一種纖維磁控濺射連續(xù)鍍金屬導(dǎo)電功能薄膜的裝置和方法
【專利摘要】一種纖維磁控濺射連續(xù)鍍金屬導(dǎo)電功能薄膜的裝置和方法屬于真空鍍膜領(lǐng)域。將纖維絲線纏繞在放卷裝置上，然后放入真空室內(nèi)進行走絲，由放卷裝置放出的纖維絲線多次且平行的通過等離子體清洗裝置進行清洗、粗化，清洗后的纖維絲線多次且平行的通過等離子體輔助鍍膜裝置和矩形磁控濺射靶進行鍍膜，完成鍍膜的纖維絲線收于收卷裝置完成鍍膜。等離子體清洗裝置進行清洗和表面粗化時所通氣體為氧氣和氬氣混合氣體，分解纖維上面的油性物質(zhì)，同時對纖維表面進行粗化處理以增加薄膜的附著力。等離子體輔助裝置的作用是通過離子轟擊增強薄膜的附著力。本發(fā)明解決了現(xiàn)有技術(shù)的污染，運行成本高，附著力差等缺點，具有鍍層均勻，無雜質(zhì)，附著力高等優(yōu)點。
【專利說明】一種纖維磁控濺射連續(xù)鍍金屬導(dǎo)電功能薄膜的裝置和方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及到纖維真空鍍膜【技術(shù)領(lǐng)域】和等離子體放電領(lǐng)域，提供一種利用等離子體磁控濺射技術(shù)生產(chǎn)高性能導(dǎo)電纖維的裝置和工藝方法，在普通非導(dǎo)電纖維表面鍍金屬膜層，在纖維表面形成結(jié)合良好的金屬膜層，從而使纖維具有良好的導(dǎo)電性能。
【背景技術(shù)】
[0002]柔性電子器件是將電子功能單元沉積在柔性基板上形成電路的技術(shù)。與傳統(tǒng)的電子器件相比較，柔性電子器件具有便攜性、透明、輕質(zhì)、伸展/彎曲，以及易于快速大面積打印等特點，產(chǎn)生了許多新的應(yīng)用:如柔性顯示器、薄膜太陽能電池、大面積傳感器和驅(qū)動器
坐寸ο
[0003]但是傳統(tǒng)硅基電子器件基材一般性都是脆性材料。這就需要選擇具有柔韌性能良好、易于伸展/彎曲、輕質(zhì)、且具有高的拉伸/彎曲強度的材料作為柔性器件的基材。
[0004]高性能化學(xué)纖維具有高強度、便攜性、透明、輕質(zhì)、易于伸展/彎曲，以及易于快速大面積編織等等特點，是重要的柔性器件基材選擇之一。
[0005]但是化學(xué)纖維均為不導(dǎo)電材料，其電阻率均在101?Ω.cm以上。
[0006]在纖維表面鍍制金屬涂層可以增加化纖的導(dǎo)電功能，如鍍銀導(dǎo)電纖維。目前導(dǎo)電纖維的制備方法主要有化學(xué) 鍍、電鍍和真空鍍?nèi)N。其中①化學(xué)鍍:采用化學(xué)品中的還原劑，使金屬離子還原沉積在基布表面形成金屬膜。其最大缺點是化學(xué)鍍生產(chǎn)過程中會產(chǎn)生含重金屬離子的污水，對環(huán)境污染嚴(yán)重。②電鍍:利用電流使溶液中的金屬離子還原，在被鍍纖維基材表面形成金屬膜。此工藝特點成膜效率高，但膜層致密性差，且不均勻。③真空鍍:在真空狀態(tài)下將金屬以原子或分子狀態(tài)在紡織材料表面上沉積堆砌成納米結(jié)構(gòu)金屬膜，實現(xiàn)紡織材料表面功能化。它包括:真空蒸鍍、真空電弧離子鍍和真空等離子體磁控濺射等3種方法。
