專利名稱：一種mocvd設(shè)備的備件烘烤治具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種治具，具體涉及一種用于烘烤金屬有機(jī)化合物氣相外延沉積(MOCVD)設(shè)備中備件，使備件上沉積物得到清除的烘烤治具。
背景技術(shù)：
在外延生長過程中，MOCVD設(shè)備中的備件上會沉積一些沉積物，隨著時間的延長，沉積物就會越來越厚，如若不及時清除就會影響外延生長的工藝，所以就需要將一些備件定期放到烤爐中烘烤(烘烤就會將沉積物氣化)清除。但是備件又不能直接放入烤爐中直接烤，就需要一種治具，而普通的烘烤治具存在著無法保證備件上烘烤溫度的均勻性，并且烘烤后的沉積物無法有效迅速排出的缺陷。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡單、備件烘烤溫度均勻、烘烤后的沉積物能夠迅速排出的MOCVD設(shè)備的備件烘烤治具。一種MOCVD設(shè)備的備件烘烤治具，包括定位板；所述定位板為兩組，呈對稱間隔設(shè)置，包括卡設(shè)住備件中部的上定位板及卡設(shè)主備件底部的下定位板，所述兩組定位板兩側(cè)連接安裝有散熱擋板，所述散熱擋板中部開設(shè)有位置相同的散熱孔。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，不僅能夠穩(wěn)定的支撐住在烘烤時備件，而且對烘烤時溫度的均勻度影響也較小，散熱擋板的設(shè)置能夠有效排出氣化后的沉積物，提高了沉積物的清除效果。

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合具體實施例，對本發(fā)明做進(jìn)一步說明。應(yīng)理解，以下實施例僅用于說明本發(fā)明而非用于限制本發(fā)明的范圍。實施例1參見圖1，本實用新型提供的一種MOCVD設(shè)備的備件烘烤治具，包括對稱間隔設(shè)置的兩組定位板1，所述兩組定位板I兩側(cè)連接安裝有散熱擋板2，所述散熱擋板2中部開設(shè)有位置相同的散熱孔3，所述兩組定位板I包括卡設(shè)住備件中部的上定位板Ia及卡設(shè)主備件底部的下定位板lb。在本實施例中，烘烤的備件為呈圓形，直徑為800mm的上擋板，上定位板Ia及下定位板Ib可根據(jù)需要開設(shè)多排卡槽lc，將上擋板放入后，開始烘烤，散熱擋板2上對應(yīng)散熱孔3的設(shè)計，主要是為了讓讓氣流能夠順利通過，從而保證烘烤溫度的均勻性，烘烤出來的沉積物能夠順利被烤爐的泵抽走。
權(quán)利要求1.一種MOCVD設(shè)備的備件烘烤治具，包括定位板，其特征在于:包所述定位板為兩組，呈對稱間隔設(shè)置，包括卡設(shè)住備件中部的上定位板及卡設(shè)主備件底部的下定位板，所述兩組定位板兩側(cè)連接安裝有散熱擋板，所述散熱擋板中部開設(shè)有位置相同的散熱孔。
專利摘要本實用新型公開了一種MOCVD設(shè)備的備件烘烤治具，包括定位板；所述定位板為兩組，呈對稱間隔設(shè)置，包括卡設(shè)住備件中部的上定位板及卡設(shè)主備件底部的下定位板，所述兩組定位板兩側(cè)連接安裝有散熱擋板，所述散熱擋板中部開設(shè)有位置相同的散熱孔。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，不僅能夠穩(wěn)定的支撐住在烘烤時備件，而且對烘烤時溫度的均勻度影響也較小，散熱擋板的設(shè)置能夠有效排出氣化后的沉積物，提高了沉積物的清除效果。
文檔編號C23C16/44GK203034090SQ20132001214
公開日2013年7月3日 申請日期2013年1月10日 優(yōu)先權(quán)日2013年1月10日
發(fā)明者林長軍 申請人:合肥彩虹藍(lán)光科技有限公司