用于打磨導(dǎo)向芯的裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】用于打磨導(dǎo)向芯的裝置，包括平行砂輪與打磨底盤(pán)，平行砂輪通過(guò)與打磨底盤(pán)連接的懸臂設(shè)置在導(dǎo)向芯的上方，平行砂輪轉(zhuǎn)動(dòng)對(duì)導(dǎo)向芯進(jìn)行打磨；打磨底盤(pán)包括定位圈和與定位圈配合的夾板，定位圈與夾板之間設(shè)有放置導(dǎo)向芯的導(dǎo)向芯定位孔。本實(shí)用新型將平行砂輪和導(dǎo)向芯固定在打磨底盤(pán)上，實(shí)現(xiàn)了通過(guò)平行砂輪轉(zhuǎn)動(dòng)對(duì)導(dǎo)向芯的打磨，其打磨精度高，保證了導(dǎo)向芯的重復(fù)利用。采用本實(shí)用新型打磨的導(dǎo)向芯，單晶切斷斷面垂直度降低了20%，導(dǎo)向芯成本降低了60%；不僅提高了單晶切斷良品率，而且降低了生產(chǎn)成本。
【專(zhuān)利說(shuō)明】用于打磨導(dǎo)向芯的裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于單晶硅制造設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，涉及一種用于打磨導(dǎo)向芯的裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，在單晶切斷過(guò)程中，使用的導(dǎo)向芯磨損嚴(yán)重后，被直接廢棄，更換為新的導(dǎo)向芯。這種做法，無(wú)疑增加了生產(chǎn)成本。如導(dǎo)向芯輕微磨損，可采用砂紙進(jìn)行手工磨削。但砂紙磨削無(wú)法保證導(dǎo)向芯的精度，影響晶棒斷面垂直度，從而影響單晶切片碎片的良品率，而且影響工作效率。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型的目的是提供一種用于打磨導(dǎo)向芯的裝置，解決現(xiàn)有技術(shù)存在的導(dǎo)向芯不能重復(fù)使用或者采用砂紙磨削后無(wú)法保證其精度的問(wèn)題，造成單晶切斷斷面垂直度超標(biāo)。
[0004]本實(shí)用新型的技術(shù)方案是，用于打磨導(dǎo)向芯的裝置，包括平行砂輪、打磨底盤(pán)和平行砂輪的砂輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，平行砂輪通過(guò)與打磨底盤(pán)連接的砂輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在打磨底盤(pán)的上方。
[0005]本實(shí)用新型的特點(diǎn)還在于:
[0006]上述砂輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括懸臂、懸臂軸座和軸，懸臂的一端通過(guò)懸臂轉(zhuǎn)軸與焊接在打磨底盤(pán)上的懸臂軸座連接；懸臂的另一端設(shè)置有軸承上，軸承設(shè)置在軸承座上，軸垂直穿過(guò)軸承，平行砂輪通過(guò)砂輪固定盤(pán)與軸固定連接。
[0007]上述打磨底盤(pán)包括定位圈和與定位圈配合的夾板，定位圈與夾板之間設(shè)有放置導(dǎo)向芯的導(dǎo)向芯定位孔。
[0008]上述打磨底盤(pán)還包括外圈底座,定位圈為圓環(huán)形，夾板為兩個(gè)半圓環(huán)，定位圈與夾板之間的間隙通過(guò)設(shè)置在外圈底座上的夾板緊固螺桿調(diào)節(jié)來(lái)夾緊導(dǎo)向芯。
[0009]上述懸臂軸座焊接在外圈底座上，懸臂軸座上設(shè)有齒輪軸座，齒輪軸座上設(shè)有調(diào)節(jié)懸臂轉(zhuǎn)軸高度的齒輪和小手輪。
[0010]上述平行砂輪上設(shè)有框式水平儀。
[0011]上述導(dǎo)向芯定位孔內(nèi)設(shè)有調(diào)整導(dǎo)向芯高度的彈簧。
[0012]上述軸的上端設(shè)有手輪。