[0007]與化學(xué)鍍和電鍍相比較，真空等離子體磁控濺射鍍膜是一種在真空狀態(tài)下干法鍍膜工藝，整個工藝過程無廢液排放等，屬于環(huán)保型綠色工藝，真空濺射鍍膜設(shè)備和裝置易于實現(xiàn)自動控制和大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)，其鍍膜設(shè)備、工藝、方法和技術(shù)已經(jīng)在半導(dǎo)體工業(yè)，微電子工業(yè)，太陽能發(fā)電等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。但是利用磁控濺射技術(shù)在柔性長絲纖維表面連續(xù)鍍金屬導(dǎo)電功能薄膜還未見相關(guān)公開的技術(shù)和報道。與傳統(tǒng)的磁控濺射技術(shù)相比較，在長絲纖維表面鍍金屬導(dǎo)電功能薄膜需要在高真空狀態(tài)下，纖維要連續(xù)卷繞通過磁控濺射等離子體區(qū)域，同時為了提高長絲鍍膜的均勻性和生產(chǎn)效率，在真空室內(nèi)長絲要實現(xiàn)連續(xù)纏繞和走絲運動，在磁控濺射靶面前端形成多根長絲平行排列，并能連續(xù)運動的機構(gòu)和裝置?；w表面油膜會降低金屬鍍層與纖維的結(jié)合力，在導(dǎo)電功能薄膜沉積前需要進行纖維表面除油處理，在導(dǎo)電功能薄膜沉積過程中需要等離子體輔助金屬粒子沉積在纖維表面增強結(jié)合力。

【發(fā)明內(nèi)容】
:[0008]針對現(xiàn)有技術(shù)的缺點和不足之處，本發(fā)明提供一種采用等離子體磁控濺射技術(shù)，通過真空鍍的方法對長絲纖維進行連續(xù)鍍金屬導(dǎo)電功能薄膜的裝置和方法。
[0009]一種纖維磁控濺射連續(xù)鍍金屬導(dǎo)電功能薄膜的裝置，其特征在于:
[0010]在磁控濺射鍍膜真空腔室內(nèi)設(shè)有卷繞裝置:包括磁控濺射靶、放卷裝置、導(dǎo)向裝置A、導(dǎo)向裝置B、導(dǎo)向裝置C、導(dǎo)向裝置D、收卷裝置和等離子體預(yù)清洗裝置、等離子體輔助鍍膜裝置、張力控制器、同軸固定法蘭、從動齒輪、主動齒輪、屏蔽板、纖維變位裝置；真空室外部設(shè)有驅(qū)動系統(tǒng):包括伺服電機、磁粉離合器；放卷裝置、導(dǎo)向裝置A、導(dǎo)向裝置B、導(dǎo)向裝置C、導(dǎo)向裝置D、收卷裝置安裝于5個旋轉(zhuǎn)桿上面，旋轉(zhuǎn)桿安裝在6個均布從動齒輪中的5個齒輪上，其中放卷裝置與導(dǎo)向裝置A安裝在同一選裝轉(zhuǎn)桿上，導(dǎo)向裝置A在放卷裝置上方；導(dǎo)向裝置B、導(dǎo)向裝置C、導(dǎo)向裝置D、收卷裝置分別位于一個旋轉(zhuǎn)桿上面，導(dǎo)向裝置C、導(dǎo)向裝置D所在的齒輪之間空出I個齒輪；6個從動齒輪通過同一個主動傳動齒輪帶動；同軸固定法蘭固定于真空室上方，分別與放卷裝置、導(dǎo)向裝置A、導(dǎo)向裝置B、導(dǎo)向裝置C、導(dǎo)向裝置D、收卷裝置的旋轉(zhuǎn)桿連接，連接處裝有耐磨銅套；磁粉離合器安裝在電機和主動傳動齒輪的傳動軸之間；放卷裝置和導(dǎo)向裝置B之間安裝有張力控制器，通過張力控制器所檢測的張力大小值反饋來調(diào)節(jié)磁粉離合器，從而調(diào)節(jié)主動傳動齒輪的轉(zhuǎn)速；纖維變位裝置安裝在在導(dǎo)向裝置D和收卷裝置之間，對收卷的纖維進行上下往復(fù)變位；，纖維變位裝置由步進電機、滑動絲杠和纖維變位桿組成，在IOOmm范圍內(nèi)往復(fù)運動，控制纖維絲線在收卷裝置上均勻纏繞，在卷繞裝置周圍設(shè)有等離子體預(yù)清洗裝置、等離子體輔助鍍膜裝置、矩形磁控濺射靶。
