專利名稱：研磨裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種研磨裝置。
背景技術(shù)：
作為半導(dǎo)體密封材料等熱固化性樹(shù)脂的固化物的特性檢查的I種，有對(duì)固化物中成分的分散狀態(tài)的檢查。作為該檢查方法，例如，有如下方法:制作由該固化物制成的規(guī)定的直徑(例如直徑100mm)的圓盤(pán)狀的試驗(yàn)片，研磨該試驗(yàn)片并觀察固化物的表面。此時(shí)，為了使所希望的觀察面露出，通過(guò)研磨所述圓盤(pán)狀的試驗(yàn)片的表層而予以去除。作為研磨試驗(yàn)片的裝置，采用了通過(guò)手動(dòng)使所述試驗(yàn)片旋轉(zhuǎn)而進(jìn)行研磨的手動(dòng)臺(tái)式研磨機(jī)。實(shí)用新型解決的課題因此，使用所述研磨裝置時(shí)，需要用眼睛估量來(lái)調(diào)節(jié)研磨量。研磨后的試驗(yàn)片的厚度，例如和目標(biāo)值相比會(huì)廣生0.3-0.4mm左右的誤差。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的課題是，鑒于上述問(wèn)題而提供一種可以抑制被研磨物的研磨量的誤差的研磨裝置。本實(shí)用新型提供一種研磨裝置，具有:研磨部件，該研磨部件具有研磨被研磨物的平坦的研磨面；保持部，該保持部具有朝著所述研磨面向下開(kāi)口的收容部，該保持部在所述收容部保持所述被研磨物并且通過(guò)自重將所述被研磨物按壓到所述研磨面；旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，該旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)通過(guò)使所述研磨部件繞相對(duì)所述研磨面垂直的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)、使所述保持部和所述研磨部件在所述研磨面的面方向上相對(duì)移動(dòng)，而在所述研磨部件上研磨所述被研磨物；以及支撐部，該支撐部通過(guò)支撐所述保持部的側(cè)面而對(duì)所述保持部繞所述旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行限制，從相對(duì)于所述研磨面垂直的方向看時(shí)，所述保持部在從所述旋轉(zhuǎn)軸偏移的位置上將所述被研磨物按壓在所述研磨面上，所述保持部具有中心軸相對(duì)所述旋轉(zhuǎn)軸平行配置的圓柱形狀部，所述支撐部具有在所述圓柱形狀部的側(cè)周面的周向上的相互不同的位置上分別支撐該側(cè)周面的至少2個(gè)旋轉(zhuǎn)輥，所述旋轉(zhuǎn)輥分別支撐成可繞相對(duì)所述旋轉(zhuǎn)軸平行的輥旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)。實(shí)用新型效果:根據(jù)本實(shí)用新型，可以提供一種能夠抑制被研磨物的研磨量的誤差的研磨裝置。
圖1是表示本實(shí)施方式所涉及的研磨裝置的圖，圖1 (a)是側(cè)視圖，圖1 (b)是俯視圖。圖2是表示本 實(shí)施方式涉及的研磨裝置的保持裝置的圖，圖2 Ca)是側(cè)視圖，圖2(b)是仰視圖。[0012]圖3是表示本實(shí)施方式所涉及的研磨裝置的圖，圖3 Ca)是研磨前的截面圖，圖3(b)是研磨后的擴(kuò)大截面圖。符號(hào)說(shuō)明:I…研磨裝置2…保持部3…旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4…被研磨物5…重量塊6…收容部7…凹部或者凸部8…旋轉(zhuǎn)輥8a…第I旋轉(zhuǎn)輥8b…第2旋轉(zhuǎn)輥9…研磨部件10…研磨面 11…端部12...第I旋轉(zhuǎn)軸13…支撐部14...第2旋轉(zhuǎn)軸15…保持裝置17…圓柱形狀部18…軸部19…驅(qū)動(dòng)用驅(qū)動(dòng)器20…凹部或者凸部21…切點(diǎn)22…切點(diǎn)23 …圓D…被研磨物的厚度A…力B…力
