研磨手臂位置矯正器的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型是通過水平氣泡的調(diào)節(jié)來檢測和矯正研磨手臂的原點(diǎn)位置。本實(shí)用新型樣式是凹型裝置，通過凹形裝置的兩個(gè)觸電分別接觸研磨盤和platen，調(diào)節(jié)裝置里內(nèi)嵌的一個(gè)水平氣泡，通過水平氣泡的調(diào)整，檢測和矯正設(shè)備的原點(diǎn)，這個(gè)裝置我們可以簡單精確地檢查研磨手臂的原點(diǎn)位置，并且位置不準(zhǔn)還可以方便的調(diào)節(jié)。把研磨手臂的位置檢測和調(diào)節(jié)量化和精確化。
【專利說明】研磨手臂位置矯正器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及工業(yè)制造領(lǐng)域，特別涉及一種研磨手臂位置矯正器。
【背景技術(shù)】
[0002]研磨手臂的原點(diǎn)位置是通過PC上的disk邊緣和platen的邊緣相切來確定的。我們現(xiàn)在檢查研磨手臂的原點(diǎn)需要把壓板(platen)上的pad撕掉(pad的尺寸比platen大)，非常麻煩而且耗費(fèi)也比較大，目前我們檢測和調(diào)節(jié)研磨手臂的原點(diǎn)位置是通過disk邊緣和platen邊緣相切來判斷研磨手臂位置是否正確。由于我們12寸的機(jī)臺(tái)出廠就比platen大，在檢測和調(diào)節(jié)位置都要事先把研磨墊撕掉。這樣會(huì)造成很大的人力和物力的浪費(fèi)?，F(xiàn)在這個(gè)裝置可以在不撕掉pad或者是pad在platen上不整齊的情況下簡單方便并且精確的檢測研磨手臂的原點(diǎn)位置，研磨手臂的原點(diǎn)位置的檢測和矯正非常的麻煩和不精確，沒有一個(gè)量化的指標(biāo)，完全靠人的肉眼判斷。
[0003]通過這個(gè)裝置我們可以簡單精確地檢查研磨手臂的的原點(diǎn)位置，并且位置不準(zhǔn)還可以方便的調(diào)節(jié)。把研磨手臂的位置檢測和調(diào)節(jié)量化和精確化。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]本實(shí)用新型是通過水平氣泡的調(diào)節(jié)來檢測和矯正研磨手臂的原點(diǎn)位置。本實(shí)用新型樣式是凹型裝置，通過凹形裝置的兩個(gè)觸電分別接觸研磨盤和研磨壓板，調(diào)節(jié)裝置里內(nèi)嵌的一個(gè)水平氣泡，通過水平氣泡的調(diào)整，檢測和矯正設(shè)備的原點(diǎn)。
[0005]一種研磨手臂位置矯正器，包括相互平行的上臂和下臂，立臂的兩端分別垂直連接于所述上臂的一端和所述下臂的一端，所述上臂、所述下臂和所述立臂共同構(gòu)成一凹形結(jié)構(gòu)；其中，所述上臂的上表面內(nèi)嵌一個(gè)水平氣泡，所述上臂和下臂另一端的垂直面上均有一凸出的觸點(diǎn)，且該兩觸點(diǎn)之間的連線與所述立臂的延展方向平行。
[0006]上述研磨手臂位置矯正器，其中，所述立臂所在垂直平面與所述上臂和所述下臂在同垂直平面上。
[0007]上述研磨手臂位置矯正器，其中，所述觸點(diǎn)長短一致。
[0008]上述研磨手臂位置矯正器，其中，所述氣泡內(nèi)嵌于所述上臂上表面，用于檢測和矯正。
[0009]上述研磨手臂位置矯正器的使用方法，其中，通過所述開口端的兩個(gè)觸點(diǎn)分別接觸研磨盤和研磨壓板，調(diào)節(jié)裝置里內(nèi)嵌的一個(gè)水平氣泡，通過水平氣泡的調(diào)整，檢測和矯正設(shè)備的原點(diǎn)。
[0010]本實(shí)用新型外形呈水平凹型，通過凹形裝置的兩個(gè)觸電分別接觸研磨盤和研磨壓板，調(diào)節(jié)裝置里內(nèi)嵌的一個(gè)水平氣泡，通過水平氣泡的調(diào)整，檢測和矯正設(shè)備的原點(diǎn)，不但可以方便的調(diào)節(jié)而且還可以使檢測調(diào)節(jié)量化和精確化。
[0011]采用本實(shí)用新型后的有益效果是:
[0012]這個(gè)裝置我們可以簡單精確地檢查研磨手臂的原點(diǎn)位置，并且位置不準(zhǔn)還可以方便的調(diào)節(jié)。把研磨手臂的位置檢測和調(diào)節(jié)量化和精確化。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1為本實(shí)用新型一種研磨手臂位置矯正器主視圖；
[0014]圖2為本實(shí)用新型一種研磨手臂位置矯正器工作原理示意圖；
