高密度互連電路板des線體蝕刻倉藥液循環(huán)裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種高密度互連電路板DES線體蝕刻倉藥液循環(huán)裝置，每個蝕刻倉與其相配合的閥門分別連接一三通管的兩端，該三通管的第三端連接一輸送管，該輸送管通過一進(jìn)液閥連接一豎直位置比所述蝕刻倉低的儲液罐，該儲液罐的出口通過排液閥、泵連接一過濾器的進(jìn)口，該過濾器的出口連接所述進(jìn)液閥的進(jìn)口。本實(shí)用新型中，在現(xiàn)有的每個蝕刻倉出口安裝三通，然后將所有的三通連接到豎直位置較低的儲液罐，通過不同閥門開合狀態(tài)的組合，實(shí)現(xiàn)了藥液自動進(jìn)入儲液罐，然后沖洗蝕刻倉，廢液仍然排入酸性非也排放管中，清理完畢后，利用泵使藥液通過過濾器后再回到蝕刻倉內(nèi)，整個過程效率高，節(jié)省了人工，而且在應(yīng)急停機(jī)修理時能快速的將藥液排空。
【專利說明】高密度互連電路板DES線體蝕刻倉藥液循環(huán)裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于蝕刻線體保養(yǎng)【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其是一種高密度互連電路板DES線體蝕刻倉藥液循環(huán)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]高密度互聯(lián)電路板生產(chǎn)的外層圖轉(zhuǎn)工序中設(shè)置有DES線體，該線體包括顯影、蝕刻和剝膜，顯影是將必須保留的線路位置干膜保留下來，蝕刻形成線路，剝膜將干膜剝除，可見DES線體決定著產(chǎn)品的最終質(zhì)量。一般在生產(chǎn)時設(shè)置多條DES線體，比如常見的兩線體設(shè)置的情況，兩個線體中的蝕刻倉的容積分別為1.6立方米和2.3立方米，按工藝要求，該兩個蝕刻倉應(yīng)在每個季度均進(jìn)行清洗，藥液經(jīng)過過濾，清理槽體藥液需要使用20個200升的桶收集，工作量非常大，極大地浪費(fèi)了人工。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供結(jié)構(gòu)合理、快速保養(yǎng)、節(jié)省人工的一種高密度互連電路板DES線體蝕刻倉藥液循環(huán)裝置。
[0004]本實(shí)用新型采取的技術(shù)方案是:
[0005]一種高密度互連電路板DES線體蝕刻倉藥液循環(huán)裝置，包括至少一個蝕刻倉，該蝕刻倉均通過閥門連接一酸性廢液排放管，其特征在于:每個蝕刻倉與其相配合的閥門分別連接一三通管的兩端，該三通管的第三端連接一輸送管，該輸送管通過一進(jìn)液閥連接一豎直位置比所述蝕刻倉低的儲液罐，該儲液罐的出口通過排液閥、泵連接一過濾器的進(jìn)口，該過濾器的出口連接所述進(jìn)液閥的進(jìn)口。
[0006]而且，所述過濾器的出口串聯(lián)一控制閥。
[0007]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和積極效果是:
[0008]本實(shí)用新型中，在現(xiàn)有的每個蝕刻倉出口安裝三通，然后將所有的三通連接到豎直位置較低的儲液罐，通過不同閥門開合狀態(tài)的組合，實(shí)現(xiàn)了藥液自動進(jìn)入儲液罐，然后沖洗蝕刻倉，廢液仍然排入酸性非也排放管中，清理完畢后，利用泵使藥液通過過濾器后再回到蝕刻倉內(nèi)，整個過程效率高，節(jié)省了人工，而且在應(yīng)急停機(jī)修理時能快速的將藥液排空。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0010]下面結(jié)合實(shí)施例，對本實(shí)用新型進(jìn)一步說明，下述實(shí)施例是說明性的，不是限定性的，不能以下述實(shí)施例來限定本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
[0011]一種高密度互連電路板DES線體蝕刻倉藥液循環(huán)裝置，如圖1?3所示，包括至少一個蝕刻倉1，該蝕刻倉均通過閥門6連接一酸性廢液排放管13，本實(shí)用新型的創(chuàng)新在于:每個蝕刻倉與其相配合的閥門分別連接一三通管3的兩端，該三通管的第三端均通過一分閥2、4連接ー輸送管5，該輸送管通過ー進(jìn)液閥8連接ー豎直位置比所述蝕刻倉低的儲液罐9，該儲液罐的出口通過排液閥10、泵11連接ー過濾器12的進(jìn)ロ，該過濾器的出口連接所述進(jìn)液閥的進(jìn)ロ。
[0012]本實(shí)施例中，蝕刻倉為兩個，該兩個蝕刻倉位于ー樓的生產(chǎn)場地中，而儲液罐位于地下室，使藥液可以自由流動到儲液罐內(nèi)。過濾器的出ロ串聯(lián)ー控制閥7。
[0013]本實(shí)用新型使用時:
[0014]1.將兩個閥門6關(guān)閉，打開分閥2、4以及進(jìn)液閥8，關(guān)閉排液閥，此時蝕刻倉內(nèi)的藥液經(jīng)過輸送管流入儲液罐內(nèi)；
[0015]2.藥液流光后，關(guān)閉分閥2、4，打開閥門6，使清理蝕刻倉的廢液進(jìn)入酸性廢液排放管；
[0016]3.清理完成后，關(guān)閉閥門6、打開分閥2、4，打開排液閥10和控制閥7，關(guān)閉進(jìn)液閥8，啟動泵，使藥液經(jīng)過濾器處理后流回到兩個蝕刻倉內(nèi)。
[0017]本實(shí)用新型中，在現(xiàn)有的每個蝕刻倉出口安裝三通，然后將所有的三通連接到豎直位置較低的儲液罐，通過不同閥門開合狀態(tài)的組合，實(shí)現(xiàn)了藥液自動進(jìn)入儲液罐，然后沖洗蝕刻倉，廢液仍然排入酸性非也排放管中，清理完畢后，利用泵使藥液通過過濾器后再回到蝕刻倉內(nèi)，整個過程效率高，節(jié)省了人工，而且在應(yīng)急停機(jī)修理時能快速的將藥液排空。
【權(quán)利要求】
1.ー種高密度互連電路板DES線體蝕刻倉藥液循環(huán)裝置，包括至少ー個蝕刻倉，該蝕刻倉均通過閥門連接ー酸性廢液排放管，其特征在于:每個蝕刻倉與其相配合的閥門分別連接一三通管的兩端，該三通管的第三端連接ー輸送管，該輸送管通過ー進(jìn)液閥連接ー豎直位置比所述蝕刻倉低的儲液罐，該儲液罐的出口通過排液閥、泵連接一過濾器的進(jìn)ロ，該過濾器的出口連接所述進(jìn)液閥的進(jìn)ロ。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高密度互連電路板DES線體蝕刻倉藥液循環(huán)裝置，其特征在于:所述過濾器的出口串聯(lián)ー控制閥。
【文檔編號】C23F1/00GK203382821SQ201320313488
【公開日】2014年1月8日 申請日期:2013年5月31日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月31日
【發(fā)明者】高月起 申請人:天津普林電路股份有限公司