一種真空鍍膜機(jī)的轉(zhuǎn)架裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種真空鍍膜機(jī)的轉(zhuǎn)架裝置，其包括主架體部分、傳動(dòng)部分以及工件轉(zhuǎn)動(dòng)部分，所述主架體部分包括沿上下方向依次平行對置的頂板、上齒輪、下齒輪、支撐單元、外嚙合齒和鎖定部件，所述上齒輪與所述頂板之間通過多個(gè)連接桿連接；所述傳動(dòng)部分包括多個(gè)通過軸承與所述頂板及所述上齒輪連接的傳動(dòng)桿，所述下齒輪還設(shè)置有內(nèi)嚙合齒，每個(gè)所述傳動(dòng)桿延伸至所述上齒輪下方并設(shè)置有與所述內(nèi)嚙合齒相嚙合的下傳動(dòng)齒輪。本實(shí)用新型不僅可實(shí)現(xiàn)工件的定點(diǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)，而且可任意指定靶基距，并保證工件的行星轉(zhuǎn)動(dòng)和自轉(zhuǎn)，還可實(shí)現(xiàn)大公轉(zhuǎn)、行星轉(zhuǎn)動(dòng)和自轉(zhuǎn)三種轉(zhuǎn)動(dòng)方式的單獨(dú)或任意自由搭配使用，可滿足真空鍍膜機(jī)的多種使用目的。
【專利說明】一種真空鍍膜機(jī)的轉(zhuǎn)架裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種真空鍍膜機(jī)的轉(zhuǎn)架裝置，屬于真空鍍膜設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】。
【背景技術(shù)】
[0002]真空鍍膜機(jī)用于在真空中對工件鍍膜，真空鍍膜機(jī)包含構(gòu)成于工件的加工腔體的真空室，真空室內(nèi)設(shè)置有轉(zhuǎn)架裝置，該轉(zhuǎn)架裝置可以通過驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)工件的轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0003]參見圖1，現(xiàn)有技術(shù)中的轉(zhuǎn)架裝置10包括定齒輪101、動(dòng)齒輪102、傳動(dòng)齒輪103、連接桿104、傳動(dòng)桿105及頂板106等。其中，定齒輪101固定在殼體的內(nèi)底面，始終處于靜止?fàn)顟B(tài)，構(gòu)成于傳動(dòng)齒輪的哨合軌道；動(dòng)齒輪102由位于殼體內(nèi)底面的輔助支撐部件(圖中未標(biāo)示)支撐，并且能夠在驅(qū)動(dòng)裝置(圖中未標(biāo)示)的驅(qū)動(dòng)下繞其軸線轉(zhuǎn)動(dòng)；頂板106位于動(dòng)齒輪102上方，并通過多個(gè)連接桿104連接，頂板106與動(dòng)齒輪102之間設(shè)置有多個(gè)傳動(dòng)桿105，每個(gè)傳動(dòng)桿105與頂板106以及動(dòng)齒輪102的連接處均設(shè)置有軸承，以便傳動(dòng)桿105可以轉(zhuǎn)動(dòng)，傳動(dòng)桿105的下端延伸至動(dòng)齒輪102的下方并設(shè)置傳動(dòng)齒輪103，傳動(dòng)齒輪103布置在定齒輪101的周邊。圖中傳動(dòng)齒輪103和傳動(dòng)桿105的組合共8件，稱為8軸轉(zhuǎn)動(dòng)。實(shí)際中不僅限于8軸。如果在傳動(dòng)桿105上附加另一套傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，還可同時(shí)實(shí)現(xiàn)工件的自轉(zhuǎn)。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)中的轉(zhuǎn)架裝置的工作原理為:驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)動(dòng)齒輪102轉(zhuǎn)動(dòng)，動(dòng)齒輪102帶動(dòng)與定齒輪101嚙合的傳動(dòng)齒輪103轉(zhuǎn)動(dòng)，使傳動(dòng)齒輪103和傳動(dòng)桿105繞回轉(zhuǎn)狀的轉(zhuǎn)架裝置的中心轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)保持傳動(dòng)齒輪103和傳動(dòng)桿105繞著傳動(dòng)桿105的軸線轉(zhuǎn)動(dòng)。最終，與傳動(dòng)桿105采用固定或其它方式傳動(dòng)結(jié)合的工件實(shí)現(xiàn)繞著轉(zhuǎn)架裝置的中心轉(zhuǎn)動(dòng)，或者通過傳動(dòng)機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)工件自轉(zhuǎn)。
