磨削裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種磨削裝置，在使高度計(jì)的測(cè)量件與板狀工件接觸來進(jìn)行板狀工件的厚度測(cè)量的磨削裝置中，防止磨粒侵入測(cè)量件與板狀工件之間而與磨削條件無關(guān)。磨削裝置具有保護(hù)高度計(jì)（5）的測(cè)量件（52）的測(cè)量件保護(hù)部（6），測(cè)量件保護(hù)部（6）具有：具有使測(cè)量件（52）通過的通過孔的配液板（56），在配液板（56）中具有在下表面開口的放液口（58），通過從放液口（58）放出清洗液，通過清洗液（7）圍繞測(cè)量件（52）的周圍，清洗液（7）能夠阻止磨粒等附著物與磨削液一起流向測(cè)量件（52），能夠防止磨粒等附著物進(jìn)入測(cè)量件（52）和板狀工件（W）之間。
【專利說明】磨削裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及磨削板狀工件的磨削裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在磨削板狀工件的磨削裝置中，在卡盤工作臺(tái)上保持板狀工件，將磨削液供給到板狀工件同時(shí)使旋轉(zhuǎn)的磨削磨具與該板狀工件接觸，由此磨削板狀工件的上表面。
[0003]磨削中，使高度計(jì)的第I測(cè)量件與保持在卡盤工作臺(tái)上的板狀工件的上表面接觸，從而測(cè)量出該板狀工件的上表面的高度，并且使高度計(jì)的第2測(cè)量件與卡盤工作臺(tái)的上表面接觸，從而測(cè)量出卡盤工作臺(tái)的上表面的高度，通過算出板狀工件上表面的高度與卡盤工作臺(tái)上表面的高度的差，從而識(shí)別出磨削中的板狀工件的厚度(例如參照專利文獻(xiàn)I)。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本特開2009-023057號(hào)公報(bào)
[0006]但是，磨削中存在這樣的問題:由于構(gòu)成磨削磨具的磨粒脫落而下落至板狀工件上，另一方面第I高度計(jì)的測(cè)量件持續(xù)與板狀工件的上表面接觸，所以脫落的磨粒會(huì)進(jìn)入第I高度計(jì)的測(cè)量件與板狀工件上表面之間，從而板狀工件的厚度測(cè)量產(chǎn)生誤差，并且對(duì)板狀工件造成損傷。
[0007]從磨削磨具脫落的磨粒的大部分被磨削液從板狀工件上表面除去，其中上述磨削液是在磨削中針對(duì)板狀工件上表面與磨削磨具的接觸部位供給的磨削液，但是若磨粒進(jìn)入第I測(cè)量件與板狀工件上表面之間，則很難通過磨削液除去該磨粒。
[0008]另一方面，可以向第I測(cè)量件與板狀工件上表面接觸的部分噴出清洗液以使含有磨粒的磨削液不進(jìn)入該接觸部分，但是存在這樣的問題:當(dāng)磨削條件變更時(shí)不得不對(duì)清洗液的噴出方向進(jìn)行調(diào)整。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0009]本發(fā)明是鑒于這樣的問題而完成的發(fā)明，其目的在于，防止磨粒侵入高度計(jì)的測(cè)量件與板狀工件之間而與磨削條件無關(guān)。
