用于真空鍍膜設(shè)備的冷凝裝置制造方法
【專利摘要】一種用于真空鍍膜設(shè)備的冷凝裝置，包含有一進(jìn)氣管、一出氣管，以及一介于進(jìn)氣管與出氣管之間的冷阱組件，冷阱組件具有一第一弧形彎管及一第二弧形彎管，第一弧形彎管與進(jìn)氣管之間、第一、第二弧形彎管之間，以及第二弧形彎管與出氣管之間分別藉由一個(gè)冷阱管而兩兩連接在一起，各冷阱管內(nèi)設(shè)有一障板組，各障板組具有多數(shù)個(gè)相互并排的傾斜障板及一貼抵于各傾斜障板的冷卻水管，藉此，來(lái)自腔體內(nèi)的蒸氣在通過(guò)冷阱組件的過(guò)程中會(huì)順利凝結(jié)在各傾斜障板的表面，并能避免對(duì)第一弧形彎管及第二弧形彎管造成腐蝕損壞。
【專利說(shuō)明】用于真空鍍膜設(shè)備的冷凝裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明與真空鍍膜設(shè)備有關(guān)，特別是指一種用于真空鍍膜設(shè)備的冷凝裝置。

【背景技術(shù)】
[0002] 簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)，所謂的真空鍍膜是藉由一真空泵抽出腔體內(nèi)的殘余氣體，使腔體的內(nèi) 部維持真空狀態(tài)，接著把一待鍍物(例如基板）放到腔體內(nèi)，最后再將一蒸鍍?cè)?例如硒）加 熱至汽化升華的狀態(tài)，使蒸鍍?cè)吹臍怏w附著至待鍍物的表面而形成一層薄膜。
[0003] 然而，腔體內(nèi)的殘余氣體除了一般水蒸氣及其它高沸點(diǎn)蒸氣之外，同時(shí)也可能含 有些許的腐蝕性蒸氣，為了避免真空泵吸入過(guò)多的腐蝕性蒸氣而影響使用壽命，腔體與真 空泵之間通常會(huì)設(shè)置一冷阱組件（cold trap)，冷阱組件主要是利用低溫冷凝效應(yīng)來(lái)捕集 腔體內(nèi)的殘余氣體，使腔體內(nèi)具有良好的真空度。就冷阱組件的現(xiàn)有技術(shù)來(lái)說(shuō)，如美國(guó)公告 第6, 161，575號(hào)專利案所揭露的T型冷阱組件會(huì)影響蒸氣流通的順暢度，如此容易導(dǎo)致蒸 氣內(nèi)的固體粒子聚集在T型冷阱組件的內(nèi)部而產(chǎn)生局部腐蝕的現(xiàn)象。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 本發(fā)明的主要目的在于提供一種用于真空鍍膜設(shè)備的冷凝裝置，其能增加蒸氣流 通的順暢度，以提升捕集蒸氣的效率。
[0005] 為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明的冷凝裝置設(shè)置在一腔體與一真空泵之間，并且包含 有一連接該腔體的進(jìn)氣管、一連接該真空泵的出氣管，以及一介于該進(jìn)氣管與該出氣管之 間的冷阱組件。該冷阱組件具有一第一弧形彎管、一第二弧形彎管，以及三冷阱管，該第一 弧形彎管與該進(jìn)氣管之間、該第一、第二弧形彎管之間，以及該第二弧形彎管與該出氣管之 間分別藉由一該冷阱管而連接在一起，而且，該第一、第二弧形彎管之間具有相反的彎曲方 向，使得該第一、第二弧形彎管在連接之后形成一 S形通道，此外，該冷阱組件具有三障板 組，各個(gè)該障板組設(shè)于一該冷阱管內(nèi)且具有多數(shù)個(gè)呈并排設(shè)置且間隔排列的傾斜障板及一 冷卻水管，各個(gè)該冷卻水管具有多數(shù)條接觸段，各個(gè)該接觸段貼抵于一該傾斜障板的一側(cè) 面，用以提供降溫效果給各個(gè)該傾斜障板，使來(lái)自該腔體內(nèi)的蒸氣在碰到各個(gè)該傾斜障板 時(shí)會(huì)確實(shí)凝結(jié)在各個(gè)該傾斜障板的表面。
[0006] 藉此，本發(fā)明的冷凝裝置藉由該冷阱組件的第一、第二弧形彎管的設(shè)計(jì)，讓蒸氣能 夠順暢地從該進(jìn)氣管朝該出氣管的方向流動(dòng)而不易產(chǎn)生粒子沉積，同時(shí)藉由該冷阱組件的 多數(shù)個(gè)傾斜障板的并排設(shè)計(jì)，可以達(dá)到提升捕集蒸氣效率的目的。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0007] 圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)外觀示意圖。
[0008] 圖2為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)剖面示意圖。
[0009] 圖3為本發(fā)明的局部立體剖視圖，主要顯示傾斜障板與冷卻水管之間的關(guān)系。 [0010] 圖4為本發(fā)明的局部平面剖視圖，主要顯示傾斜障板與冷卻水管之間的關(guān)系。

【具體實(shí)施方式】
[0011] 請(qǐng)參閱圖1及2,本發(fā)明冷凝裝置10安裝于真空鍍膜設(shè)備的一腔體12與一真空 泵14之間，并且包含有一連接腔體12的進(jìn)氣管20、一連接真空泵14的出氣管30,以及一 位于進(jìn)氣管20與出氣管30之間的冷阱組件40。