[0011]進一步，等離子體預(yù)清洗裝置中的放電電極為中空電極，外部與13.56MHz的射頻電源連接，工作氣體從中空電極流過,所通工作氣體為氬氣和氧氣混合氣體,氣體混合比例調(diào)節(jié)范圍，氬氣:氧氣體積比在10:1到10:5之間調(diào)節(jié)；等離子體預(yù)清洗裝置本底真空為5.0XlO-4Pa到8.0X10_5Pa，通過調(diào)節(jié)抽氣速率以及通入工作氣體流量，使射頻放電預(yù)處理真空控制在3.0X KT1Pa~8.0X KT1Pa之間；在進行等離子體處理纖維表面時，射頻功率為20-100W,纖維表面溫度≤50°C，處理時間為50~70秒；距離纖維絲線距離為50mm~IOOmm
[0012]纖維鍍金屬薄膜所用磁控濺射靶為矩形靶，其濺射的均勻區(qū)長度為200mm~1000mm，靶面距離樣品之間的距離為100~200mm，樣品表面溫度<80°C;磁控濺射室內(nèi)本底真空為8.0XlO-4Pa~8.0X10_5Pa，通過調(diào)節(jié)抽氣速率以及通入工作氣體使磁控濺射工作真空度保持在3.0XKT1Pa~5.0XKT1Pa ;磁控濺射工作電源為直流電源或射頻電源，工作氣體為氬氣，濺射功率為40W~100W之間可調(diào)節(jié)；
[0013]等離子體輔助沉鍍膜置中的放電電極為中空電極，外部與13.56MHz的射頻電源連接，工作氣體從中空電極流過，所通工作氣體為氬氣；等離子體輔助沉鍍膜置本底真空為
5.0X10_4Pa~8.0X10_5Pa，通過調(diào)節(jié)抽氣速率以及通入工作氣體使射頻放電預(yù)處理真空為3.0XKT1Pa~8.0XKT1Pa ;，在進行輔助磁控濺射鍍膜時，射頻功率為20W~50W ;距離纖維之間距離為80mm~IOOmm之間。
[0014]單絲纖維為各種單絲化學(xué)纖維，碳纖維、竹纖維和無紡布；
[0015]應(yīng)用所述裝置的方法，其特征在于步驟如下:
[0016]將纖維絲線纏繞在放卷裝置上，然后放入真空室內(nèi)進行走絲，由放卷裝置放出的纖維絲線先通過張力控制器在通過導(dǎo)向裝置A和導(dǎo)向裝置B形成對匝纏繞，使纖維多次且平行的通過等離子體清洗裝置進行全面清洗、粗化；清洗后的纖維絲線由導(dǎo)向裝置B過渡到導(dǎo)向裝置C，導(dǎo)向裝置C與導(dǎo)向裝置D形成對匝纏繞，使纖維絲線多次且平行的通過等離子體輔助鍍膜裝置和矩形磁控濺射靶進行鍍膜，完成鍍膜的纖維絲線由導(dǎo)向裝置D過渡到纖維變位裝置，通過纖維變位裝置的纖維絲線收于收卷裝置完成鍍膜。