[0010]本發(fā)明的磨削裝置至少具有:卡盤工作臺(tái)，其具有保持板狀工件的下表面的保持面；磨削構(gòu)件，其對(duì)卡盤工作臺(tái)所保持的板狀工件進(jìn)行磨削；磨削液供給構(gòu)件，其在利用磨削構(gòu)件磨削板狀工件時(shí)向板狀工件供給磨削液；以及高度計(jì)，其使測(cè)量件與通過磨削構(gòu)件被磨削的板狀工件的上表面接觸，測(cè)量出板狀工件的上表面高度，上述磨削裝置的特征在于，在上述卡盤工作臺(tái)的上方具有保護(hù)上述測(cè)量件的測(cè)量件保護(hù)部，測(cè)量件保護(hù)部由以下部分構(gòu)成:配液板，其具有使測(cè)量件通過的通過孔；環(huán)狀的配液路，其配設(shè)于配液板的內(nèi)部；放液口，其從配液路向配液板的下表面開口，在通過孔的周圍至少形成有3個(gè)該放液口 ；以及供給口，其與將清洗液供給到配液路的供給源連接，使配液板的下表面與卡盤工作臺(tái)的上表面在平行的狀態(tài)下面對(duì)面，使從供給口供給的清洗液從放液口放出，防止附著物附著在測(cè)量件的末端。
[0011]發(fā)明效果
[0012]本發(fā)明的磨削裝置具有保護(hù)高度計(jì)的測(cè)量件的測(cè)量件保護(hù)部，測(cè)量件保護(hù)部具有配液板，該配液板具有使測(cè)量件通過的通過孔，在配液板具有在下表面開口的放液口，因此，通過從放液口放出清洗液，能夠由清洗液圍繞測(cè)量件的周圍。因此，由于清洗液能夠阻止磨粒等附著物與磨削液一起流向測(cè)量件，所以能夠防止磨粒等附著物進(jìn)入測(cè)量件和板狀工件之間。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0013]圖1是表示 磨削裝置的一個(gè)示例的立體圖。
[0014]圖2是表示測(cè)量件保護(hù)部的結(jié)構(gòu)的剖視圖。
[0015]圖3是表示測(cè)量件保護(hù)部的結(jié)構(gòu)的俯視圖。
[0016]圖4是表示磨削被加工物并且保護(hù)高度計(jì)的測(cè)量件的狀態(tài)的剖視圖。
[0017]標(biāo)號(hào)說明
[0018]1:磨削裝置
[0019]A:磨削區(qū)域B:裝卸區(qū)域
[0020]2:卡盤工作臺(tái)
[0021]20:吸引部200:保持面
[0022]21:框體210:上表面
[0023]3:磨削構(gòu)件
[0024]30:旋轉(zhuǎn)軸31:馬達(dá)32:底座33:磨削輪34:磨削磨具35:流路36 --磨削液供給構(gòu)件
[0025]4:磨削進(jìn)給構(gòu)件
[0026]40:滾珠絲杠41:導(dǎo)軌42:馬達(dá)43:升降部44:保持架44
[0027]5:高度計(jì)50:基部51:第I測(cè)量件52:第2測(cè)量件
[0028]53:支撐軸530:下垂部531:水平板
[0029]54、55:臂部
[0030]6:測(cè)量件保護(hù)部
[0031]56:配液板561、562:通過孔
[0032]57:配液路58:放液口 59:供給口 60:清洗液供給源
[0033]7:清洗液層
【具體實(shí)施方式】
[0034]圖1所示的磨削裝置I具有:卡盤工作臺(tái)2，其用于保持作為磨削對(duì)象的板狀工件W ;以及磨削構(gòu)件3，其用于對(duì)保持在卡盤工作臺(tái)2上的板狀工件W進(jìn)行磨削。
[0035]卡盤工作臺(tái)2能夠旋轉(zhuǎn)，并且能夠在前后方向(Y軸方向)移動(dòng)，通過Y軸方向的移動(dòng)，卡盤工作臺(tái)2能夠在進(jìn)行板狀工件W的磨削的區(qū)域即磨削區(qū)域A、與進(jìn)行板狀工件W的相對(duì)于卡盤工作臺(tái)2的裝卸的區(qū)域即裝卸區(qū)域B之間移動(dòng)。
[0036]卡盤工作臺(tái)2由以下部分構(gòu)成:吸引部20，其由多孔部件形成；以及框體21，其從周圍支撐吸引部20。吸引部20的上表面成為保持板狀工件W的下表面的保持面200，保持面200與框體21的上表面210形成為處于同一平面。
