一種氣體混合器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開一種氣體混合器。該氣體混合器包括第一空心球和第二空心球，在所述第一空心球的一側(cè)設(shè)有第一進(jìn)氣管和至少一個(gè)第二進(jìn)氣管，所述第一進(jìn)氣管的末端處于第一空心球的出氣口處；所述第一空心球的出氣口與所述第二空心球的進(jìn)氣口通過管道連接；所述第二空心球的出氣口方向與第二空心球的進(jìn)氣口方向保持一定的夾角。采用本發(fā)明的氣體混合器可以實(shí)現(xiàn)氣體的快速充分混合，混合氣體濃度不易產(chǎn)生波動(dòng)，混合氣體的質(zhì)量穩(wěn)定可靠，有效地提高和控制半導(dǎo)體生長質(zhì)量。
【專利說明】一種氣體混合器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于氣體反應(yīng)裝置領(lǐng)域，具體涉及一種氣體混合器。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體行業(yè)中，氣相沉積法是制備半導(dǎo)體薄膜材料常用的方法，進(jìn)行生長時(shí)所用的氣體通常由載氣和多種反應(yīng)氣組成，現(xiàn)有導(dǎo)入氣體的方式通常是將各氣體的進(jìn)氣管分別直接通入反應(yīng)室，由于各氣體的流速并不相同，進(jìn)氣壓力也不同，使得流量大的進(jìn)氣會(huì)對流量較小的進(jìn)氣產(chǎn)生一定的擠壓作用，而氣體在反應(yīng)室停留時(shí)間非常短，使得多種氣體在反應(yīng)室無法充分混合，導(dǎo)致氣體在反應(yīng)室的濃度出現(xiàn)波動(dòng)，影響半導(dǎo)體薄膜生長質(zhì)量。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是針對現(xiàn)的氣相沉積法入氣混合不均勻的問題，提供一種氣體混合器。
[0004]本發(fā)明實(shí)現(xiàn)上述目的所采用的技術(shù)方案如下:
一種氣體混合器，包括第一空心球和第二空心球，
在所述第一空心球的一側(cè)設(shè)有第一進(jìn)氣管和至少一個(gè)第二進(jìn)氣管，所述第一進(jìn)氣管的末端處于第一空心球的出氣口處；
所述第一空心球的出氣口與所述第二空心球的進(jìn)氣口通過管道連接；
所述第二空心球的出氣口方向與第二空心球的進(jìn)氣口方向保持一定的夾角。
[0005]進(jìn)一步，所述第一空心球與第二空心球的直徑比為(I~1.5):1。
[0006]進(jìn)一步，所述第一進(jìn)氣管與第二進(jìn)氣管之間的夾角為20~80度。
[0007]更進(jìn)一步，所述第一進(jìn)氣管與第二進(jìn)氣管之間的夾角為50~60度。
[0008]進(jìn)一步，所述第一進(jìn)氣管末段呈收縮狀。
[0009]更進(jìn)一步，所述第一進(jìn)氣管末段為錐狀管。
[0010]進(jìn)一步，所述第二空心球的出氣口方向與第二空心球的進(jìn)氣口方向的夾角為90~150度。
[0011 ] 更進(jìn)一步，所述第二空心球的出氣口方向與第二空心球的進(jìn)氣口方向的夾角為120 度。
[0012]進(jìn)一步，所述第一空心球設(shè)有2~3個(gè)第二進(jìn)氣管。
[0013]采用本發(fā)明的氣體混合器可以實(shí)現(xiàn)氣體的快速充分混合，混合氣體濃度不易產(chǎn)生波動(dòng)，混合氣體的質(zhì)量穩(wěn)定可靠，有效地提高和控制半導(dǎo)體生長質(zhì)量。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1為本發(fā)明氣體混合器的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】[0015]以下結(jié)合附圖對本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行說明，應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的優(yōu)選實(shí)施例僅用于說明和解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。
[0016]實(shí)施例1
