Mocvd自動控制器的制造方法
【專利摘要】MOCVD自動控制器，由權(quán)限控管模塊、資料收集模塊、控制接口、設(shè)備接口、外部控制器、MOCVD設(shè)備、命令執(zhí)行模塊、集成面板、程序控制模塊組成，其特征是集成面板的一端上側(cè)設(shè)置控制接口，控制接口的下側(cè)設(shè)置設(shè)備接口，集成面板的一側(cè)上部設(shè)置資料收集模塊，集成面板的一側(cè)下部設(shè)置程序控制模塊，集成面板的另一側(cè)上部設(shè)置權(quán)限控管模塊，集成面板的另一側(cè)下部設(shè)置命令執(zhí)行模塊，外部控制器通過饋線與控制接口相連接，MOCVD設(shè)備通過饋線與設(shè)備接口相連接，本發(fā)明的有益效果是MOCVD自動控制器開發(fā)成本較低，控制精度較高，系統(tǒng)控制的相關(guān)功能能夠適應(yīng)生產(chǎn)要求。
【專利說明】MOCVD自動控制器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于晶體生長設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，更具體的說是一種MOCVD自動控制器。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，MOCVD的自動化需通過開發(fā)者的半導(dǎo)體通訊協(xié)定SECS與上層系統(tǒng)進行通訊，相關(guān)的功能開發(fā)與維護費用相當(dāng)龐大，開發(fā)成本較高，現(xiàn)有技術(shù)的自動化控制系統(tǒng)層級繁多，問題厘清較困難，MOCVD設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計較獨立，與生產(chǎn)系統(tǒng)無法溝通，無法串連相關(guān)生產(chǎn)資訊，且現(xiàn)有MOCVD自動化控制技術(shù)的較不成熟，無法確切地解決生產(chǎn)的根本問題，使MOCVD自動化遇到了發(fā)展的瓶頸。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為了解決上述問題，本發(fā)明提供了一種開發(fā)成本較低、控制精度較高、系統(tǒng)控制的相關(guān)功能能夠適應(yīng)生產(chǎn)要求的MOCVD自動控制器，其具體方案為:所述的MOCVD自動控制器由權(quán)限控管模塊、資料收集模塊、控制接□、設(shè)備接□、外部控制器、MOCVD設(shè)備、命令執(zhí)行模塊、集成面板、程序控制模塊組成，其特征是集成面板的一端上側(cè)設(shè)置控制接口，控制接口的下側(cè)設(shè)置設(shè)備接口，集成面板的一側(cè)上部設(shè)置資料收集模塊，集成面板的一側(cè)下部設(shè)置程序控制模塊，集成面板的另一側(cè)上部設(shè)置權(quán)限控管模塊，集成面板的另一側(cè)下部設(shè)置命令執(zhí)行模塊，外部控制器通過饋線與控制接口相連接，MOCVD設(shè)備通過饋線與設(shè)備接口相連接。
[0004]本發(fā)明所述的權(quán)限控管模塊，其特征在于權(quán)限控管模塊與資料收集模塊通過數(shù)據(jù)線相連接，控管作業(yè)程序加密數(shù)據(jù)，對數(shù)據(jù)進行加密儲存和解密卸載。
[0005]本發(fā)明所述的資料收集模塊，其特征在于資料收集模塊與程序控制模塊通過數(shù)據(jù)線相連接，通過程序控制模塊收集、傳輸MOCVD設(shè)備的相關(guān)數(shù)據(jù)資料。
[0006]本發(fā)明所述的命令執(zhí)行模塊，其特征在于命令執(zhí)行模塊與程序控制模塊通過數(shù)據(jù)線相連接，將作業(yè)程序數(shù)據(jù)傳入程序控制模塊。
[0007]本發(fā)明所述的程序控制模塊，其特征在于程序控制模塊與資料收集模塊通過數(shù)據(jù)線相連接，通過資料收集模塊獲取MOCVD設(shè)備的數(shù)據(jù)，結(jié)合命令執(zhí)行模塊選擇的作業(yè)程序驅(qū)動MOCVD設(shè)備作業(yè)。
[0008]本發(fā)明的有益效果是MOCVD自動控制器開發(fā)成本較低，控制精度較高，系統(tǒng)控制的相關(guān)功能能夠適應(yīng)生產(chǎn)要求。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]附圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；附圖1中:
1.權(quán)限控管模塊，2.資料收集模塊，3.控制接口，4.設(shè)備接口，5.外部控制器，6.MOCVD設(shè)備，7.命令執(zhí)行模塊，8.集成面板，9.程序控制模塊。【具體實施方式】
