一種金屬掩膜板集成裝配檢測(cè)中心的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種金屬掩膜板集成裝配檢測(cè)中心，包括激光焊接裝置、激光切割裝置、繃網(wǎng)組件、精度測(cè)量裝置、下垂量測(cè)量裝置、機(jī)臺(tái)、運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌，本實(shí)用新型提供的高精度金屬掩膜板集成裝配檢測(cè)中心，具有5種核心功能：激光焊接、激光切割、自動(dòng)繃網(wǎng)、精度測(cè)量、下垂量測(cè)量，采用本實(shí)用新型的金屬掩膜板集成裝配檢測(cè)中心可避開原來復(fù)雜冗長(zhǎng)的工藝鏈，只有激光切割一道工藝會(huì)對(duì)精度產(chǎn)生影響，使產(chǎn)品精度易于控制，過程簡(jiǎn)化。
【專利說明】—種金屬掩膜板集成裝配檢測(cè)中心
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于大平面顯示行業(yè)，涉及OLED顯示屏產(chǎn)業(yè)，尤其涉及一種OLEDMetal Mask制作裝備。
【背景技術(shù)】
[0002]OLED是下一代的顯示技術(shù)，與目前使用的IXD顯示技術(shù)相比，具有可視角大，色彩艷麗，功耗低等優(yōu)點(diǎn)，會(huì)逐漸替代目前主流的液晶顯示技術(shù)。OLED顯示屏制作過程中，有一道有機(jī)發(fā)光體蒸鍍工藝，需要用到高精度的OLED Metal Mask作為蒸鍍模板，OLED MetalMask的質(zhì)量對(duì)顯示屏的質(zhì)量、成品率有極大影響,在OLED顯示屏行業(yè),OLED Metal Mask是制約OLED屏發(fā)展的關(guān)鍵因素。
[0003]OLED Metal Mask典型的結(jié)構(gòu)包含2個(gè)部分:一部分是金屬框、另一部分是帶有精密圖形的金屬片材。金屬框提供結(jié)構(gòu)支撐，金屬片材上的精密圖形為蒸鍍圖形轉(zhuǎn)印的基準(zhǔn)。
[0004]傳統(tǒng)的OLED Metal Mask采用化學(xué)蝕刻的方法，在金屬片材上制作精密的圖形，再采用專用的張網(wǎng)機(jī)把片材張緊繃平，采用焊接機(jī)把張緊繃平的片材焊接到金屬框上。
[0005]傳統(tǒng)的OLED Metal Mask生產(chǎn)工藝路線如圖一所示，其中:
[0006]圖形轉(zhuǎn)印:采用高精度的光學(xué)曝光設(shè)備，把數(shù)字化的圖形設(shè)計(jì)文件精密地轉(zhuǎn)印到材料上，這一步是第一步，也是圖形精度的來源。這一步包含了若干設(shè)備，如光刻設(shè)備、貼膜設(shè)備等。其中，光刻設(shè)備非常昂貴，如半導(dǎo)體的光刻機(jī)屬于這一類設(shè)備。
[0007]蝕刻/電鑄:這是一道電化學(xué)生產(chǎn)工藝，經(jīng)過圖形轉(zhuǎn)印后的材料，經(jīng)過電化學(xué)工藝后，生成帶有精密圖形的金屬片材。這一道工藝設(shè)備有電化學(xué)蝕刻線或者電化學(xué)電鑄線，工藝參數(shù)眾多，要保證圖形精度非常困難。
[0008]繃網(wǎng):對(duì)上道工藝完成的帶有精密圖形的金屬片材進(jìn)行展平，通常采用四邊或兩邊繃?yán)姆绞?。由于片材厚度很薄，在受力的時(shí)候，會(huì)出現(xiàn)拉伸變形，因此會(huì)對(duì)圖形的精度造成影響，此道工藝內(nèi)要保證圖形精度是非常困難的。并且由于OLED屏幕越做越大，OLEDMetal Mask的幅面也越做越大,繃網(wǎng)工藝要在大幅面內(nèi)保證圖形精度,也越來越困難。
[0009]焊接:此道工藝把繃網(wǎng)展平的精密金屬片材焊接到金屬框上，以金屬框的剛性來保持片材的形狀精度不發(fā)生變化。
[0010]檢驗(yàn):成品的檢驗(yàn)，包含開口位置精度、尺寸精度以及片材的下垂量。
[0011]包裝出貨:經(jīng)過檢驗(yàn)的成品，包裝出貨。
[0012]顯而易見，目前工藝方式存在以下2個(gè)問題:
[0013]1.工藝鏈過長(zhǎng)
[0014]2.工藝鏈中，每一道工藝都對(duì)產(chǎn)品的精度有直接影響，且變量眾多，要想獲得良好的產(chǎn)品質(zhì)量，必須在每一道工藝中進(jìn)行非常精細(xì)的控制，并且對(duì)所使用的工藝設(shè)備也有很高的要求。整個(gè)工藝鏈難度過大。