[0037]磨削構(gòu)件3由以下部分構(gòu)成:旋轉(zhuǎn)軸30，其具有鉛直方向(Z軸方向)的軸心；馬達(dá)31，其旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸30 ;底座32，其與旋轉(zhuǎn)軸30的下端連接；以及磨削輪33，其固定在底座32的下表面。在磨削輪33的下表面呈環(huán)狀地緊固有多個(gè)磨削磨具34。另外，旋轉(zhuǎn)軸30中形成有使磨削液流通的流路35，流路35在磨削輪33中向下方開口，并且與成為液源的磨削液供給構(gòu)件36連接。
[0038]磨削構(gòu)件3被支撐為通過磨削進(jìn)給構(gòu)件4能夠在Z軸方向升降。磨削進(jìn)給構(gòu)件4設(shè)置于從裝置基座10立設(shè)的支柱11的側(cè)面，并且由以下部分構(gòu)成:滾珠絲杠40，其具有Z軸方向的軸心；一對(duì)導(dǎo)軌41，其與滾珠絲杠40平行地配設(shè)；馬達(dá)42，其與滾珠絲杠40的上端連接；升降部43，其與導(dǎo)軌41滑動(dòng)接觸并且內(nèi)部的螺母結(jié)構(gòu)與滾珠絲杠40螺合；以及保持架44，其與升降部43連接并保持磨削構(gòu)件3。磨削進(jìn)給構(gòu)件4為這樣的結(jié)構(gòu):馬達(dá)42使?jié)L珠絲杠40旋轉(zhuǎn)，由此升降部43以及保持架44由導(dǎo)軌41引導(dǎo)著升降。并且，為這樣的結(jié)構(gòu):通過使升降部43以及保持架44升降，由保持架44保持的磨削構(gòu)件3也升降，相對(duì)于保持工作臺(tái)2接近以及遠(yuǎn)尚。
[0039]在磨削區(qū)域A中配設(shè)有測(cè)量板狀工件W的上表面的高度的高度計(jì)5。高度計(jì)5具有:從裝置基座10向上方突出的基部50、和在水平方向延伸且一端固定在基部50的上端中心部的支撐軸53。如圖2所示，在支撐軸53上形成有向下方彎曲且下垂的下垂部530，另外，在支撐軸53上還形成有從下垂部530的下端彎曲且在水平方向上延伸的水平板531。
[0040]如圖1所示，在支撐軸53的兩側(cè)，2個(gè)臂部54、55在水平方向延伸，第I測(cè)量件51以及第2測(cè)量件52分別以下垂的狀態(tài)支撐在2個(gè)臂部54、55的末端。
[0041]如圖2所示，在構(gòu)成支撐軸53的水平板531的下部固定有配液板56。如圖2以及圖3所示，在配液板56中形成有貫穿上下方向的圓形的2個(gè)通過孔561、562，第I測(cè)量件51從通過孔561的中心貫穿通過，第2測(cè)量件52從通過孔562的中心貫穿通過。
[0042]如圖2所示，在配液板56的內(nèi)部形成有環(huán)狀的配液路57。在配液路57的下部形成有多個(gè)在配液板56的下表面開口的放液口 58。如圖3所示，在通過孔561、562的周圍至少形成有3個(gè)放液口 58。配液板56的下表面560與卡盤工作臺(tái)2的吸引部20的上表面即保持面200大致平行。
[0043]如圖2所示，配液路57與在配液板56的上表面開口的供給口 59連通，供給口 59與用于貯存清洗液并供給到配液路57的清洗液供給源60連接。
[0044]從供給源60供給到配液路57的清洗液被從放液口 58向下方放出，包圍第I測(cè)量件51以及第2測(cè)量件52的周圍。因此，配液板56、配液路57、放液口 58以及供給口 59在卡盤工作臺(tái)2的上方作為保護(hù)第2測(cè)量件52的測(cè)量件保護(hù)部6發(fā)揮功能。另外，第I測(cè)量件51的周圍也可以不配設(shè)測(cè)量保護(hù)部。