具體實(shí)施方式
下面，采用附圖說(shuō)明本實(shí)施方式。另外，在全部的附圖中，同樣的構(gòu)件加了同樣的符號(hào)，適當(dāng)省略說(shuō)明。<研磨裝置>圖1 (a)是表示本實(shí)施方式的研磨裝置I的側(cè)視圖。如圖1 (a)所示，本實(shí)施方式的研磨裝置I具有:研磨部件9，該研磨部件9研磨被研磨物4并具有平坦研磨面10 ;保持部2，該保持部2保持被研磨物4并且通過(guò)自重相對(duì)于研磨面10按壓被研磨物4 ;旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)3，該旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)3通過(guò)使研磨部件9繞相對(duì)研磨面10垂直的第I旋轉(zhuǎn)軸12 (旋轉(zhuǎn)軸)旋轉(zhuǎn)而使保持部2和研磨部件9在研磨面10的面方向上相對(duì)移動(dòng)，從而在研磨部件9上對(duì)被研磨物4進(jìn)行研磨；以及支撐部13，該支撐部13通過(guò)支撐保持部2的側(cè)面來(lái)對(duì)保持部2繞第I旋轉(zhuǎn)軸12的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行限制。保持部2具有朝研磨面10且向下開(kāi)口的收容部6，在該收容部6中保持被研磨物4。通過(guò)采用該研磨裝置I來(lái)研磨被研磨物4，由此可以抑制被研磨物4的研磨量的誤差。通過(guò)該研磨裝置I研磨被研磨物4時(shí)，保持部2的研磨面10側(cè)的端部11與研磨面10接觸的時(shí)刻即為研磨完成時(shí)。因此，由于不需要用眼睛估量來(lái)判斷研磨量，故可以抑制被研磨物4的研磨量的誤差(參照?qǐng)D3 (b))。圖1 (b)是表示本實(shí)施方式的研磨裝置I的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)3的俯視圖。如圖1 (b)所示，研磨裝置I的保持部2從相對(duì)研磨面10垂直的方向看時(shí)，在從第I旋轉(zhuǎn)軸12偏移的位置上，將被研磨物4按壓在研磨面10上。該保持部2具有中心軸相對(duì)第I旋轉(zhuǎn)軸12平行配置的圓柱形狀部17。此外，支撐部13具有在圓柱形狀部17的側(cè)周面的周向上在彼此不同的位置上分別支撐該側(cè)周面的至少2個(gè)旋轉(zhuǎn)輥8，旋轉(zhuǎn)輥8分別支撐成可以繞相對(duì)第I旋轉(zhuǎn)軸12平行的輥旋轉(zhuǎn)軸(未圖示)旋轉(zhuǎn)。通過(guò)這樣，如后所述，可以用共同的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)來(lái)實(shí)現(xiàn)研磨部件9的旋轉(zhuǎn)(以下稱為“公轉(zhuǎn)”)和保持裝置15 (保持部2)的自轉(zhuǎn)。首先，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)3使研磨部件9繞相對(duì)研磨面10垂直的第I旋轉(zhuǎn)軸12 (旋轉(zhuǎn)軸)旋轉(zhuǎn)。第I旋轉(zhuǎn)軸12通過(guò)研磨面10的中心。另外，軸部18和研磨部件9設(shè)置成一體，軸部18的軸中心和第I旋轉(zhuǎn)軸12 —致。旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)3具有使研磨部件9繞第I旋轉(zhuǎn)軸12旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)用驅(qū)動(dòng)器19。