[0005]可見,現(xiàn)有轉(zhuǎn)架裝置中，動(dòng)齒輪102和定齒輪101位置和功能是固定的，而一系列工件轉(zhuǎn)動(dòng)的實(shí)現(xiàn)均建立在動(dòng)齒輪102帶動(dòng)傳動(dòng)齒輪103和傳動(dòng)桿105完成大公轉(zhuǎn)的基礎(chǔ)上。由于工件安裝在傳動(dòng)桿105上，因此，在任何轉(zhuǎn)動(dòng)方式中，工件繞轉(zhuǎn)架裝置的中心的轉(zhuǎn)動(dòng)都是不可停止的。
[0006]在科學(xué)研究或工藝開發(fā)階段，要對影響膜層的關(guān)鍵參數(shù)進(jìn)行定量研究。如等離子體的密度和溫度以及靶基距等。研究中往往需要定量研究這些參數(shù)對膜層生長的影響。
[0007]等離子體密度和溫度是決定膜層生長的關(guān)鍵因素，由于鍍膜陰極在真空室內(nèi)的排布方式、以及等離子體隨距離衰減的特征，等離子體在真空室內(nèi)的分布是不均勻的。換句話說，工件處于真空室內(nèi)不同位置時(shí)，膜層生長情況是存在差異的。要精確定量的研究等離子體對膜層生長的影響，必須使工件可達(dá)到真空室內(nèi)不同位置并能固定在該位置上；同時(shí)，出于工件膜層均勻性考慮，工件的自轉(zhuǎn)需保證不受影響。簡單概括，轉(zhuǎn)架裝置需要實(shí)現(xiàn)定點(diǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0008]由上文敘述，現(xiàn)有技術(shù)中的轉(zhuǎn)架裝置的轉(zhuǎn)動(dòng)功能普遍以大公轉(zhuǎn)為基礎(chǔ)。這樣，工件在真空室內(nèi)位置始終是變化的，定點(diǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)不能實(shí)現(xiàn)，定量研究等離子體分布對膜層生長的影響變得不可能。
[0009]此外，靶基距是影響膜層性能的另一個(gè)關(guān)鍵參數(shù)，靶的位置關(guān)系對鍍膜均勻性和成膜速率影響很大。研究中也需要測定不同靶基距下膜層生長的差異，這就要求轉(zhuǎn)架裝置可以任意調(diào)節(jié)工件距離陰極靶面的距離并固定之。對于存在曲面或復(fù)雜表面的工件，維持工件的自轉(zhuǎn)同樣是必要的，即在保持上述的定點(diǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)的基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)靶基距的調(diào)節(jié)。
[0010]現(xiàn)有技術(shù)中的轉(zhuǎn)架裝置的靶基距調(diào)節(jié)，普遍采用將工件固定在長度可調(diào)的懸臂上，懸臂固定在轉(zhuǎn)架的傳動(dòng)桿上。通過懸臂的長短改變靶基距。為保證靶基距固定，轉(zhuǎn)架裝置不能轉(zhuǎn)動(dòng)。如定點(diǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)中的敘述，采用這種方式時(shí)，工件無自轉(zhuǎn)，無法實(shí)現(xiàn)對單個(gè)工件均勻鍍膜之需要。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0011]針對現(xiàn)有技術(shù)存在的上述問題，本實(shí)用新型旨在提供一種不僅可實(shí)現(xiàn)工件的定點(diǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)，而且可任意指定靶基距，并保證工件的行星轉(zhuǎn)動(dòng)和自轉(zhuǎn)，還可實(shí)現(xiàn)大公轉(zhuǎn)、行星轉(zhuǎn)動(dòng)和自轉(zhuǎn)三種轉(zhuǎn)動(dòng)方式的單獨(dú)或任意自由搭配使用的真空鍍膜機(jī)的轉(zhuǎn)架裝置，以滿足真空鍍膜機(jī)的多種使用目的。
[0012]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采取的技術(shù)方案如下:
[0013]一種真空鍍膜機(jī)的轉(zhuǎn)架裝置，包括主架體部分、傳動(dòng)部分以及工件轉(zhuǎn)動(dòng)部分，所述工件轉(zhuǎn)動(dòng)部分能夠通過所述傳動(dòng)部分驅(qū)動(dòng)而轉(zhuǎn)動(dòng)，其中，
[0014]所述主架體部分包括沿上下方向依次平行對置的頂板、上齒輪以及下齒輪，所述上齒輪和所述下齒輪通過支撐單元支撐，并且，所述上齒輪和所述下齒輪均具有用于通過驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)從而使得所述上齒輪或下齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)的外嚙合齒，所述支撐單元上設(shè)置有用以選擇性地鎖定所述上齒輪或所述下齒輪的鎖定部件，所述上齒輪與所述頂板之間通過多個(gè)連接桿連接；