實(shí)用新型內(nèi)容[0015]有鑒于此，需要克服現(xiàn)有技術(shù)中的上述缺陷中的至少一個(gè)。本實(shí)用新型提供了一種金屬掩膜板集成裝配檢測(cè)中心，包括激光焊接裝置、激光切割裝置、繃網(wǎng)組件、精度測(cè)量裝置、下垂量測(cè)量裝置、機(jī)臺(tái)、運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌，其特征在于，所述繃網(wǎng)組件固定安裝在所述機(jī)臺(tái)上，所述運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌包括Y軸導(dǎo)軌和X軸導(dǎo)軌以及Z軸導(dǎo)軌，所述Y軸導(dǎo)軌固定安裝在所述機(jī)臺(tái)上，所述X軸導(dǎo)軌安裝在所述Y軸導(dǎo)軌上，可在所述Y軸導(dǎo)軌上進(jìn)行Y軸方向的運(yùn)動(dòng)，所述Z軸導(dǎo)軌安裝在所述X軸導(dǎo)軌上，所述Z軸導(dǎo)軌可以在X軸導(dǎo)軌上進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，所述激光焊接裝置、激光切割裝置、精度測(cè)量裝置、下垂量測(cè)量裝置固定直接或間接安裝在所述Z軸導(dǎo)軌上，既可隨Z軸導(dǎo)軌在X軸導(dǎo)軌、Y軸導(dǎo)軌上進(jìn)行X、Y軸向的運(yùn)動(dòng)，也可以在Z軸導(dǎo)軌上做Z軸方向的運(yùn)動(dòng)。
[0016]根據(jù)本專利【背景技術(shù)】中所述，目前采用的工藝技術(shù)具有工藝鏈過長(zhǎng)，工藝鏈中，每一道工藝都對(duì)產(chǎn)品的精度有直接影響，且變量眾多，要想獲得良好的產(chǎn)品質(zhì)量，必須在每一道工藝中進(jìn)行非常精細(xì)的控制，并且對(duì)所使用的工藝設(shè)備也有很高的要求，整個(gè)工藝鏈難度過大；因此有必要對(duì)工藝過程進(jìn)行必要的改進(jìn)和簡(jiǎn)化，本實(shí)用新型提供的金屬掩膜板集成裝配檢測(cè)中心可以一次定位，極大縮短了原有工藝鏈，降低了工藝難度，提高了成品率，降低了 OLED Metal Mask的生產(chǎn)成本，縮短交貨期，新型的高精度金屬掩膜板集成裝配檢測(cè)中心可實(shí)現(xiàn)在一臺(tái)設(shè)備上實(shí)現(xiàn)新工藝路線，效率更高，更便捷，節(jié)約能源，減少污染。
[0017]本實(shí)用新型提供的高精度金屬掩膜板集成裝配檢測(cè)中心，具有5種核心功能:激光焊接、激光切割、自動(dòng)繃網(wǎng)、精度測(cè)量、下垂量測(cè)量，
[0018]采用該設(shè)備，可以采用新的工藝路線進(jìn)行OLED Metal Mask的生產(chǎn)，如圖二所示。
[0019]繃網(wǎng)/焊接/切割/精度測(cè)量/下垂量測(cè)量:此道工藝的過程如下:
[0020]①對(duì)沒有圖形的金屬裸片材進(jìn)行繃網(wǎng)
[0021]②對(duì)繃網(wǎng)完成的裸片材進(jìn)行激光焊接，把裸片材焊接到金屬框上，以保持其形狀。
[0022]③對(duì)焊接到金屬框上的裸片材進(jìn)行激光切割。
[0023]④對(duì)激光切割加工后的圖形進(jìn)行精度檢測(cè)。
[0024]⑤對(duì)激光加工后的片材進(jìn)行下垂量測(cè)量。
[0025]采用這種工藝方式可避開原來復(fù)雜冗長(zhǎng)的工藝鏈，只有激光切割一道工藝會(huì)對(duì)精度產(chǎn)生影響，使產(chǎn)品精度易于控制，過程簡(jiǎn)化。
[0026]高精度金屬掩膜板集成裝配檢測(cè)中心原理圖如圖三所示
[0027]另外，根據(jù)本實(shí)用新型公開的一種金屬掩膜板集成裝配檢測(cè)中心的還具有如下附加技術(shù)特征:
[0028]進(jìn)一步地，所述金屬掩膜板集成裝配檢測(cè)中心還包括橫梁，所述橫梁安裝在Y軸導(dǎo)軌上，而X軸導(dǎo)軌安裝在所述橫梁上，使X軸導(dǎo)軌間接安裝在Y軸導(dǎo)軌上。
[0029]進(jìn)一步地，所述金屬掩膜板集成裝配檢測(cè)中心還包括X/Z軸平板，所述Z軸導(dǎo)軌安裝在所述X/Z軸平板上，所述X/Z軸平板安裝在所述X軸導(dǎo)軌上，使Z軸導(dǎo)軌間接安裝在X軸導(dǎo)軌上。
[0030]進(jìn)一步地，所述金屬掩膜板集成裝配檢測(cè)中心還包括Y軸導(dǎo)軌支撐，所述Y軸導(dǎo)軌支撐直接安裝在所述機(jī)臺(tái)上，所述Y軸導(dǎo)軌安裝在所述Y軸導(dǎo)軌支撐上。