[0017]纏繞在放卷裝置I上的纖維絲錠的單絲纖維通過張力控制器2，在通過導(dǎo)向裝置A3和導(dǎo)向裝置B4形成對匝纏繞，使纖維多次且平行的通過等離子體清洗裝置進行全面清洗、粗化，纖維絲線與等離子體清洗裝置的距離為50mm~100mm。清洗后的纖維絲線由導(dǎo)向裝置A3過渡到導(dǎo)向裝置C5，導(dǎo)向裝置C5與導(dǎo)向裝置D6形成對匝纏繞，使纖維絲線多次且平行的通過等離子體輔助鍍膜裝置(與纖維絲線距離為80mm~100mm)和矩形磁控濺射靶(與纖維絲線距離為IOOmm~200mm)進行鍍膜，完成鍍膜的纖維絲線由導(dǎo)向裝置D過渡到纖維變位裝置，通過纖維變位裝置的纖維絲線收于收卷裝置完成鍍膜。
[0018]張力控制器2用來檢測纖維絲線所受張力信息，然后反饋信號來調(diào)節(jié)磁粉離合器13，主動齒輪的轉(zhuǎn)速在10-50轉(zhuǎn)/分。使卷繞纖維的拉伸應(yīng)力維持在可承受范圍，保證纖維張緊纏繞，且控制張力的大小，防止纖維在鍍膜過程中由于張力過大而斷裂。
[0019]纖維變位裝置17由步進電機、滑動絲杠和纖維變位桿組成，以0.5mm/s的速度在IOOmm的范圍內(nèi)往復(fù)運動，使收卷裝置在收集纖維絲線時可纏繞上下IOOmm的范圍內(nèi)，使鍍膜處理后纖維均勻纏繞在收卷裝置上。[0020]將纖維絲線纏繞在卷繞裝置上，然后放入真空室內(nèi)進行等離子體轟擊處理，所通氣體為氧氣及氬氣，轟擊處理的主要作用是分解纖維上面的油性物質(zhì)，同時對纖維表面進行粗化處理以增加薄膜的附著力。處理后纖維由導(dǎo)向裝置旋轉(zhuǎn)到矩形磁控濺射靶表面位置和等離子體輔助位置進行金屬薄膜的濺射。鍍完后由收卷裝置進行收集。此裝置和工藝可鍍各種連續(xù)長絲纖維及無紡布等。該裝置和方法解決了現(xiàn)有技術(shù)的污染，運行成本高，附著力差等缺點，具有鍍層均勻，無雜質(zhì)，附著力高，運行成本低，無污染等優(yōu)點。
[0021]該方法可以在無污染排放的工況下，實現(xiàn)生產(chǎn)高品質(zhì)導(dǎo)電纖維。此工藝特點是薄膜與基片結(jié)合好，不易剝落，膜層純度高，致密性及成膜均勻性好，工藝可重復(fù)性好等，可以實現(xiàn)工業(yè)連續(xù)化生產(chǎn)。
[0022]本發(fā)明具有以下優(yōu)點
[0023]1.本發(fā)明提供了一種纖維單絲利用磁控濺射連續(xù)鍍金屬導(dǎo)電功能薄膜的裝置和方法。該裝置將磁控濺射靶，纖維卷繞裝置，等離子體預(yù)清洗裝置和等離子體輔助鍍膜裝置設(shè)計在一個真空室內(nèi)，實現(xiàn)了單絲纖維連續(xù)鍍膜生產(chǎn)。設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊、單位能耗小，生產(chǎn)效率高，工藝穩(wěn)定性重復(fù)性好。
[0024]2.安裝的纖維卷繞裝置，能夠方便快捷的纏繞纖維，配備了張力控制器2、伺服電機12、磁粉離合器13檢測并調(diào)節(jié)纖維所承受的拉力，使纖維在卷繞的過程中旋轉(zhuǎn)穩(wěn)定，解決了低強度纖維容易被拉斷的問題。
[0025]3.本發(fā)明配備了等離子體清洗裝置9和等離子體輔助鍍膜裝置10，所通工作氣體為氬氣、氧氣。放電等離子體中產(chǎn)生的氧離子，氬離子和電子能更好的分解纖維中的油分，解決了纖維中所含油分的問題，可更好的增加薄膜附著力，等離子體輔助鍍膜裝置10為輔助鍍膜，所產(chǎn)生離子轟擊纖維上的薄膜，使薄膜更加緊密牢固。等離子體清洗裝置9、等離子體輔助鍍膜裝置10都是運用的等離子體放電技術(shù)，制作成本低，性能穩(wěn)定，解決了離子源成本高的問題。