[0015]所述傳動(dòng)部分包括多個(gè)通過軸承與所述頂板及所述上齒輪連接的傳動(dòng)桿，所述下齒輪還設(shè)置有內(nèi)嚙合齒，每個(gè)所述傳動(dòng)桿延伸至所述上齒輪下方并設(shè)置有與所述內(nèi)嚙合齒相嚙合的下傳動(dòng)齒輪。
[0016]作為一種優(yōu)選方案，所述支撐單元的數(shù)量為三套，三套所述支撐單元沿所述上齒輪和所述下齒輪的圓周方向均勻分布。
[0017]作為進(jìn)一步優(yōu)選方案，所述支撐單元包括豎直設(shè)置的主體部，所述主體部設(shè)置有兩個(gè)分別朝向所述上齒輪下方與所述下齒輪下方延伸的延展部，位于所述上齒輪下方和所述下齒輪下方的所述延展部上均設(shè)置有支撐軸承。
[0018]作為一種優(yōu)選方案，所述鎖定部件為可移動(dòng)地設(shè)置于所述主體部上的兩個(gè)鎖定桿，其中一個(gè)所述鎖定桿可以通過移動(dòng)卡入所述上齒輪的外嚙合齒，另一個(gè)所述鎖定桿可以通過移動(dòng)卡入所述下齒輪的外嚙合齒。
[0019]作為一種優(yōu)選方案，在所述傳動(dòng)桿上位于所述頂板與所述上齒輪之間的位置間隔設(shè)置有兩個(gè)懸臂，在位于所述兩個(gè)懸臂之間的所述傳動(dòng)桿上設(shè)置有上傳動(dòng)齒輪；所述工件轉(zhuǎn)動(dòng)部分包括設(shè)置于所述兩個(gè)懸臂的末端之間的支撐桿，在所述支撐桿上空套有與所述上傳動(dòng)齒輪嚙合的從動(dòng)齒輪，在所述支撐桿上位于所述從動(dòng)齒輪上方的位置還空套有行星盤，在所述行星盤的下方設(shè)置有空套于所述支撐桿的太陽輪，在所述行星盤的周邊通過軸承設(shè)置有多個(gè)與所述行星盤垂直的工件轉(zhuǎn)軸，所述工件轉(zhuǎn)軸的一端位于所述行星盤上方，用于安裝所述工件，另一端延伸至所述行星盤下方并設(shè)置有與所述太陽輪嚙合的行星輪；在所述從動(dòng)齒輪與所述行星盤之間的位置設(shè)置有聯(lián)動(dòng)裝置，所述聯(lián)動(dòng)裝置選擇性地連接所述從動(dòng)齒輪與所述行星盤或者連接所述從動(dòng)齒輪與所述太陽輪。
[0020]作為進(jìn)一步優(yōu)選方案，所述聯(lián)動(dòng)裝置的數(shù)量為三組，三組所述聯(lián)動(dòng)裝置沿所述行星盤的圓周方向均勻分布。
[0021]作為進(jìn)一步優(yōu)選方案，所述聯(lián)動(dòng)裝置包括固定于所述從動(dòng)齒輪上的基部，在所述基部上設(shè)置有可通過移動(dòng)將所述從動(dòng)齒輪與所述行星盤連接的第一銷釘以及可通過移動(dòng)將所述從動(dòng)齒輪與所述太陽輪連接的第二銷釘。
[0022]作為進(jìn)一步優(yōu)選方案，每個(gè)所述懸臂均可轉(zhuǎn)動(dòng)地套裝于所述傳動(dòng)桿上。
[0023]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供的真空鍍膜機(jī)的轉(zhuǎn)架裝置，具有如下實(shí)質(zhì)性區(qū)別和顯著性進(jìn)步:
[0024]I)動(dòng)齒和定齒的位置和功能不再固定，而是可以互換，這從原理上改變了現(xiàn)有真空鍍膜機(jī)的轉(zhuǎn)架裝置以大公轉(zhuǎn)為基礎(chǔ)的轉(zhuǎn)動(dòng)方式，獨(dú)創(chuàng)性地將大公轉(zhuǎn)、行星轉(zhuǎn)動(dòng)和工件自轉(zhuǎn)分離，實(shí)現(xiàn)了大公轉(zhuǎn)、行星轉(zhuǎn)動(dòng)、工件自轉(zhuǎn)之間的任意搭配，尤其是實(shí)現(xiàn)了無大公轉(zhuǎn)前提下的定點(diǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)，工件可在大公轉(zhuǎn)路徑上任意一點(diǎn)停留，使研究每個(gè)位置對膜層生長的影響成為了可能。
[0025]2 )通過懸臂調(diào)節(jié)，靶基距可無極調(diào)節(jié)，尤其是結(jié)合定點(diǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)，靶基距還可以精確固定，同時(shí)保持行星轉(zhuǎn)動(dòng)和自轉(zhuǎn)不受影響，使實(shí)現(xiàn)對單個(gè)工件均勻鍍膜成為可能。
[0026]3)工件轉(zhuǎn)動(dòng)部分采用上述的聯(lián)動(dòng)裝置控制方式，實(shí)現(xiàn)了工件繞其自身軸線轉(zhuǎn)動(dòng)或者繞著行星盤的軸線轉(zhuǎn)動(dòng)，方便了觀察工件的鍍膜情況。