驅(qū)動(dòng)用驅(qū)動(dòng)器19使軸部18旋轉(zhuǎn)，并且使研磨部件9繞第I旋轉(zhuǎn)軸12旋轉(zhuǎn)。該驅(qū)動(dòng)用驅(qū)動(dòng)器19例如為馬達(dá)，即，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)3優(yōu)選構(gòu)成為包含使研磨部件9旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)。從相對(duì)研磨面10垂直的方向看時(shí)，在從第I旋轉(zhuǎn)軸12偏移的位置上，保持部2將被研磨物4按壓在研磨面10上。通過(guò)像這樣配置保持部2，在研磨部件9旋轉(zhuǎn)時(shí)，能夠使保持部2和研磨部件9在研磨面10的面方向上相對(duì)移動(dòng)。由此，能夠通過(guò)研磨面10研磨由保持部2保持的被研磨物4的下表面。支撐部13通過(guò)支撐保持部2的側(cè)面來(lái)限制保持部2繞第I旋轉(zhuǎn)軸12的旋轉(zhuǎn)。在此，研磨面10旋轉(zhuǎn)時(shí)，使被研磨物4繞第I旋轉(zhuǎn)軸12旋轉(zhuǎn)的力從研磨面10相對(duì)于被研磨物4的下表面?zhèn)鬟f。該力通過(guò)被研磨物4傳遞給保持裝置15 (保持部2)。但是，通過(guò)支撐部13的作用，對(duì)保持部2繞第I旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行限制，且可以使保持部2停留在一定位置。因此，保持部2停留在一定位置不變的情況下，研磨面10進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。換言之，保持部2停留在一定位置不變的情況下，相對(duì)于研磨面10進(jìn)行相對(duì)的公轉(zhuǎn)。由此，可以使保持部2和研磨部件9在研磨面10的面方向上發(fā)生相對(duì)的移動(dòng)，可以研磨被研磨物4的下表面。另外，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)3利用研磨面10的內(nèi)外周的移動(dòng)速度差，使保持部2自轉(zhuǎn)。即，保持部2相對(duì)于研磨面10相對(duì)公轉(zhuǎn)、同時(shí)進(jìn)行自轉(zhuǎn)。由此，和保持部2僅相對(duì)于研磨面10公轉(zhuǎn)的情況相比，可以對(duì)被研磨物4整體進(jìn)行均勻地研磨。下面，針對(duì)保持部2的自轉(zhuǎn)機(jī)理進(jìn)行說(shuō)明。研磨面10在接觸被研磨物4的狀態(tài)下發(fā)生相對(duì)的移動(dòng)，故從研磨面10對(duì)被研磨物4的下表面有力的作用。在此，如圖1 (b)所示，在研磨面10旋轉(zhuǎn)時(shí)，研磨面10的各部分的移動(dòng)速度離第I旋轉(zhuǎn)軸12越遠(yuǎn)的部分速度越大。因此，從研磨面10作用于被研磨物4的力和在保持部2中作用于靠近第I旋轉(zhuǎn)軸12的部位上的力A相比，作用于離第I旋轉(zhuǎn)軸較遠(yuǎn)的部位上的力B較大。力A作用在保持部2中比圓柱形狀部17的軸中心更靠近第I旋轉(zhuǎn)軸12的部分上，力B作用在保持部2中比圓柱形狀部17的軸中心更遠(yuǎn)離第I旋轉(zhuǎn)軸12的部分上。在此，如圖1 (b)所示，考慮了研磨面10繞逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)的情況。這種情況下，力B使保持部2繞圓柱形狀部17的軸中心逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)。另一方面，力A使保持部2繞圓柱形狀部17的軸中心順時(shí)針旋轉(zhuǎn)。但是，如上所述，力B比力A大。