi)的隔熱結(jié)構(gòu)，所述隔熱結(jié)構(gòu)設(shè)置于所述加熱器和旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)之間。在本實(shí)用新型提供的反應(yīng)腔室中，所述隔熱結(jié)構(gòu)至少減少所述加熱器和旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)之間的熱交換，從而所述旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)不易損壞、使用壽命較長(zhǎng)，從而能夠降低設(shè)備維護(hù)投入。
文檔編號(hào)C23C16/44GK203007403SQ20122073570
公開(kāi)日2013年6月19日 申請(qǐng)日期2012年12月26日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月26日
發(fā)明者黃允文, 李王俊 申請(qǐng)人:光達(dá)光電設(shè)備科技(嘉興)有限公司