[0013]本實(shí)用新型具有如下有益效果:
[0014]1、本實(shí)用新型將平行砂輪和導(dǎo)向芯固定在打磨底盤(pán)上，實(shí)現(xiàn)了通過(guò)平行砂輪轉(zhuǎn)動(dòng)對(duì)導(dǎo)向芯的打磨，其打磨精度高，保證了導(dǎo)向芯的重復(fù)利用。
[0015]2、采用本實(shí)用新型打磨的導(dǎo)向芯，單晶切斷斷面垂直度降低了 20%，單晶切斷用導(dǎo)向芯成本降低了 60% ;不僅提高了良品率，而且降低了生產(chǎn)成本。
[0016]3、本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊，操作方便。【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0017]圖1為本實(shí)用新型用于打磨導(dǎo)向芯的裝置結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖2為圖1側(cè)視圖；
[0019]圖3為本實(shí)用新型用于打磨導(dǎo)向芯的裝置未安裝導(dǎo)向芯的打磨底盤(pán)結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖4為本實(shí)用新型用于打磨導(dǎo)向芯的裝置安裝導(dǎo)向芯的打磨底盤(pán)結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖中，1.手輪，2.軸，3.軸承，4.軸承座，5.懸臂，6.懸臂鎖緊緊固螺釘，7.懸臂轉(zhuǎn)軸，8.框式水平儀，9.砂輪固定盤(pán)，10.水平調(diào)節(jié)螺釘，11.平行砂輪，12.齒輪軸座，13.齒輪，14.小手輪，15.懸臂軸座，16.打磨底盤(pán)，17.彈簧，18.導(dǎo)向芯定位孔，19.1#夾板，20.1#夾板緊固螺桿，21.2#夾板，22.2#夾板緊固螺桿，23.導(dǎo)向芯定位圈，24.導(dǎo)向芯，25.外圈底座。
【具體實(shí)施方式】
[0022]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
[0023]用于打磨導(dǎo)向芯的裝置，包括平行砂輪11、打磨底盤(pán)16和平行砂輪11的砂輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，平行砂輪11通過(guò)與打磨底盤(pán)16連接的砂輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在打磨底盤(pán)16的上方。
[0024]砂輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括懸臂5、懸臂軸座15和軸2，懸臂5的一端通過(guò)懸臂轉(zhuǎn)軸7與焊接在打磨底盤(pán)16上的懸臂軸座15連接；懸臂5的另一端設(shè)置有軸承座4，軸承3設(shè)置在軸承座4上，軸2豎直穿設(shè)在軸承3上，平行砂輪11通過(guò)砂輪固定盤(pán)9設(shè)置在軸2上。
[0025]打磨底盤(pán)16包括定位圈23和與定位圈23配合的1#夾板19、2#夾板21，定位圈23與1#夾板19、2#夾板21之間設(shè)有放置導(dǎo)向芯24的導(dǎo)向芯定位孔18。
[0026]打磨底盤(pán)16還包括外圈底座25,定位圈23為圓環(huán)形,夾板為兩個(gè)半圓環(huán),定位圈23與1#夾板19、2#夾板21之間的間隙通過(guò)設(shè)置在外圈底座25上的1#夾板、1#夾板緊固螺桿20、2#夾板和2#夾板緊固螺桿22調(diào)節(jié)來(lái)夾緊導(dǎo)向芯24。
[0027]懸臂軸座15焊接在外圈底座25上，懸臂軸座15上設(shè)有齒輪軸座12，齒輪軸座12上設(shè)有調(diào)節(jié)懸臂轉(zhuǎn)軸7高度的齒輪13和小手輪14。
[0028]平行砂輪11上設(shè)有框式水平儀8。