即，作為要使保持部2逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)的力即力B超過(guò)要使保持部2順時(shí)針旋轉(zhuǎn)的力即力A。其結(jié)果，如圖1 (b)所示，保持裝置15相對(duì)研磨面10的自轉(zhuǎn)方向向順時(shí)針?lè)较蜃赞D(zhuǎn)。保持裝置15的自轉(zhuǎn)軸、即第2旋轉(zhuǎn)軸14和圓柱形狀部17的軸中心一致。另外，支撐部13具有在圓柱形狀部17的側(cè)周面的周向上、在彼此不同的位置上分別支撐該側(cè)周面的至少2個(gè)旋轉(zhuǎn)輥8。該旋轉(zhuǎn)輥8分別被支撐成可以繞相對(duì)第I旋轉(zhuǎn)軸12平行的輥旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)。通過(guò)這樣，保持裝置15 (保持部2)可以順暢地自轉(zhuǎn)。從而，根據(jù)研磨裝置1，可以用共同的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)研磨部件9的公轉(zhuǎn)和保持裝置15(保持部2)的自轉(zhuǎn)。另外，多個(gè)旋轉(zhuǎn)輥8中包含第I旋轉(zhuǎn)輥8a和第2旋轉(zhuǎn)輥8b。從相對(duì)研磨面10垂直的方向看時(shí)，優(yōu)選地，第I旋轉(zhuǎn)輥8a和圓柱形狀部17的切點(diǎn)21位于以第I旋轉(zhuǎn)軸12為中心且通過(guò)圓柱形狀部17的中心軸的圓23的內(nèi)側(cè)，第2旋轉(zhuǎn)輥8b和圓柱形狀部17的切點(diǎn)位于該圓23的外側(cè)。通過(guò)這樣，可以通過(guò)第I旋轉(zhuǎn)輥8a和第2旋轉(zhuǎn)輥Sb平衡良好地支撐保持部2，可以很好地限制保持部2繞第I旋轉(zhuǎn)軸12的移動(dòng)。下面，將包含保持部2的裝置作為保持裝置15來(lái)進(jìn)行說(shuō)明，該保持部2具有朝研磨面10且向下開(kāi)口的收容部6。圖2是表示本實(shí)施方式所涉及的研磨裝置I的保持裝置，圖2 Ca)是側(cè)視圖，圖2(b)是仰視圖。如圖2 Ca)所示，保持裝置15具有保持部2。該保持裝置15如后述那樣，還可以具有重量塊5。保持部2具有收容被研磨物4的收容部6。通過(guò)將被研磨物4相對(duì)于收容部6固定，由此，被研磨物4被收容保持在收容部6內(nèi)。另外，收容部6的形狀沒(méi)有特別限制，可以列舉如圖2的(b)所示的圓盤(pán)型。通過(guò)這樣，可以平衡性較好地保持被研磨物4。收容部6的深度(凹部的深度)在收容部6的整個(gè)區(qū)域上是一定的。另外，收容部6的深度可以根據(jù)研磨后的被研磨物4的目標(biāo)即厚度D適當(dāng)設(shè)定。例如，如上述背景技術(shù)的部分所述，在使用由熱固化性樹(shù)脂的固化物形成的試驗(yàn)片作為被研磨物4時(shí)，為了使所希望的觀察面露出，只要將收容部6的深度設(shè)定為能使表層的樹(shù)脂的研磨不會(huì)過(guò)分不足的程度即可。另外，收容部6的深度的調(diào)整方法可以是變更收容部6的深度本身來(lái)進(jìn)行調(diào)整的，也可以是在收容部6上固定調(diào)整深度用的輔助部件來(lái)進(jìn)行調(diào)整的。另夕卜，使用輔助部件時(shí)，首先將調(diào)整深度用輔助部件固定在收容部6上，然后將被研磨物4固定在收容部6上。另外，如上所述，保持部2具有圓柱形狀部17。圓柱形狀部17是在保持部2中中心軸沿著相對(duì)研磨面10垂直相交的方向延伸的圓柱形的部位。該圓柱形狀部17的側(cè)周面可以是具有凹凸的形狀。例如，通過(guò)對(duì)圓柱形狀部17的側(cè)周面施行滾花加工，可以在圓柱形狀部17形成凹凸。這樣是為了使旋轉(zhuǎn)輥8可以相對(duì)保持部2以充分的摩擦力接觸。由此，可以使各旋轉(zhuǎn)輥8隨著保持部2的旋轉(zhuǎn)順暢地旋轉(zhuǎn)，并且使保持部2順暢地在一定的位置上自轉(zhuǎn)。