[0026]4.本發(fā)明的鍍膜工藝，成功的解決了除油問題、附著力差的問題。
[0027]5.本發(fā)明的工作效率高、無污染、附著力強、運行成本低、可鍍連續(xù)的長絲纖維及無紡布等。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0028]圖1卷繞裝置圖
[0029]圖2卷繞平面示意圖
[0030]圖3卷繞驅(qū)動剖視圖
[0031]圖4旋轉(zhuǎn)驅(qū)動平面圖
[0032]圖5清洗示意圖
[0033]圖6等離子體清洗裝置圖
[0034]圖7等離子體輔助裝置圖
[0035]圖面說明
[0036]1.放卷裝置、2 .張力控制器、3.導(dǎo)向裝置Α、4.導(dǎo)向裝置Β、5.導(dǎo)向裝置C、6.導(dǎo)向裝置D、7.收卷裝置、8.同軸固定法蘭、9.等離子體清洗裝置(9.1陰極管、9.2絕緣墊板、
9.3射頻固定管、9.4絕緣套、9.5固定法蘭、9.6固定座、9.7射頻固定座、9.8絕緣墊、9.9絕緣帽、9.10壓墊、9.11排氣座、9.12固定鎖母)、10.等離子體輔助鍍膜裝置(10.1絕緣套、
10.2鎖母固定座、10.3排氣口、10.4陰極管、10.5真空測量點)、11.矩形磁控濺射靶、12.伺服電機、13.磁粉離合器、14.從動齒輪、15.主動齒輪、16.屏蔽板、17.纖維變位裝置。
【具體實施方式】
[0037]單絲纖維由放卷裝置I先經(jīng)過張力控制器2再通過導(dǎo)向裝置A3和導(dǎo)向裝置B4形成一個4匝的循環(huán)使纖維絲線平行經(jīng)過等離子體清洗裝置9進行清洗粗化處理，距離為60mm,功率為50W。處理過的纖維絲線由導(dǎo)向裝置A3過渡到導(dǎo)向裝置C5，導(dǎo)向裝置C5與導(dǎo)向裝置D6形成對匝纏繞，匝數(shù)為18匝，使纖維絲線分別通過等離子體輔助鍍膜裝置10(距離為80mm，功率為10W)和矩形磁控濺射靶11 (距離為170mm，功率為90W)，最后通過纖維變位裝置17調(diào)節(jié)纖維絲線位置，使纖維絲線收于收卷裝置7。
[0038]纖維絲線纏繞好以后，，把真空室真空抽到2.0X 10_4Pa，關(guān)閉限流閥，通入氬氣和氧氣的紅和氣體比例為10:1，使真空達到5.0X KT1Pa,打開伺服電機12的電源進行纖維絲線的卷繞，通過張力控制器2和磁粉離合器13使纖維絲線達到穩(wěn)定狀態(tài)，打開等離子體清洗裝置9進行清洗粗化處理，然后再打開等離子體輔助鍍膜裝置10和矩形磁控濺射靶11鍍I小時候依次關(guān)閉電源，打開真空室取出鍍完的纖維絲線。
[0039]鍍銀實施例
[0040]第一步:將錦綸纖維(規(guī)格70D)纏繞在卷繞裝置上，共繞18匝(如卷繞示意圖2所示)，放入真空室后將真空抽至2.0XlO-4Pa0
[0041]第二步:關(guān)閉限流閥，通入5sccm02、44sccm的Ar,至真空度為0.4Pa