[0012] 冷阱組件40具有一第一弧形彎管41及一第二弧形彎管42。第一弧形彎管41與 進(jìn)氣管20之間、第一、第二弧形彎管41、42之間，以及第二弧形彎管42與出氣管30之間分 別藉由一個(gè)冷阱管43而兩兩連接在一起，而且，第一、第二弧形彎管41、42之間具有相反的 彎曲方向，使得第一、第二弧形彎管41、42在連接之后形成一 S形通道。再者，冷阱組件40 具有六障板組44,該些障板組44兩兩成對(duì)地設(shè)于一個(gè)冷阱管43內(nèi)，并且分別具有多數(shù)個(gè)傾 斜障板45及一冷卻水管47,該些傾斜障板45沿著冷阱管43之徑向呈并排設(shè)置且間隔排 列，如圖第3及4所示，而且，兩障板組44的傾斜障板45之間呈鏡射對(duì)稱而具有相對(duì)的傾斜 方向，各冷卻水管47具有多數(shù)條相互平行的接觸段472與多數(shù)條相互平行的穿置段474,各 冷卻水管47的接觸段472貼抵于一個(gè)傾斜障板45的一側(cè)面，各冷卻水管47的穿置段474 連接在相鄰兩穿置段474之間且穿置于一個(gè)傾斜障板45內(nèi)，使得冷卻水在流經(jīng)各冷卻水管 47時(shí)能夠提供降溫效果給各傾斜障板45。此外，冷阱組件40更具有一液體回收管48,液體 回收管48的一端連接第二弧形彎管42,液體回收管48的另一端連接一液體回收裝置50。
[0013] 經(jīng)由上述結(jié)構(gòu)可知，腔體12內(nèi)的蒸氣會(huì)從進(jìn)氣管20依序通過(guò)冷阱組件40的第 一、第二弧形彎管41、42之后，接著再由出氣管30進(jìn)入真空泵14內(nèi)，在整個(gè)過(guò)程中，如圖2 所示，一旦蒸氣碰觸到冷阱組件40的傾斜障板45時(shí)，藉由各冷卻水管47提供給各傾斜障 板45的冷卻效果，使得蒸氣會(huì)在各傾斜障板45的傾斜表面凝結(jié)成液體，冷凝后的液體會(huì)再 沿著各傾斜障板45的傾斜表面流至第一、第二弧形彎管41、42內(nèi)，接著再沿著第一、第二弧 形彎管41、42的內(nèi)管壁流往液體回收管48,最后再經(jīng)由液體回收管48流至液體回收裝置 50進(jìn)行后續(xù)處理。
[0014] 綜上所陳，本發(fā)明的冷凝裝置10藉由冷阱組件40的第一、第二弧形彎管41、42的 設(shè)計(jì)，使蒸氣的流動(dòng)順暢度可以大為提升而不易產(chǎn)生粒子沉積，以避免腐蝕性蒸氣對(duì)冷阱 組件40造成結(jié)構(gòu)上的損壞，另外同時(shí)藉由冷阱組件40的各傾斜障板45的并排間隔配置， 可以有效提升捕集蒸氣的效率，以達(dá)到本發(fā)明的目的。
【權(quán)利要求】
1. 一種用于真空鍍膜設(shè)備的冷凝裝置，其特征在于，該真空鍍膜設(shè)備包含有一腔體及 一真空泵，該冷凝裝置包含有 ： 一進(jìn)氣管，用以連接該腔體； 一出氣管，用以連接該真空泵；以及 一冷阱組件，位于該進(jìn)氣管與該出氣管之間，并且具有一第一弧形彎管、一第二弧形彎 管、三冷阱管及至少三障板組，該第一弧形彎管與該進(jìn)氣管之間、該第一、第二弧形彎管之 間及該第二弧形彎管與該出氣管之間分別藉由一該冷阱管而連接在一起，且該第一、第二 弧形彎管之間具有相反的彎曲方向，各該冷阱管內(nèi)設(shè)有至少一該障板組，各該障板組具有 多數(shù)個(gè)呈并排設(shè)置且間隔排列的傾斜障板及一冷卻水管，該冷卻水管具有多數(shù)條接觸段， 各個(gè)接觸段貼抵于一該傾斜障板的一側(cè)面。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于真空鍍膜設(shè)備的冷凝裝置，其特征在于，各個(gè)該冷阱管 內(nèi)設(shè)有二該障板組，該二障板組的傾斜障板之間呈鏡射對(duì)稱。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于真空鍍膜設(shè)備的冷凝裝置，其特征在于，該冷卻水 管更具有多數(shù)條穿置段，各個(gè)該穿置段連接于相鄰兩該接觸段之間且穿置于一該傾斜障板 內(nèi)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于真空鍍膜設(shè)備的冷凝裝置，其特征在于，該多數(shù)個(gè)傾斜 障板沿著該冷阱管的徑向依序排列。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于真空鍍膜設(shè)備的冷凝裝置，其特征在于，該冷阱組件更 具有一液體回收管，該液體回收管連接該第二弧形彎管。
【文檔編號(hào)】C23C14/56GK104152860SQ201310179155
【公開日】2014年11月19日 申請(qǐng)日期:2013年5月13日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月13日
【發(fā)明者】黃世壬, 廖科峰, 趙亨文, 賴文波, 任常寶, 陳官璧, 汪宇炎, 曾昭隆 申請(qǐng)人:生陽(yáng)新材料科技（寧波）有限公司