[0027]總之，本實(shí)用新型所提供的真空鍍膜機(jī)的轉(zhuǎn)架裝置，不僅可實(shí)現(xiàn)工件的定點(diǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)，而且可任意指定靶基距，并保證工件的行星轉(zhuǎn)動(dòng)和自轉(zhuǎn)，還可實(shí)現(xiàn)大公轉(zhuǎn)、行星轉(zhuǎn)動(dòng)和自轉(zhuǎn)三種轉(zhuǎn)動(dòng)方式的單獨(dú)或任意自由搭配使用，能滿足真空鍍膜機(jī)的多種使用目的，方便了對真空鍍膜工藝的研究和開發(fā)，具有極強(qiáng)的應(yīng)用價(jià)值。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0028]圖1是現(xiàn)有技術(shù)中真空鍍膜機(jī)的轉(zhuǎn)架裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029]圖2是本實(shí)用新型所提供的一種真空鍍膜機(jī)的轉(zhuǎn)架裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0030]圖3是圖2中主架體部分的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0031]圖4是圖3中支撐單元的結(jié)構(gòu)放大圖；
[0032]圖5是圖2中傳動(dòng)部分的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0033]圖6是圖2中傳動(dòng)部分的結(jié)構(gòu)示意圖，其進(jìn)一步示出了傳動(dòng)部分與頂板以及上齒輪之間的關(guān)系；
[0034]圖7是圖2中工件轉(zhuǎn)動(dòng)部分的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0035]圖8是采用本實(shí)用新型的真空鍍膜機(jī)的轉(zhuǎn)架裝置進(jìn)行靶基距調(diào)整的示意圖?！揪唧w實(shí)施方式】
[0036]為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，下面結(jié)合實(shí)施例和附圖，對本實(shí)用新型進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0037]為便于描述，本實(shí)用新型中，對以下術(shù)語進(jìn)行定義，除特別說明，該術(shù)語適用于本實(shí)用新型的各部分。
[0038]大公轉(zhuǎn):是指齒輪或工件繞轉(zhuǎn)架裝置的中心軸線的旋轉(zhuǎn)方式；
[0039]行星轉(zhuǎn)動(dòng):是指繞傳動(dòng)桿軸線的旋轉(zhuǎn)方式；
[0040]自轉(zhuǎn):是指齒輪、傳動(dòng)桿或工件繞自身軸線的旋轉(zhuǎn)方式；
[0041]定點(diǎn)轉(zhuǎn)動(dòng):嚴(yán)格的定義為工件不存在除自轉(zhuǎn)外的其它轉(zhuǎn)動(dòng)方式，本文中泛指無大公轉(zhuǎn)基礎(chǔ)上的轉(zhuǎn)動(dòng)方式集合。
[0042]靶基距:是指鍍膜陰極的工作面到工件表面的直線距離。
[0043]參見圖2所示:本實(shí)用新型所提供的一種真空鍍膜機(jī)的轉(zhuǎn)架裝置I包括主架體部分11、傳動(dòng)系統(tǒng)部分12和工件轉(zhuǎn)動(dòng)部分13，主架體部分11可以通過驅(qū)動(dòng)裝置(圖中未示出)驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)；傳動(dòng)系統(tǒng)部分12與主架體部分11配合，并接收來自主架體部分11的動(dòng)力；工件轉(zhuǎn)動(dòng)部分13用于控制工件的轉(zhuǎn)動(dòng)以便實(shí)現(xiàn)鍍膜。轉(zhuǎn)架裝置I安裝于真空室(圖中未示出，通常為圓桶狀)內(nèi)，轉(zhuǎn)架裝置I整體由具有良好導(dǎo)熱性質(zhì)的金屬制成以便保證工件的透熱，具體可以為304不銹鋼等。
[0044]參見圖3所示:所述的主架體部分11包括下齒輪111、上齒輪112以及頂板115，三者平行對置(相鄰的二者端面相對)，下齒輪111同時(shí)具有外嚙合齒和內(nèi)嚙合齒，上齒輪112只具有外嚙合齒，下齒輪111與上齒輪112均可以通過驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)而實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)動(dòng)。下齒輪111和上齒輪112通過支撐單元113支撐，支撐單元113優(yōu)選為多套，如圖中所示的三套，并且沿下齒輪111和上齒輪112的圓周方向均勻分布。