[0042]第三步:打開卷繞旋轉(zhuǎn)裝置，通過2、12、13信號調(diào)節(jié)使纖維卷繞速度穩(wěn)定在為I米/分，往復(fù)經(jīng)過11 (靶面)18次。[0043]第四步:打開9 (等離子體清洗裝置)，電源為射頻，功率50W。為纖維進行除油清洗及粗化處理。
[0044]第五步:打開11 (磁控濺射靶)，預(yù)濺射I分鐘后打開靶擋板，電源為直流，功率90W。為纖維鍍銀
[0045]第六步:打開10 (等離子體輔助鍍膜裝置)，電源為射頻，功率50W。輔助鍍銀來增加附著力。
[0046]第七步:完成第七步2小時后關(guān)閉各電源及設(shè)備，取出所鍍的銀纖維。
[0047]性能檢測
[0048]1.所得鍍銀纖維長度為120米。
[0049]2.纖維表面銀的膜層均勻、無雜質(zhì)。
[0050]3.表面電阻:〈10 歐 /cm。
[0051 ] 4.經(jīng)水洗60次,仍就有銀附著。
[0052]鍍銅實施例
[0053]因為銅的濺射速率比較慢，纏繞匝數(shù)增加至25匝。其他工藝不變。性能檢測
[0054]1.所得鍍銅纖維長度為120米
[0055]2.纖維表面銅的膜層均勻、無雜質(zhì)。
[0056]3.表面電阻:〈10 歐 /cm`。
【權(quán)利要求】
1.一種纖維磁控濺射連續(xù)鍍金屬導(dǎo)電功能薄膜的裝置，其特征在于: 在磁控濺射鍍膜真空腔室內(nèi)設(shè)有卷繞裝置:包括磁控濺射靶、放卷裝置、導(dǎo)向裝置A、導(dǎo)向裝置B、導(dǎo)向裝置C、導(dǎo)向裝置D、收卷裝置和等離子體預(yù)清洗裝置、等離子體輔助鍍膜裝置、張力控制器、同軸固定法蘭、從動齒輪、主動齒輪、屏蔽板、纖維變位裝置；真空室外部設(shè)有驅(qū)動系統(tǒng):包括伺服電機、磁粉離合器；放卷裝置、導(dǎo)向裝置A、導(dǎo)向裝置B、導(dǎo)向裝置C、導(dǎo)向裝置D、收卷裝置安裝于5個旋轉(zhuǎn)桿上面，旋轉(zhuǎn)桿安裝在6個均布從動齒輪中的5個齒輪上，其中放卷裝置與導(dǎo)向裝置A安裝在同一選裝轉(zhuǎn)桿上，導(dǎo)向裝置A在放卷裝置上方；導(dǎo)向裝置B、導(dǎo)向裝置C、導(dǎo)向裝置D、收卷裝置分別位于一個旋轉(zhuǎn)桿上面，導(dǎo)向裝置C、導(dǎo)向裝置D所在的齒輪之間空出I個齒輪；6個從動齒輪通過同一個主動傳動齒輪帶動；同軸固定法蘭固定于真空室上方，分別與放卷裝置、導(dǎo)向裝置A、導(dǎo)向裝置B、導(dǎo)向裝置C、導(dǎo)向裝置D、收卷裝置的旋轉(zhuǎn)桿連接，連接處裝有耐磨銅套；磁粉離合器安裝在電機和主動傳動齒輪的傳動軸之間；放卷裝置和導(dǎo)向裝置B之間安裝有張力控制器，通過張力控制器所檢測的張力大小值反饋來調(diào)節(jié)磁粉離合器，從而調(diào)節(jié)主動傳動齒輪的轉(zhuǎn)速；纖維變位裝置安裝在在導(dǎo)向裝置D和收卷裝置之間，對收卷的纖維進行上下往復(fù)變位；，纖維變位裝置由步進電機、滑動絲杠和纖維變位桿組成，在IOOmm范圍內(nèi)往復(fù)運動，控制纖維絲線在收卷裝置上均勻纏繞，在卷繞裝置周圍設(shè)有等離子體預(yù)清洗裝置、等離子體輔助鍍膜裝置、矩形磁控濺射靶。