[0031]進(jìn)一步地，所述機(jī)臺(tái)包括花崗石平臺(tái)和基座，所述花崗石平臺(tái)安裝在所述基座上，所述基座直接與支撐基地接觸。[0032]由于花崗石平臺(tái)具有受外界環(huán)境變化影響小的特點(diǎn)，因此能夠避免加工過程中外界環(huán)境變化造成的干擾。
[0033]進(jìn)一步地，所述激光焊接裝置包括激光焊接頭。
[0034]進(jìn)一步地，所述激光切割裝置包括激光切割頭。
[0035]進(jìn)一步地，所述精度測(cè)量裝置包括機(jī)器視覺組件。
[0036]進(jìn)一步地，所述下垂量測(cè)量裝置包括激光位移傳感器。
[0037]本實(shí)用新型附加的方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本實(shí)用新型的實(shí)踐了解到。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0038]本實(shí)用新型的上述和/或附加的方面和優(yōu)點(diǎn)從下面結(jié)合附圖對(duì)實(shí)施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中:
[0039]圖1為傳統(tǒng)工藝路線圖；
[0040]圖2為新工藝路線圖；
[0041]圖3高精度金屬掩膜板集成裝配檢測(cè)中心示意圖。
[0042]圖3中，I基座，2花崗石平臺(tái)，3繃網(wǎng)組件，4Y軸導(dǎo)軌支撐，5Y軸導(dǎo)軌，6橫梁，7X軸導(dǎo)軌，8激光焊接頭，9X/Z軸平板，IOZ軸，11激光切割頭，12激光視覺組件，13激光位移傳感器。
【具體實(shí)施方式】
[0043]下面詳細(xì)描述本實(shí)用新型的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號(hào)表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，僅用于解釋本實(shí)用新型，而不能解釋為對(duì)本實(shí)用新型的限制。
[0044]在本實(shí)用新型的描述中，需要理解的是，術(shù)語(yǔ)“上”、“下”、“底”、“頂”、“前”、“后”、“內(nèi)”、“外”、“左”、“右” “X軸”、“Y軸”、“Z軸”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的
方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。
[0045]在本實(shí)用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)“聯(lián)接”、“連通”、“相連”、“連接”、“配合”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，一體地連接，也可以是可拆卸連接；可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連；“配合”可以是面與面的配合，也可以是點(diǎn)與面或線與面的配合，也包括孔軸的配合，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本實(shí)用新型中的具體含義。
[0046]本實(shí)用新型的實(shí)用新型構(gòu)思如下，如技術(shù)背景所述，本實(shí)用新型的金屬掩膜板集成裝配檢測(cè)中心將整個(gè)流水線工藝整合，可以避開原來復(fù)雜冗長(zhǎng)的工藝鏈，只有激光切割一道工藝會(huì)對(duì)精度產(chǎn)生影響，使產(chǎn)品精度易于控制，過程簡(jiǎn)化。
[0047]下面將參照附圖來描述本實(shí)用新型的移動(dòng)導(dǎo)軌夾持滑動(dòng)機(jī)構(gòu)，其中圖1為傳統(tǒng)工藝路線圖；圖2為新工藝路線圖；圖3高精度金屬掩膜板集成裝配檢測(cè)中心示意圖。