[0010]結(jié)合附圖1對本發(fā)明進一步詳細描述，以便公眾更好地掌握本發(fā)明的實施方法，本發(fā)明具體的實施方案為:所述的MOCVD自動控制器由權(quán)限控管模塊1、資料收集模塊2、控制接口 3、設(shè)備接口 4、外部控制器5、MOCVD設(shè)備6、命令執(zhí)行模塊7、集成面板8、程序控制模塊9組成，其特征是集成面板8的一端上側(cè)設(shè)置控制接口 3，控制接口 3的下側(cè)設(shè)置設(shè)備接口 4，集成面板8的一側(cè)上部設(shè)置資料收集模塊2，集成面板8的一側(cè)下部設(shè)置程序控制模塊9，集成面板8的另一側(cè)上部設(shè)置權(quán)限控管模塊1，集成面板8的另一側(cè)下部設(shè)置命令執(zhí)行模塊7，外部控制器5通過饋線與控制接口 3相連接，MOCVD設(shè)備6通過饋線與設(shè)備接口 4相連接。
[0011]本發(fā)明所述的權(quán)限控管模塊1，其特征在于權(quán)限控管模塊I與資料收集模塊2通過數(shù)據(jù)線相連接，控管作業(yè)程序加密數(shù)據(jù)，對數(shù)據(jù)進行加密儲存和解密卸載。
[0012]本發(fā)明所述的資料收集模塊2，其特征在于資料收集模塊2與程序控制模塊9通過數(shù)據(jù)線相連接，通過程序控制模塊9收集、傳輸MOCVD設(shè)備6的相關(guān)數(shù)據(jù)資料。
[0013]本發(fā)明所述的命令執(zhí)行模塊7，其特征在于命令執(zhí)行模塊7與程序控制模塊9通過數(shù)據(jù)線相連接，將作業(yè)程序數(shù)據(jù)傳入程序控制模塊9。
[0014]本發(fā)明所述的程序控制模塊9，其特征在于程序控制模塊9與資料收集模塊2通過數(shù)據(jù)線相連接，通過資料收集模塊2獲取MOCVD設(shè)備6的數(shù)據(jù)，結(jié)合命令執(zhí)行模塊7選擇的作業(yè)程序驅(qū)動MOCVD設(shè)備6作業(yè)。
[0015]本發(fā)明的有益效果是MOCVD自動控制器開發(fā)成本較低，控制精度較高，系統(tǒng)控制的相關(guān)功能能夠適應(yīng)生產(chǎn)要 求。
【權(quán)利要求】
1.MOCVD自動控制器，由權(quán)限控管模塊(I)、資料收集模塊(2 )、控制接口( 3 )、設(shè)備接口(4)、外部控制器(5)、MOCVD設(shè)備(6)、命令執(zhí)行模塊(7)、集成面板(8)、程序控制模塊(9)組成，其特征是集成面板(8)的一端上側(cè)設(shè)置控制接口(3)，控制接口(3)的下側(cè)設(shè)置設(shè)備接口(4)，集成面板(8)的一側(cè)上部設(shè)置資料收集模塊(2)，集成面板(8)的一側(cè)下部設(shè)置程序控制模塊(9)，集成面板(8)的另一側(cè)上部設(shè)置權(quán)限控管模塊(1)，集成面板(8)的另一側(cè)下部設(shè)置命令執(zhí)行模塊(7)，外部控制器(5)通過饋線與控制接口(3)相連接，MOCVD設(shè)備(6)通過饋線與設(shè)備接口(4)相連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MOCVD自動控制器，其特征在于權(quán)限控管模塊(I)與資料收集模塊(2 )通過數(shù)據(jù)線相連接，控管作業(yè)程序加密數(shù)據(jù)，對數(shù)據(jù)進行加密儲存和解密卸載。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MOCVD自動控制器，其特征在于資料收集模塊(2)與程序控制模塊(9)通過數(shù)據(jù)線相連接，通過程序控制模塊(9)收集、傳輸MOCVD設(shè)備(6)的相關(guān)數(shù)據(jù)資料。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MOCVD自動控制器，其特征在于命令執(zhí)行模塊(7)與程序控制模塊(9 )通過數(shù)據(jù) 線相連接，將作業(yè)程序數(shù)據(jù)傳入程序控制模塊(9 )。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MOCVD自動控制器，其特征在于程序控制模塊(9)與資料收集模塊(2)通過數(shù)據(jù)線相連接，通過資料收集模塊(2)獲取MOCVD設(shè)備(6)的數(shù)據(jù)，結(jié)合命令執(zhí)行模塊(7)選擇的作業(yè)程序驅(qū)動MOCVD設(shè)備(6)作業(yè)。
【文檔編號】C23C16/18GK103451629SQ201310408518
【公開日】2013年12月18日 申請日期:2013年9月10日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月10日
【發(fā)明者】葉益修, 鄧順達, 林溪漢 申請人:冠銓（山東）光電科技有限公司