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種纖維磁控濺射連續(xù)鍍金屬導(dǎo)電功能薄膜的裝置，其特征在于: 等離子體預(yù)清洗裝置中的放電電極為中空電極，外部與13.56MHz的射頻電源連接，工作氣體從中空電極流過，所通工作氣體為氬氣和氧氣混合氣體，氣體混合比例調(diào)節(jié)范圍，氬氣:氧氣體積比在10:1到10:5之間調(diào)節(jié)；等離子體預(yù)清洗裝置本底真空為5.0X10_4Pa到8.0X10_5Pa，通過調(diào)節(jié)抽氣速率以及通入工作氣體流量，使射頻放電預(yù)處理真空控制在3.0XlO^1Pa~8.0 X KT1Pa之間；在進行等離子體處理纖維表面時，射頻功率為20-100W，纖維表面溫度≤50°C，處理時間為50~70秒；距離纖維絲線距離為50mm~1OOmm 纖維鍍金屬薄膜所用磁控濺射靶為矩形靶，其濺射的均勻區(qū)長度為200mm~1000mm，靶面距離樣品之間的距離為100~200mm，樣品表面溫度<80°C ;磁控濺射室內(nèi)本底真空為8.0XlO-4Pa~8.0X10_5Pa，通過調(diào)節(jié)抽氣速率以及通入工作氣體使磁控濺射工作真空度保持在3.0XKT1Pa~5.0XKT1Pa ;磁控濺射工作電源為直流電源或射頻電源，工作氣體為氬氣，濺射功率為40W~100W之間可調(diào)節(jié)； 等離子體輔助沉鍍膜置中的放電電極為中空電極，外部與13.56MHz的射頻電源連接，工作氣體從中空電極流過，所通工作氣體為氬氣；等離子體輔助沉鍍膜置本底真空為5.0X10_4Pa~8.0X10_5Pa，通過調(diào)節(jié)抽氣速率以及通入工作氣體使射頻放電預(yù)處理真空為3.0XKT1Pa~8.0XKT1Pa ;，在進行輔助磁控濺射鍍膜時，射頻功率為20W~50W ;距離纖維之間距離為80mm~1OOmm之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種單絲纖維鍍金屬導(dǎo)電功能薄膜的裝置，其特征在于: 單絲纖維為各種單絲化學(xué)纖維，碳纖維、竹纖維和無紡布。
4.應(yīng)用權(quán)利要求1所述裝置的方法，其特征在于步驟如下: 將纖維絲線纏繞在放卷裝置上，然后放入真空室內(nèi)進行走絲，由放卷裝置放出的纖維絲線先通過張力控制器在通過導(dǎo)向裝置A和導(dǎo)向裝置B形成對匝纏繞，使纖維多次且平行的通過等離子體清洗裝置進行全面清洗、粗化；清洗后的纖維絲線由導(dǎo)向裝置B過渡到導(dǎo)向裝置C，導(dǎo)向裝置C與導(dǎo)向裝置D形成對匝纏繞，使纖維絲線多次且平行的通過等離子體輔助鍍膜裝置和 矩形磁控濺射靶進行鍍膜，完成鍍膜的纖維絲線由導(dǎo)向裝置D過渡到纖維變位裝置，通過纖維變位裝置的纖維絲線收于收卷裝置完成鍍膜。
【文檔編號】C23C14/56GK103741109SQ201310753202
【公開日】2014年4月23日 申請日期:2013年12月31日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月31日
【發(fā)明者】張躍飛, 王從曾, 屠金磊 申請人:北京工業(yè)大學(xué)