[0048]根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，如圖3所示，本實(shí)用新型提供了一種金屬掩膜板集成裝配檢測(cè)中心，包括激光焊接裝置、激光切割裝置、繃網(wǎng)組件3、精度測(cè)量裝置、下垂量測(cè)量裝置、機(jī)臺(tái)、運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌，其特征在于，所述繃網(wǎng)組件3固定安裝在所述機(jī)臺(tái)上，所述運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌包括Y軸導(dǎo)軌5和X軸導(dǎo)軌7以及Z軸導(dǎo)軌10，所述Y軸導(dǎo)軌5固定安裝在所述機(jī)臺(tái)上，所述X軸導(dǎo)軌7安裝在所述Y軸導(dǎo)軌5上，可在所述Y軸導(dǎo)軌5上進(jìn)行Y軸方向的運(yùn)動(dòng)，所述Z軸導(dǎo)軌10安裝在所述X軸導(dǎo)軌7上，所述Z軸導(dǎo)軌10可以在X軸導(dǎo)軌7上進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，所述激光焊接裝置、激光切割裝置、精度測(cè)量裝置、下垂量測(cè)量裝置固定直接或間接安裝在所述Z軸導(dǎo)軌10上，既可隨Z軸導(dǎo)軌10在X軸導(dǎo)軌7、Y軸導(dǎo)軌5上進(jìn)行Χ、Υ軸向的運(yùn)動(dòng)，也可以在Z軸導(dǎo)軌10上做Z軸方向的運(yùn)動(dòng)。
[0049]根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述金屬掩膜板集成裝配檢測(cè)中心還包括橫梁6，所述橫梁安裝在Y軸導(dǎo)軌5上，而X軸導(dǎo)軌7安裝在所述橫梁上，使X軸導(dǎo)軌5間接安裝在Y軸導(dǎo)軌7上。
[0050]根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述金屬掩膜板集成裝配檢測(cè)中心還包括Χ/Ζ軸平板9，所述Z軸導(dǎo)軌10安裝在所述Χ/Ζ軸平板9上，所述Χ/Ζ軸平板9安裝在所述X軸導(dǎo)軌7上，使Z軸導(dǎo)軌10間接安裝在X軸導(dǎo)軌7上。
[0051 ] 根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述金屬掩膜板集成裝配檢測(cè)中心還包括Y軸導(dǎo)軌支撐4，所述Y軸導(dǎo)軌支撐4直接安裝在所述機(jī)臺(tái)上，所述Y軸導(dǎo)軌5安裝在所述Y軸導(dǎo)軌支撐4上。
[0052]根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述機(jī)臺(tái)包括花崗石平臺(tái)2和基座1，所述花崗石平臺(tái)2安裝在所述基座I上，所述基座I直接與支撐基地接觸。
[0053]由于花崗石平臺(tái)具有受外界環(huán)境變化影響小的特點(diǎn)，因此能夠避免加工過程中外界環(huán)境變化造成的干擾。
[0054]根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述激光焊接裝置包括激光焊接頭8。
[0055]根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述激光切割裝置包括激光切割頭11。
[0056]根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述精度測(cè)量裝置包括機(jī)器視覺組件12。
[0057]根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述下垂量測(cè)量裝置包括激光位移傳感器13。
[0058]任何提及“ 一個(gè)實(shí)施例”、“實(shí)施例”、“示意性實(shí)施例”等意指結(jié)合該實(shí)施例描述的具體構(gòu)件、結(jié)構(gòu)或者特點(diǎn)包含于本實(shí)用新型的至少一個(gè)實(shí)施例中。在本說明書各處的該示意性表述不一定指的是相同的實(shí)施例。而且，當(dāng)結(jié)合任何實(shí)施例描述具體構(gòu)件、結(jié)構(gòu)或者特點(diǎn)時(shí)，所主張的是，結(jié)合其他的實(shí)施例實(shí)現(xiàn)這樣的構(gòu)件、結(jié)構(gòu)或者特點(diǎn)均落在本領(lǐng)域技術(shù)人員的范圍之內(nèi)。