如圖1所示，所述氣體混合器包括第一空心球3和第二空心球4，第一空心球3與第二空心球4的直徑比為1.2:1。在第一空心球3的一側(cè)設(shè)有第一進(jìn)氣管I和兩個(gè)第二進(jìn)氣管2，其中，第一進(jìn)氣管I的末段伸入至第一空心球3的內(nèi)部，并且使第一進(jìn)氣管I的末端處在第一空心球3的出氣口處。第一進(jìn)氣管I末段優(yōu)選呈收縮狀，如為錐狀管，這樣有利于進(jìn)一步提高該進(jìn)氣管內(nèi)氣體出氣時(shí)的流速，而兩個(gè)第二進(jìn)氣管2分別與第一進(jìn)氣管I之間保持60度的夾角。第一空心球3的出氣口通過管道6與第二空心球4的進(jìn)氣口連接，在第二空心球4的另一側(cè)設(shè)置出氣口，并使第二空心球4的出氣口方向與第二空心球4的進(jìn)氣口方向保持120度的夾角。第二進(jìn)氣管2的數(shù)量可根據(jù)實(shí)際反應(yīng)用氣種類的多少來確定。
[0017]使用時(shí)，將氣體混合器分別與氣源和反應(yīng)裝置連接，其中，流量最大的氣體(在通常情況下該氣體為載氣)從第一進(jìn)氣管I進(jìn)入，而其它流量相對較小的氣體則分別從第二進(jìn)氣管2進(jìn)入，流量最大的氣體由第一進(jìn)氣管I加速噴出后進(jìn)入第二空心球4，同時(shí)在第一空心球3球心產(chǎn)生一負(fù)壓，從而不會(huì)對第二進(jìn)氣管2的氣體產(chǎn)生擠壓，使第二進(jìn)所管2中的氣體順利進(jìn)入第一空心球3，各氣體進(jìn)入第二空心球4后，利用體積的突然變大，使氣體在第二空心球4混合，第二空心球4的出氣口與入氣口呈一定的夾角，避免進(jìn)入第二空心球4的氣流直接對著出氣口，這樣，氣體在第二空心球4內(nèi)能形成一定的旋流，氣體混合充分、均勻?；旌蠚怏w再由連接在第二空心球4出氣口上的出氣管5排出并進(jìn)入反應(yīng)裝置。
[0018]最后應(yīng)說明的是:以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，盡管參照前述實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說明，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，其依然可以對前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案 進(jìn)行修改，或者對其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種氣體混合器，包括第一空心球和第二空心球， 在所述第一空心球的一側(cè)設(shè)有第一進(jìn)氣管和至少一個(gè)第二進(jìn)氣管，所述第一進(jìn)氣管的末端處于第一空心球的出氣口處； 所述第一空心球的出氣口與所述第二空心球的進(jìn)氣口通過管道連接； 所述第二空心球的出氣口方向與第二空心球的進(jìn)氣口方向保持一定的夾角。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體混合器，其特征在于:所述第一空心球與第二空心球的直徑比為(1~1.5):1。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體混合器，其特征在于:所述第一進(jìn)氣管與第二進(jìn)氣管之間的夾角為20~80度。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的氣體混合器，其特征在于:所述第一進(jìn)氣管與第二進(jìn)氣管之間的夾角為50~60度。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體混合器，其特征在于:所述第一進(jìn)氣管末段呈收縮狀。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的氣體混合器，其特征在于:所述第一進(jìn)氣管末段為錐狀管。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體混合器，其特征在于:所述第二空心球的出氣口方向與第二空心球的進(jìn)氣口方向的夾角為90~150度。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的氣體混合器，其特征在于:所述第二空心球的出氣口方向與第二空心球的進(jìn)氣口方向的夾角為120度。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的氣體混合器，其特征在于:所述第一空心球設(shè)有2~3個(gè)第二進(jìn)氣管。
【文檔編號】C23C16/455GK103510073SQ201310448853
【公開日】2014年1月15日 申請日期:2013年9月28日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月28日
【發(fā)明者】劉耀峰, 潘振東 申請人:無錫榮能半導(dǎo)體材料有限公司