圖3 Ca)是表示本實(shí)施方式所涉及的研磨裝置I的截面圖。如圖3 Ca)所示，被研磨物4例如接觸收容部6的底面部(圖1中的上端面)地被收容在收容部6中。另外，也可以將調(diào)整收容部6的深度用的輔助部件首先固定在收容部6，然后固定被研磨物4。圖3 (b)是表示研磨后的本實(shí)施方式所涉及的研磨裝置I的擴(kuò)大截面圖。如圖3 (b)所示，采用研磨裝置I開(kāi)始被研磨物4的研磨后，在研磨面10和保持部2接觸的時(shí)刻被研磨物4的研磨完成。即，可以用簡(jiǎn)便的方法將被研磨物4研磨成一定厚度。此時(shí)，被研磨物4 (或者輔助部件和被研磨物4)的厚度D和收容部6的凹部的深度—致。另外，形成保持部2的材料可列舉出使用和被研磨物4相比較硬的材料。通過(guò)這樣，可以抑制利用研磨面10的對(duì)保持部2的研磨。保持部2中的研磨面10側(cè)的端部11如圖1所示，優(yōu)選為相對(duì)研磨面10平行地形成。通過(guò)這樣，保持部2相對(duì)研磨面10接觸后，可以抑制被研磨物4的不均勻的研磨的進(jìn)行。因此，可以在整體上均勻地研磨被研磨物4。另外，通過(guò)保持部2的重量，在被研磨物4相對(duì)研磨面的按壓力不足時(shí)，可以進(jìn)一步在保持部2上搭載重量塊5。通過(guò)這樣，由于可以增強(qiáng)被研磨物4相對(duì)研磨面10的按壓力，故可以提高被研磨物4的研磨速度。從而，可以在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行研磨以使被研磨物4達(dá)到目的厚度。如圖1-3所示，重量塊5搭載在保持部2的上表面。在保持部2的上表面形成有凹部或者凸部7，在重量塊5的下表面形成有相對(duì)保持部2的凹部或者凸部7進(jìn)行嵌合的凸部或者凹部20。由此，在研磨被研磨物4時(shí)，可以抑制搭載在保持部2上的重量塊5的位置相對(duì)于保持部2發(fā)生偏差的情況。因此，形成在重量塊5上的凹部或者凸部?jī)?yōu)選為和形成在保持部2上的凸部或者凹部7相同形狀。實(shí)施例:<研磨裝置>使用圖1所示的裝置。另外，在該裝置中收容部的大小是，寬度是100mm，深度是1.5mm。另外，在保持部上搭載0.3kg的重量塊。<試驗(yàn)片>使用直徑100mm、厚度2mm的圓板狀半導(dǎo)體密封材料固化物。<研磨方法>首先，將所述試驗(yàn)片裝在研磨裝置的收容部?jī)?nèi)。然后，相對(duì)于使其旋轉(zhuǎn)的臺(tái)式研磨機(jī)穩(wěn)定地搭載保持部。保持部搭載在研磨機(jī)后，將旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)固定在保持部上。通過(guò)這樣，保持部在自轉(zhuǎn)的同時(shí)，通過(guò)保持部的自重進(jìn)行試驗(yàn)片的研磨。<評(píng)估方法>[0079]厚度:針對(duì)研磨后的試驗(yàn)片，測(cè)定該試驗(yàn)片的中心和從中心向十字方向離開(kāi)25mm的4點(diǎn)、總共5點(diǎn)上的厚度。< 結(jié)果 >根據(jù)實(shí)施例的研磨裝置，針對(duì)研磨后的試驗(yàn)片的厚度，所測(cè)定的5點(diǎn)的平均值為
1.55_，最大值和最小值的差值是0.04_。即，利用實(shí)施例的研磨裝置進(jìn)行的研磨量的誤差相對(duì)于目標(biāo)厚度的誤差為0.05mm,面內(nèi)的誤差在0.04以下。