[0045]參見圖4所示，作為一種優(yōu)選方式，所述的支撐單元113包括一個(gè)豎直設(shè)置的主體部1134，主體部1134設(shè)置有兩個(gè)垂直于主體部1134的延展部1135，兩個(gè)延展部1135分別朝向下齒輪111的下方和上齒輪112的下方延伸，并且每個(gè)延展部1135上均設(shè)置有支撐軸承1131以便分別對下齒輪111和上齒輪112支撐并保證下齒輪111和上齒輪112能夠正常轉(zhuǎn)動(dòng)。支撐單元113上設(shè)置有用以選擇性地鎖定上齒輪112或下齒輪111的鎖定部件，即該鎖定部件可以將下齒輪111鎖定，通過驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)上齒輪112轉(zhuǎn)動(dòng)，或者將上齒輪112鎖定，通過驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)下齒輪111轉(zhuǎn)動(dòng)。鎖定部件可以通過多種方式實(shí)現(xiàn)，具體地，在本實(shí)用新型中，鎖定部件為設(shè)置于支撐單元113的主體部1134上的鎖定桿1132以及鎖定桿1133，鎖定桿1133及鎖定桿1132分別布置于兩個(gè)支撐軸承1131的上方，其中鎖定桿1133正對下齒輪111的外嚙合齒，鎖定桿1132正對上齒輪112的外嚙合齒，當(dāng)鎖定桿1133、1132向著靠近下齒輪111、上齒輪112的一側(cè)移動(dòng)時(shí)，可以卡入下齒輪111或上齒輪112中，卡入時(shí)，相應(yīng)的齒輪不能轉(zhuǎn)動(dòng)。鎖定桿1132、1133的移動(dòng)可以為螺旋移動(dòng)，通過在鎖定桿1132、1133的中間部分設(shè)置外螺紋并在主體部1134上設(shè)置螺紋孔即可。當(dāng)鎖定桿1132向內(nèi)旋進(jìn)頂住上齒輪112，鎖定桿1133向外旋出時(shí)，上齒輪112被鎖定，此時(shí)，下齒輪111是可以通過驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)而轉(zhuǎn)動(dòng)的；反之，當(dāng)鎖定桿1133向內(nèi)旋進(jìn)頂住下齒輪111，鎖定桿1132向外旋出時(shí)，下齒輪111被鎖定，此時(shí)，上齒輪112是可以通過驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)而轉(zhuǎn)動(dòng)的，這樣可以實(shí)現(xiàn)下齒輪111和上齒輪112其中一個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)一個(gè)鎖定(固定不動(dòng))的功能。為保證鎖緊力，鎖定桿1132、1133的端部為錐形。上齒輪112與頂板115之間通過三根連接桿114連接，三根連接桿114沿著上齒輪112以及頂板115的圓周方向均勻分布，三根連接桿114互成120°夾角。
[0046]參見圖2、圖5、圖6所示:所述的傳動(dòng)部分12安裝在上齒輪112和頂板115之間，包括傳動(dòng)桿123、兩根懸臂124、上傳動(dòng)齒輪122以及下傳動(dòng)齒輪121 ;傳動(dòng)桿123通過軸承座125、軸承座126分別與頂板115以及上齒輪112連接，以便傳動(dòng)桿123能夠相對于二者轉(zhuǎn)動(dòng)；傳動(dòng)桿123的下端延伸至上齒輪112下方并設(shè)置有與下齒輪111的內(nèi)嚙合齒相嚙合的下傳動(dòng)齒輪121。工件轉(zhuǎn)動(dòng)部分13可以直接設(shè)置于上傳動(dòng)齒輪122上方，也可以通過其他傳動(dòng)方式與上傳動(dòng)齒輪122連接。
[0047]參見圖6所示:其觀察角度不同于圖5，并添加了部分關(guān)聯(lián)部件。軸承座125固定安裝在頂板115上，軸承座126固定安裝在上齒輪112上，傳動(dòng)桿123穿過軸承座125和軸承座126，傳動(dòng)桿123下端固定設(shè)置有下傳動(dòng)齒輪121，下傳動(dòng)齒輪121和傳動(dòng)桿123均能夠繞著傳動(dòng)桿123的軸線轉(zhuǎn)動(dòng)。上傳動(dòng)齒輪122固定在傳動(dòng)桿123上，也隨傳動(dòng)桿123轉(zhuǎn)動(dòng)而同步自轉(zhuǎn)。圖5、圖6中所示的上傳動(dòng)齒輪122為兩個(gè)，沿傳動(dòng)桿123上下方向布置，但上傳動(dòng)齒輪122的位置和數(shù)量均可根據(jù)需求調(diào)整，而不僅限于圖5、圖6中的情況。
[0048]繼續(xù)參見圖6，兩根懸臂124分別平行安裝在上齒輪112和頂板115相對應(yīng)的兩個(gè)平面上，懸臂124可繞傳動(dòng)桿123任意角度轉(zhuǎn)動(dòng)并鎖定。為敘述方便，圖5略去了軸承座125和軸承座126安裝所在的頂板115和上齒輪112。懸臂124僅套裝于傳動(dòng)桿123上，懸臂124和傳動(dòng)桿123不存在固定關(guān)系，本實(shí)用新型中，工件轉(zhuǎn)動(dòng)部分13安裝于懸臂之間，但需要說明的是，工件轉(zhuǎn)動(dòng)部分不必然安裝于懸臂之間，只要能夠滿足鍍膜的需要即可。