[0029]導(dǎo)向芯定位孔18內(nèi)設(shè)有調(diào)整導(dǎo)向芯24高度的彈簧17。
[0030]軸2的上端設(shè)有手輪I。
[0031]實(shí)施例，參照?qǐng)D1、圖2、圖3、圖4，用于打磨導(dǎo)向芯的裝置，包括打磨底盤(pán)16，打磨底盤(pán)16上有1#夾板19、2#夾板21和導(dǎo)向芯定位圈23，1#夾板19和2#夾板21分別通過(guò)1#夾板緊固螺桿20和2#夾板緊固螺桿22調(diào)節(jié)并夾緊導(dǎo)向芯24，導(dǎo)向芯定位孔18內(nèi)設(shè)有彈簧17，彈簧17用來(lái)調(diào)整導(dǎo)向芯24的高度，確保導(dǎo)向芯24在同一水平面上，使得平行砂輪11能打磨到所有的導(dǎo)向芯，保證所有導(dǎo)向芯24的打磨品質(zhì)。
[0032]打磨底盤(pán)16外層設(shè)有外圈底座25，外圈底座25的側(cè)邊焊接有懸臂軸座15，懸臂軸座15上有齒輪軸座12，齒輪軸座12上有齒輪13和小手輪14，通過(guò)齒輪13和小手輪14來(lái)調(diào)節(jié)懸臂轉(zhuǎn)軸7的高度，懸臂轉(zhuǎn)軸7與懸臂5用懸臂鎖緊緊固螺釘6連接及調(diào)節(jié)，懸臂5的另一端連接有軸承座4，軸承座4上有軸承3，軸承座4上面有手輪1，如需要打磨的導(dǎo)向芯數(shù)量較多時(shí)，可以采用小型電機(jī)代替手輪I操作。手輪I與軸承座4是通過(guò)軸2連接的，軸承座4的下面有平行砂輪11,軸承座4與平行砂輪11亦通過(guò)軸2進(jìn)行連接,平行砂輪11上有框式水平儀8和砂輪固定盤(pán)9，通過(guò)框式水平儀8可以調(diào)節(jié)平行砂輪11的水平度，以保證導(dǎo)向芯打磨的精度。
[0033]本實(shí)用新型裝置的工作過(guò)程:
[0034]導(dǎo)向芯24打磨作業(yè)前，首先應(yīng)通過(guò)水平調(diào)節(jié)螺釘10對(duì)平行砂輪11水平度進(jìn)行調(diào)節(jié)，當(dāng)砂輪固定盤(pán)9上安裝的框式水平儀8顯示砂輪水平時(shí)，完成砂輪水平度調(diào)節(jié)。松開(kāi)懸臂鎖緊緊固螺釘6并水平轉(zhuǎn)動(dòng)懸臂5，使平行砂輪11轉(zhuǎn)過(guò)一定角度(以便于裝夾導(dǎo)向芯24為宜)，然后逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)1#夾板緊固螺桿20、2#夾板緊固螺桿22,松開(kāi)1#夾板19、2#夾板21，兩夾板松開(kāi)程度以能夠裝入導(dǎo)向芯24為宜，并將準(zhǔn)備好的導(dǎo)向芯24工作面向上分別裝入導(dǎo)向芯定位孔18內(nèi)，然后將懸臂5及平行砂輪11轉(zhuǎn)回原位，并上緊懸臂鎖緊緊固螺釘6。順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)小手輪14，降下平行砂輪11 (注:通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)小手輪14帶動(dòng)齒輪13撥動(dòng)懸臂轉(zhuǎn)軸7上的齒條結(jié)構(gòu)，從而實(shí)現(xiàn)了懸臂轉(zhuǎn)軸7的升降操作，且平行砂輪11通過(guò)軸2及懸臂5與懸臂轉(zhuǎn)軸7相連接)，由于導(dǎo)向芯定位孔18內(nèi)裝有彈簧17，當(dāng)平行砂輪11下降時(shí)，可通過(guò)其底面將導(dǎo)向芯工作面向下壓，當(dāng)導(dǎo)向芯工作面受壓處于同一水平后，順時(shí)針旋轉(zhuǎn)1#夾板緊固螺桿20、2#夾板緊固螺桿22，將導(dǎo)向芯24完全夾緊。