[0045]在圖1所示的磨削裝置I中，在位于裝卸區(qū)域B的卡盤工作臺(tái)2的保持面200上吸引保持板狀工件W的下表面。并且，使卡盤工作臺(tái)2移動(dòng)到磨削區(qū)域A。
[0046]接下來，旋轉(zhuǎn)卡盤工作臺(tái)2而使板狀工件W旋轉(zhuǎn)，并且使磨削輪33旋轉(zhuǎn)同時(shí)由磨削進(jìn)給構(gòu)件4使磨削構(gòu)件3下降,使旋轉(zhuǎn)的磨削磨具34與板狀工件W的上表面Wl接觸從而對(duì)上表面Wl進(jìn)行磨削。此時(shí)，如圖4所示，使磨削磨具34只與板狀工件W的上表面Wl的半徑部分接觸來進(jìn)行磨削，使高度計(jì)5的第2測(cè)量件52與板狀工件W的上表面Wl中的不與磨削磨具34接觸的部分接觸。另外，磨削中，使從磨削液供給構(gòu)件36供給的磨削液從磨削輪33流出，并供給到板狀工件和磨削磨具34的接觸部位。
[0047]另外，雖為圖示，但是如圖1所示，高度計(jì)5的第I測(cè)量件51與卡盤工作臺(tái)2的框體21的上表面210接觸。并且，第I測(cè)量件51的Z軸方向的高度位置、與第2測(cè)量件52的Z軸方向的高度位置的差被識(shí)別為板狀工件W的厚度，根據(jù)這樣的識(shí)別結(jié)果，進(jìn)行磨削進(jìn)給構(gòu)件4對(duì)磨削構(gòu)件3的控制。
[0048]磨削中，使配液板56的下表面與卡盤工作臺(tái)2的保持面200在大致平行的狀態(tài)下面對(duì)面，通過使從供給口 59供給的清洗液持續(xù)從圖2所示的放液口 58放出，在第2測(cè)量件52的周圍形成清洗液層7，并阻止從磨削磨具34脫落的磨?；蚰ハ饕毫飨虻?測(cè)量件52。通過像這樣形成清洗液層7并圍繞第2測(cè)量件52，能夠防止磨粒夾在第2測(cè)量件52與板狀工件W的上表面Wl之間，從而能夠保護(hù)第2測(cè)量件。因此，能夠確保板狀工件W的厚度測(cè)量的精度，并且能夠防止對(duì)板狀工件W造成損傷。
【權(quán)利要求】
1.一種磨削裝置，至少具有: 卡盤工作臺(tái)，其具有保持板狀工件的下表面的保持面； 磨削構(gòu)件，其對(duì)上述卡盤工作臺(tái)所保持的板狀工件進(jìn)行磨削； 磨削液供給構(gòu)件，其在利用上述磨削構(gòu)件磨削板狀工件時(shí)向上述板狀工件供給磨削液；以及 高度計(jì)，其使測(cè)量件與通過上述磨削構(gòu)件被磨削的板狀工件的上表面接觸，測(cè)量出上述板狀工件的上表面高度， 上述磨削裝置的特征在于， 在上述卡盤工作臺(tái)的上方具有保護(hù)上述測(cè)量件的測(cè)量件保護(hù)部， 上述測(cè)量件保護(hù)部由以下部分構(gòu)成: 配液板，其具有使上述測(cè)量件通過的通過孔； 環(huán)狀的配液路，其配設(shè)于上述配液板的內(nèi)部； 放液口，其從上述配液路向上述配液板的下表面開口，在上述通過孔的周圍至少形成有3個(gè)該放液口 ；以及 供給口，其與將清洗液供給到上述配液路的供給源連接， 使上述配液板的下表面與上述卡盤工作臺(tái)的上表面在大致平行的狀態(tài)下面對(duì)面，使從上述供給口供給的清洗液從上述放液口放出，防止附著物附著在上述測(cè)量件的末端。
【文檔編號(hào)】B24B55/00GK103722494SQ201310445478
【公開日】2014年4月16日 申請(qǐng)日期:2013年9月26日 優(yōu)先權(quán)日:2012年10月16日
【發(fā)明者】宮本弘樹 申請(qǐng)人:株式會(huì)社迪思科