[0049]傳動(dòng)部分12的安裝數(shù)量由設(shè)計(jì)決定，本實(shí)用新型中預(yù)留了三套安裝位置，以120°等間隔排列。根據(jù)需要和實(shí)際情況，其安裝數(shù)量可以改變，而不僅限于本例所示情況，但其排列都是類似的將圓周360°等分間隔的方式。
[0050]參見圖2、圖5、圖7所示:所述的工件轉(zhuǎn)動(dòng)部分13安裝在兩根懸臂124之間，工件轉(zhuǎn)動(dòng)部分13包括支撐桿135、從動(dòng)齒輪131、行星盤134、太陽輪133、行星輪132以及聯(lián)動(dòng)裝置136。圖中所示的聯(lián)動(dòng)裝置136以及行星輪132的數(shù)量均為三組，并且均繞著支撐桿135以120°等間隔布置。支撐桿135固定安裝在兩根懸臂124之間，從動(dòng)齒輪131空套于支撐桿135上(即通過軸承套裝在支撐桿135上，以便可以相對支撐桿135轉(zhuǎn)動(dòng))，從動(dòng)齒輪131與上傳動(dòng)齒輪122嚙合。太陽輪133和行星盤134都空套于支撐桿135上(即通過軸承套裝在支撐桿135上，以便相對轉(zhuǎn)動(dòng))，兩者均可以依靠聯(lián)動(dòng)裝置136與從動(dòng)齒輪131連接傳動(dòng)以實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)動(dòng)，亦或鎖定在支撐桿135上。具體聯(lián)動(dòng)方式可參見圖7右側(cè)的局部放大圖，其展現(xiàn)一套聯(lián)動(dòng)裝置136及其關(guān)聯(lián)部件。聯(lián)動(dòng)裝置136固定在從動(dòng)齒輪131上，聯(lián)動(dòng)裝置136包括直接固定于從動(dòng)齒輪131上的基部1363以及設(shè)置于基部1363上、用于連接行星盤134的第一銷釘1361和用于連接太陽輪133的第二銷釘1362。當(dāng)?shù)谝讳N釘1361移出并連接行星盤134且第二銷釘1362不連接太陽輪133時(shí)，從動(dòng)齒輪131和行星盤134實(shí)現(xiàn)了聯(lián)動(dòng)；當(dāng)?shù)诙N釘1362連接太陽輪133且第一銷釘1361不連接行星盤134時(shí)，從動(dòng)齒輪131和太陽輪133實(shí)現(xiàn)了聯(lián)動(dòng)。這樣，依靠第一銷釘1361和第二銷釘1362的動(dòng)作，從動(dòng)齒輪131分別實(shí)現(xiàn)了與行星盤134和太陽輪133的聯(lián)動(dòng)。當(dāng)然，上述聯(lián)動(dòng)裝置僅為例示，可以選用其他的能夠?qū)崿F(xiàn)該功能的裝置來實(shí)現(xiàn)。在行星盤134的周邊通過軸承(圖中未標(biāo)示)設(shè)置了多個(gè)與行星盤垂直的工件轉(zhuǎn)軸137，工件轉(zhuǎn)軸137 —端位于行星盤134上方，用于通過工件架(圖中未標(biāo)示)安裝工件，另一端延伸至行星盤134下方并設(shè)置與太陽輪133嚙合的行星輪132。除了支撐桿135之外，工件轉(zhuǎn)動(dòng)部分13的其余部件依靠從動(dòng)齒輪131與上傳動(dòng)齒輪122的嚙合關(guān)系，與后者一一對應(yīng)安裝。各部件的上下位置和數(shù)量均可根據(jù)需求調(diào)整，圖7中表示的是對應(yīng)圖5的上傳動(dòng)齒輪122的排列方式。因此，除共有一根支撐桿135夕卜，存在兩套工件轉(zhuǎn)動(dòng)部分13的部件組合，但實(shí)際情況包括且并不限于此。
[0051]下面，對本實(shí)用新型中工件的具體工作方式進(jìn)行說明。
[0052]實(shí)施方式一、定點(diǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)+行星轉(zhuǎn)動(dòng)+自轉(zhuǎn)
[0053]參見圖2、圖3、圖5和圖7，鎖定桿1132將上齒輪112固定，下齒輪111與驅(qū)動(dòng)裝置(圖中未示出)嚙合，使上齒輪112固定，而下齒輪111能夠被驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)。由于上齒輪112靜止，與其連接的頂板115、安裝在上齒輪112和頂板115之間的傳動(dòng)部分12和工件轉(zhuǎn)動(dòng)部分13都不會(huì)繞轉(zhuǎn)架裝置的中心軸線旋轉(zhuǎn)，工件達(dá)成定點(diǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)的目的。