權(quán)利要求1.一種研磨裝置，其特征在于， 具有: 研磨部件，該研磨部件具有研磨被研磨物的平坦的研磨面； 保持部，該保持部具有朝著所述研磨面向下開(kāi)口的收容部，該保持部在所述收容部保持所述被研磨物并且通過(guò)自重將所述被研磨物按壓到所述研磨面； 旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，該旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)通過(guò)使所述研磨部件繞相對(duì)所述研磨面垂直的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)、使所述保持部和所述研磨部件在所述研磨面的面方向上相對(duì)移動(dòng)，而在所述研磨部件上研磨所述被研磨物；以及 支撐部，該支撐部通過(guò)支撐所述保持部的側(cè)面而對(duì)所述保持部繞所述旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行限制， 從相對(duì)于所述研磨面垂直的方向看時(shí)，所述保持部在從所述旋轉(zhuǎn)軸偏移的位置上將所述被研磨物按壓在所述研磨面上， 所述保持部具有中心軸相對(duì)所述旋轉(zhuǎn)軸平行配置的圓柱形狀部， 所述支撐部具有在所述圓柱形狀部的側(cè)周面的周向上的相互不同的位置上分別支撐該側(cè)周面的至少2個(gè)旋轉(zhuǎn)輥， 所述旋轉(zhuǎn)輥分別支撐成可繞相對(duì)所述旋轉(zhuǎn)軸平行的輥旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨裝置，其特征在于， 所述多個(gè)旋轉(zhuǎn)輥中包含第I旋轉(zhuǎn)輥和第2旋轉(zhuǎn)輥， 從相對(duì)所述研磨面垂直的方向看時(shí)，所述第I旋轉(zhuǎn)輥和所述圓柱形狀部的切點(diǎn)位于以所述旋轉(zhuǎn)軸為中心且通過(guò)所述圓柱形狀部的中心軸的圓的內(nèi)側(cè)，所述第2旋轉(zhuǎn)輥和所述圓柱形狀部的切點(diǎn)位于該圓的外側(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的研磨裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)構(gòu)成為包含使所述研磨部件旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的研磨裝置，其特征在于，所述保持部中所述研磨面?zhèn)鹊亩瞬啃纬蔀橄鄬?duì)于所述研磨面平行。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的研磨裝置，其特征在于，還具有搭載在所述保持部上的重量塊。
專利摘要一種研磨裝置，具有研磨部件，具有平坦的研磨面；保持部，具有朝研磨面且向下開(kāi)口的收容部，在收容部保持被研磨物并將其按壓到研磨面；旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，通過(guò)使研磨部件繞相對(duì)研磨面垂直的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)并使保持部和研磨部件在研磨面的面方向上相對(duì)移動(dòng)，而研磨被研磨物；支撐部，通過(guò)支撐保持部的側(cè)面而對(duì)保持部繞旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行限制。從相對(duì)于研磨面垂直的方向看時(shí)，保持部在從旋轉(zhuǎn)軸偏移的位置上將被研磨物按壓在研磨面上，保持部具有圓柱形狀部，支撐部具有在圓柱形狀部的側(cè)周面的周向上的相互不同的位置上分別支撐該側(cè)周面的至少兩個(gè)旋轉(zhuǎn)輥，旋轉(zhuǎn)輥分別支撐成可繞相對(duì)旋轉(zhuǎn)軸平行的輥旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)。上述研磨裝置能夠抑制被研磨物的研磨量誤差。
文檔編號(hào)B24B37/12GK203045498SQ20132002280
公開(kāi)日2013年7月10日 申請(qǐng)日期2013年1月16日 優(yōu)先權(quán)日2013年1月16日
發(fā)明者前田將克 申請(qǐng)人:蘇州住友電木有限公司