[0059]盡管參照本實(shí)用新型的多個(gè)示意性實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行了詳細(xì)的描述，但是必須理解，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以設(shè)計(jì)出多種其他的改進(jìn)和實(shí)施例，這些改進(jìn)和實(shí)施例將落在本實(shí)用新型原理的精神和范圍之內(nèi)。具體而言，在前述公開、附圖以及權(quán)利要求的范圍之內(nèi)，可以在零部件和/或者從屬組合布局的布置方面作出合理的變型和改進(jìn)，而不會(huì)脫離本實(shí)用新型的精神。除了零部件和/或布局方面的變型和改進(jìn)，其范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。
【權(quán)利要求】
1.一種金屬掩膜板集成裝配檢測(cè)中心，包括激光焊接裝置、激光切割裝置、繃網(wǎng)組件、精度測(cè)量裝置、下垂量測(cè)量裝置、機(jī)臺(tái)、運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌，其特征在于，所述繃網(wǎng)組件固定安裝在所述機(jī)臺(tái)上，所述運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌包括Y軸導(dǎo)軌和X軸導(dǎo)軌以及Z軸導(dǎo)軌，所述Y軸導(dǎo)軌固定安裝在所述機(jī)臺(tái)上，所述X軸導(dǎo)軌安裝在所述Y軸導(dǎo)軌上，可在所述Y軸導(dǎo)軌上進(jìn)行Y軸方向的運(yùn)動(dòng)，所述Z軸導(dǎo)軌安裝在所述X軸導(dǎo)軌上，所述Z軸導(dǎo)軌可以在X軸導(dǎo)軌上進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，所述激光焊接裝置、激光切割裝置、精度測(cè)量裝置、下垂量測(cè)量裝置固定直接或間接安裝在所述Z軸導(dǎo)軌上，既可隨Z軸導(dǎo)軌在X軸導(dǎo)軌、Y軸導(dǎo)軌上進(jìn)行X、Y軸向的運(yùn)動(dòng)，也可以在Z軸導(dǎo)軌上做Z軸方向的運(yùn)動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬掩膜板集成裝配檢測(cè)中心，其特征在于，所述金屬掩膜板集成裝配檢測(cè)中心還包括橫梁，所述橫梁安裝在Y軸導(dǎo)軌上，而X軸導(dǎo)軌安裝在所述橫梁上，使X軸導(dǎo)軌間接安裝在Y軸導(dǎo)軌上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬掩膜板集成裝配檢測(cè)中心，其特征在于，所述金屬掩膜板集成裝配檢測(cè)中心還包括Χ/Ζ軸平板，所述Z軸導(dǎo)軌安裝在所述Χ/Ζ軸平板上，所述Χ/Ζ軸平板安裝在所述X軸導(dǎo)軌上，使Z軸導(dǎo)軌間接安裝在X軸導(dǎo)軌上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬掩膜板集成裝配檢測(cè)中心，其特征在于，所述金屬掩膜板集成裝配檢測(cè)中心還包括Y軸導(dǎo)軌支撐，所述Y軸導(dǎo)軌支撐直接安裝在所述機(jī)臺(tái)上，所述Y軸導(dǎo)軌安裝在所述Y軸導(dǎo)軌支撐上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬掩膜板集成裝配檢測(cè)中心，其特征在于，所述機(jī)臺(tái)包括花崗石平臺(tái)和基座，所述花崗石平臺(tái)安裝在所述基座上，所述基座直接與支撐基地接觸。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬掩膜板集成裝配檢測(cè)中心，其特征在于，所述激光焊接裝置包括激光焊接頭。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬掩膜板集成裝配檢測(cè)中心，其特征在于，所述激光切割裝置包括激光切割頭。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬掩膜板集成裝配檢測(cè)中心，其特征在于，所述精度測(cè)量裝置包括機(jī)器視覺組件。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬掩膜板集成裝配檢測(cè)中心，其特征在于，所述下垂量測(cè)量裝置包括激光位移傳感器。
【文檔編號(hào)】C23C14/04GK203451605SQ201320497028
【公開日】2014年2月26日 申請(qǐng)日期:2013年8月15日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月15日
【發(fā)明者】魏志凌, 寧軍 申請(qǐng)人:昆山思拓機(jī)器有限公司