[0054]依靠下傳動(dòng)齒輪121與下齒輪111的嚙合，傳動(dòng)部分12將動(dòng)力經(jīng)由上傳動(dòng)齒輪122傳遞到工件轉(zhuǎn)動(dòng)部分13。依靠從動(dòng)齒輪131和上傳動(dòng)齒輪122的嚙合，使從動(dòng)齒輪131繞著支撐桿135自轉(zhuǎn)。聯(lián)動(dòng)裝置136聯(lián)動(dòng)從動(dòng)齒輪131和行星盤134，同時(shí)鎖定太陽輪133在支撐桿135上。這樣，行星盤134帶動(dòng)行星輪132實(shí)現(xiàn)繞著支撐桿135的行星轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)行星輪132自轉(zhuǎn)。最終，安裝在工件轉(zhuǎn)軸137上的工件實(shí)現(xiàn)了所謂的定點(diǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)+行星轉(zhuǎn)動(dòng)+自轉(zhuǎn)。
[0055]實(shí)施方式二、定點(diǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)+自轉(zhuǎn)
[0056]同實(shí)施方式一，鎖定上齒輪112，驅(qū)動(dòng)下齒輪111，使上齒輪112固定，下齒輪111轉(zhuǎn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)定點(diǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)，傳動(dòng)部分12將動(dòng)力傳遞到從動(dòng)齒輪131。
[0057]與實(shí)施方式一不同，聯(lián)動(dòng)裝置136聯(lián)動(dòng)從動(dòng)齒輪131和太陽輪133，同時(shí)鎖定行星盤134在支撐桿135上。這樣，行星盤134和行星輪132均不存在繞著支撐桿135的行星轉(zhuǎn)動(dòng)。同時(shí)，由于太陽輪133與行星輪132嚙合，使得行星輪132保持自轉(zhuǎn)。最終，安裝在工件轉(zhuǎn)軸137上的工件實(shí)現(xiàn)了定點(diǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)+自轉(zhuǎn)。
[0058]實(shí)施方式三、靶基距的精確調(diào)整
[0059]以實(shí)施方式二的定點(diǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)+自轉(zhuǎn)為基礎(chǔ)，說明靶基距的調(diào)整方式。參見圖2、圖5和圖8，傳動(dòng)部分12的兩根懸臂124繞傳動(dòng)桿123旋轉(zhuǎn)以調(diào)節(jié)安裝角度。圖8從轉(zhuǎn)架裝置I的頂部俯視，展示了懸臂124的兩種安裝角度，其中可見行星盤134和最外側(cè)的行星輪132。點(diǎn)劃線圓203代表懸臂124在不同安裝角度情況下，工件安裝所在的行星輪132軸心做大公轉(zhuǎn)所形成軌跡。需要說明的是，點(diǎn)劃線圓203不意味著工件一定在做大公轉(zhuǎn)，只是表明工件可停留在大公轉(zhuǎn)軌跡上任意位置。依靠與上述實(shí)施方式二的結(jié)合，虛線圓203的半徑可以任意改變。圖8展示了對應(yīng)于不同的懸臂124安裝角度所形成的兩種點(diǎn)劃線圓203。理論上，虛線圓203的半徑可以在兩倍于懸臂124長度范圍內(nèi)精確改變。
[0060]鍍膜機(jī)內(nèi)的靶位可以在真空室側(cè)壁200上，安裝位置為201，也可以在真空室的中央202。那么，靶基距的變化可以用點(diǎn)劃線圓203的半徑變化表征。在圖8中，當(dāng)陰極安裝在真空室側(cè)壁201位置時(shí)，靶基距等于側(cè)壁安裝位201距離真空室中心的長度減去點(diǎn)劃線圓203的半徑。更大的圓環(huán)半徑意味著更小的靶基距；當(dāng)陰極安裝在真空室的中央202時(shí)，圓環(huán)半徑則變?yōu)榘谢?。此時(shí)，更大的半徑意味著更大的靶基距。如此，靶基距不但可以固定，還能在很大的范圍精確可調(diào)。
[0061]上述論述中，默認(rèn)真空室側(cè)壁200為圓桶狀。實(shí)際中真空室側(cè)壁200可以設(shè)計(jì)成多種形狀，并不僅限于本實(shí)例說明。真空室側(cè)面存在其它形狀的情況下，依然可以用點(diǎn)劃線圓203的半徑來衡量靶基距。