[0015]圖3為本實(shí)用新型一種研磨手臂位置矯正器上臂水平氣泡示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖和具體事例對本實(shí)用新型做進(jìn)一步的說明，但不作為本實(shí)用新型的限定。
[0017]本實(shí)用新型是通過水平氣泡的調(diào)節(jié)來檢測和矯正研磨手臂的原點(diǎn)位置。本實(shí)用新型樣式是凹型裝置，通過凹形裝置的兩個(gè)觸電5、6分別接觸研磨盤和研磨壓板，調(diào)節(jié)裝置里內(nèi)嵌的一個(gè)水平氣泡I (如圖3所示)，通過水平氣泡I的調(diào)整，檢測和矯正設(shè)備的原點(diǎn)，如圖1所示:
[0018]一種研磨手臂位置矯正器，包括相互平行的上臂2和下臂3，立臂4的兩端分別垂直連接于所述上臂2的一端和所述下臂3的一端，所述上臂2、所述下臂3和所述立臂4共同構(gòu)成一凹形結(jié)構(gòu)；其中，所述上臂2的上表面內(nèi)嵌一個(gè)水平氣泡I，所述上臂2和下臂3另一端的垂直面上均有一凸出的觸點(diǎn)5、6，且該兩觸點(diǎn)之間的連線與所述立臂的延展方向平行。
[0019]上述研磨手臂位置矯正器，其中，所述立臂4所在垂直平面與所述上臂2和所述下臂3在同垂直平面上，立臂4和兩橫臂形成凹型結(jié)構(gòu)，立臂4為凹槽的底部。
[0020]上述研磨手臂位置矯正器，其中，所述觸點(diǎn)5和觸點(diǎn)6長短一致，通過凹形裝置的兩個(gè)觸電分別接觸研磨盤和platen，調(diào)節(jié)裝置里內(nèi)嵌的一個(gè)水平氣泡1，通過水平氣泡I的調(diào)整，檢測和矯正設(shè)備的原點(diǎn)。
[0021]上述研磨手臂位置矯正器，其中，所述氣泡I內(nèi)嵌于所述上臂2上表面，嵌于上表面方便檢測和矯正。
[0022]上述研磨手臂位置矯正器的使用方法，其中，通過所述開口端的兩個(gè)觸點(diǎn)分別接觸研磨盤和研磨壓板，調(diào)節(jié)裝置里內(nèi)嵌的水平氣泡1，通過水平氣泡I的調(diào)整，檢測和矯正設(shè)備的原點(diǎn)。
[0023]本實(shí)用新型外形呈水平凹型，通過凹形裝置的兩個(gè)觸電5、6分別接觸研磨盤和研磨壓板，調(diào)節(jié)裝置里內(nèi)嵌的一個(gè)水平氣泡1，通過水平氣泡I的調(diào)整，檢測和矯正設(shè)備的原點(diǎn)，不但可以方便的調(diào)節(jié)而且還可以使檢測調(diào)節(jié)量化和精確化。
[0024]使用方法為如圖2所示:通過凹形裝置上臂2和下臂3的兩個(gè)觸電5和觸電6分別接觸研磨盤和platen，調(diào)節(jié)裝置里內(nèi)嵌的一個(gè)水平氣泡1，當(dāng)水平氣泡I處于中間位置時(shí)，所檢測到的位置為設(shè)備的原點(diǎn)。
[0025]以上所述僅為本實(shí)用新型較佳的事例，并非因此限制本實(shí)用新型的實(shí)施方式及保護(hù)范圍，對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，應(yīng)當(dāng)能夠意識(shí)到凡運(yùn)用本實(shí)用新型說明書及圖示內(nèi)容所作出的等同替換和顯而易見的變化所得到的方案，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種研磨手臂位置矯正器，其特征在于，包括相互平行的上臂和下臂，立臂的兩端分別垂直連接于所述上臂的一端和所述下臂的一端，所述上臂、所述下臂和所述立臂共同構(gòu)成一凹形結(jié)構(gòu)；其中，所述上臂的上表面內(nèi)嵌一個(gè)水平氣泡，所述上臂和下臂另一端的垂直面上均有一凸出的觸點(diǎn)，且該兩觸點(diǎn)之間的連線與所述立臂的延展方向平行。
2.如權(quán)利要求1所述研磨手臂位置矯正器，其特征在于，所述立臂所在垂直平面與所述上臂和所述下臂在同垂直平面上。
3.如權(quán)利要求1所述研磨手臂位置矯正器，其特征在于，所述觸點(diǎn)長短一致。
4.如權(quán)利要求1所述研磨手臂位置矯正器，其特征在于，所述氣泡內(nèi)嵌于所述上臂上表面，用于檢測和矯正。
【文檔編號】B24B53/017GK203680059SQ201320776619
【公開日】2014年7月2日 申請日期:2013年11月29日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月29日
【發(fā)明者】趙振偉, 張弢, 蔣德念 申請人:上海華力微電子有限公司