[0035]手動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)手輪I，從而帶動(dòng)平行砂輪11對(duì)導(dǎo)向芯24進(jìn)行打磨，當(dāng)導(dǎo)向芯24工作面磨削平整后，松開(kāi)懸臂鎖緊緊固螺釘6并水平轉(zhuǎn)動(dòng)懸臂5，使平行砂輪11轉(zhuǎn)過(guò)一定角度(以便于卸下導(dǎo)向芯24為宜),然后逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)1#夾板緊固螺桿20、2#夾板緊固螺桿22,松開(kāi)1#夾板19、2#夾板21并取出磨削好的導(dǎo)向芯24，完成導(dǎo)向芯24打磨作業(yè)。
[0036]采用此打磨導(dǎo)向芯的裝置，單晶切斷斷面垂直度降低了 20%。
[0037]采用此打磨導(dǎo)向芯的裝置，單晶切斷用導(dǎo)向芯成本降低了 60%。
【權(quán)利要求】
1.用于打磨導(dǎo)向芯的裝置，其特征在于:包括平行砂輪(11)、打磨底盤(pán)(16)和平行砂輪(11)的砂輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述平行砂輪(11)通過(guò)與所述打磨底盤(pán)(16 )連接的砂輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在打磨底盤(pán)(16)的上方。
2.如權(quán)利要求1所述的用于打磨導(dǎo)向芯的裝置，其特征在于:所述砂輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括懸臂(5)、懸臂軸座(15)和軸(2)，所述懸臂(5)的一端通過(guò)懸臂轉(zhuǎn)軸(7)與焊接在所述打磨底盤(pán)(16)上的懸臂軸座(15)連接；所述懸臂(5)的另一端設(shè)置有軸承座(4)，軸承(3)設(shè)置在軸承座(4)上，軸(2)垂直穿過(guò)所述軸承(3)上，所述平行砂輪(11)通過(guò)砂輪固定盤(pán)與所述軸(2)固定連接。
3.如權(quán)利要求2所述的用于打磨導(dǎo)向芯的裝置，其特征在于:所述打磨底盤(pán)(16)包括定位圈(23 )和與定位圈(23 )配合的夾板(19，21)，所述定位圈(23 )與所述夾板(19，21)之間設(shè)有放置所述導(dǎo)向芯(24)的導(dǎo)向芯定位孔(18 )。
4.如權(quán)利要求3所述的用于打磨導(dǎo)向芯的裝置，其特征在于:所述打磨底盤(pán)(16)還包括外圈底座(25),所述定位圈(23)為圓環(huán)形,所述夾板為兩個(gè)半圓環(huán),所述定位圈(23)與所述夾板(19，21)之間的間隙通過(guò)設(shè)置在所述外圈底座(25)上的夾板緊固螺桿(20，22)調(diào)節(jié)來(lái)夾緊所述導(dǎo)向芯(24)。
5.如權(quán)利要求4所述的用于打磨導(dǎo)向芯的裝置，其特征在于:所述懸臂軸座(15)焊接在所述外圈底座(25 )上，所述懸臂軸座(15 )上設(shè)有齒輪軸座(12)，所述齒輪軸座(12 )上設(shè)有調(diào)節(jié)所述懸臂轉(zhuǎn)軸(7 )高度的齒輪(13 )和小手輪(14)。
6.如權(quán)利要求5所述的用于打磨導(dǎo)向芯的裝置，其特征在于:所述平行砂輪(11)上設(shè)有框式水平儀(8)。
7.如權(quán)利要求5所述的用于打磨導(dǎo)向芯的裝置，其特征在于:所述導(dǎo)向芯定位孔(18)內(nèi)設(shè)有調(diào)整導(dǎo)向芯(24)高度的彈簧(17)。
8.如權(quán)利要求6或7所述的用于打磨導(dǎo)向芯的裝置，其特征在于:所述軸(2)的上端設(shè)有手輪(I)。
【文檔編號(hào)】B24B7/10GK203509803SQ201320515992
【公開(kāi)日】2014年4月2日 申請(qǐng)日期:2013年8月22日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月22日
【發(fā)明者】崔巍, 潘永娥, 高貽剛, 黃學(xué)寧 申請(qǐng)人:寧夏隆基硅材料有限公司, 銀川隆基硅材料有限公司, 西安隆基硅材料股份有限公司, 無(wú)錫隆基硅材料有限公司