[0062]最后有必要在此說明的是，以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理和主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，基于本文論述轉(zhuǎn)架原理所做的其它變化，只要仍能達(dá)成上述的轉(zhuǎn)架功能，都應(yīng)包含在本文所保護(hù)的范圍內(nèi)。關(guān)于轉(zhuǎn)架裝置的各部分，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下，可以作出多種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都將落入本實(shí)用新型所要求的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種真空鍍膜機(jī)的轉(zhuǎn)架裝置，包括主架體部分、傳動(dòng)部分以及工件轉(zhuǎn)動(dòng)部分，所述工件轉(zhuǎn)動(dòng)部分能夠通過所述傳動(dòng)部分驅(qū)動(dòng)而轉(zhuǎn)動(dòng)，其特征在于: 所述主架體部分包括沿上下方向依次平行對置的頂板、上齒輪以及下齒輪，所述上齒輪和所述下齒輪通過支撐單元支撐，并且，所述上齒輪和所述下齒輪均具有用于通過驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)從而使得所述上齒輪或下齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)的外嚙合齒，所述支撐單元上設(shè)置有用以選擇性地鎖定所述上齒輪或所述下齒輪的鎖定部件，所述上齒輪與所述頂板之間通過多個(gè)連接桿連接； 所述傳動(dòng)部分包括多個(gè)通過軸承與所述頂板及所述上齒輪連接的傳動(dòng)桿，所述下齒輪還設(shè)置有內(nèi)嚙合齒，每個(gè)所述傳動(dòng)桿延伸至所述上齒輪下方并設(shè)置有與所述內(nèi)嚙合齒相嚙合的下傳動(dòng)齒輪。
2.如權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)架裝置，其特征在于:所述支撐單元的數(shù)量為三套，三套所述支撐單元沿所述上齒輪和所述下齒輪的圓周方向均勻分布。
3.如權(quán)利要求1或2所述的轉(zhuǎn)架裝置，其特征在于:所述支撐單元包括豎直設(shè)置的主體部，所述主體部設(shè)置有兩個(gè)分別朝向所述上齒輪下方與所述下齒輪下方延伸的延展部，位于所述上齒輪下方和所述下齒輪下方的所述延展部上均設(shè)置有支撐軸承。
4.如權(quán)利要求3所述的轉(zhuǎn)架裝置，其特征在于:所述鎖定部件為可移動(dòng)地設(shè)置于所述主體部上的兩個(gè)鎖定桿，其中一個(gè)所述鎖定桿可以通過移動(dòng)卡入所述上齒輪的外嚙合齒，另一個(gè)所述鎖定桿可以通過移動(dòng)卡入所述下齒輪的外嚙合齒。
5.如權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)架裝置，其特征在于:在所述傳動(dòng)桿上位于所述頂板與所述上齒輪之間的位置間隔設(shè)置有兩個(gè)懸臂，在位于所述兩個(gè)懸臂之間的所述傳動(dòng)桿上設(shè)置有上傳動(dòng)齒輪；所述工件轉(zhuǎn)動(dòng)部分包括設(shè)置于所述兩個(gè)懸臂的末端之間的支撐桿，在所述支撐桿上空套有與所述上傳動(dòng)齒輪嚙合的從動(dòng)齒輪，在所述支撐桿上位于所述從動(dòng)齒輪上方的位置還空套有行星盤，在所述行星盤的下方設(shè)置有空套于所述支撐桿的太陽輪，在所述行星盤的周邊通過軸承設(shè)置有多個(gè)與所述行星盤垂直的工件轉(zhuǎn)軸，所述工件轉(zhuǎn)軸的一端位于所述行星盤上方，用于安裝所述工件，另一端延伸至所述行星盤下方并設(shè)置有與所述太陽輪嚙合的行星輪；在所述從動(dòng)齒輪與所述行星盤之間的位置設(shè)置有聯(lián)動(dòng)裝置，所述聯(lián)動(dòng)裝置選擇性地連接所述從動(dòng)齒輪與所述行星盤或者連接所述從動(dòng)齒輪與所述太陽輪。
6.如權(quán)利要求5所述的轉(zhuǎn)架裝置，其特征在于:所述聯(lián)動(dòng)裝置的數(shù)量為三組，三組所述聯(lián)動(dòng)裝置沿所述行星盤的圓周方向均勻分布。
7.如權(quán)利要求5或6所述的轉(zhuǎn)架裝置，其特征在于:所述聯(lián)動(dòng)裝置包括固定于所述從動(dòng)齒輪上的基部，在所述基部上設(shè)置有可通過移動(dòng)將所述從動(dòng)齒輪與所述行星盤連接的第一銷釘以及可通過移動(dòng)將所述從動(dòng)齒輪與所述太陽輪連接的第二銷釘。
8.如權(quán)利要求5所述的轉(zhuǎn)架裝置，其特征在于:每個(gè)所述懸臂均可轉(zhuǎn)動(dòng)地套裝于所述傳動(dòng)桿上。
【文檔編號】C23C14/24GK203569179SQ201320778241
【公開日】2014年4月30日 申請日期:2013年12月2日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月2日
【發(fā)明者】林錫強(qiáng), 鐘雷, 徐路, 陳偉, 郎文昌, 劉偉 申請人:上海沃家真空設(shè)備科技有限公司