一種磁鋼裝置制造方法
【專利摘要】一種磁鋼裝置，包括具有一個N極和兩個S極的細長條磁鐵本體，關(guān)鍵是：在細長條磁鐵本體的下方增設(shè)一個固定管體，并在固定管體和細長條磁鐵本體之間設(shè)置至少兩個調(diào)節(jié)螺栓，調(diào)節(jié)螺栓穿過固定管體與細長條磁鐵本體的下端面連接。本實用新型的有益效果是，本產(chǎn)品既解決了磁鋼腐蝕的問題，同時也解決了磁鋼強度因工作環(huán)境溫度而引起的變化問題，滿足了膜厚均勻性的較高要求。
【專利說明】一種磁鋼裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種磁鋼裝置，適用在LOW-E鍍膜線、ITO鍍膜線、太陽能鍍膜線、玩具五金、卷繞等磁控濺射鍍膜設(shè)備，且在醫(yī)療、食品等行業(yè)也有廣闊的應用。
【背景技術(shù)】
[0002]傳統(tǒng)的磁控濺射鍍膜線所配陰極的磁鋼陣列結(jié)構(gòu)分為兩種，一種是在大氣狀態(tài)下通過銅板間接冷卻，另一種是直接浸泡在陰極冷卻水里。前者因磁鋼陣列冷卻不好，時間久后因溫度蠕變而失去磁性；后者因磁鋼直接浸泡在水里極易腐蝕而失去磁性，兩者均為固定安裝，前者通過在外部短路調(diào)整磁場均勻性，后者只能整體微調(diào)，調(diào)整范圍及其有限，沒有工藝調(diào)整價值；磁鋼的防腐決定磁鋼使用的壽命，磁鋼一旦腐化，補救起來十分困難。
[0003]傳統(tǒng)的兩種磁鋼陣列的防腐性皆不好，前者用鍍保護層，此保護層在有水狀況下基本上有半年的保護效果，后者是在磁鐵表面涂抹樹脂和其他材料隔離冷卻水，兩者均不能持久的防腐，使用半年后，磁鋼陣列會有不同程度的腐蝕，其磁場強度也在不斷的變化，無法滿足磁控濺射對磁場均勻性的要求，所以隔一段時間就要更換磁鐵，維護費用較高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實用新型的目的是為了利用可調(diào)均勻性和防腐磁剛陣列來保證真空鍍膜產(chǎn)品的膜厚均勻性，通過設(shè)計磁鋼的可調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)以及改變防腐措施來實現(xiàn)真空鍍膜產(chǎn)品的膜厚均勻性。
[0005]本實用新型采用的技術(shù)方案是，一種磁鋼裝置，包括具有一個N極和兩個S極的細長條磁鐵本體，關(guān)鍵是:在細長條磁鐵本體的下方增設(shè)一個固定管體，并在固定管體和細長條磁鐵本體之間設(shè)置至少兩個調(diào)節(jié)螺栓，調(diào)節(jié)螺栓穿過固定管體與細長條磁鐵本體的下端面連接。
[0006]在固定管體與細長條磁鐵本體之間的調(diào)節(jié)螺栓上還設(shè)置有鎖緊螺母。
[0007]所述的調(diào)節(jié)螺栓設(shè)置51個，且等間距設(shè)置。
[0008]所述的細長條磁鐵本體的N極和S極的外部分別包裹有不銹鋼方鋼體。
[0009]本實用新型的有益效果是，本產(chǎn)品既解決了磁鋼腐蝕的問題，同時也解決了磁鋼強度因工作環(huán)境溫度而引起的變化問題，滿足了膜厚均勻性的較高要求。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖2是圖1的左視圖。
[0012]I代表細長條磁鐵本體，2代表固定管體，3代表調(diào)節(jié)螺栓，4代表鎖緊螺母，5代表不銹鋼方鋼體。
【具體實施方式】[0013]一種磁鋼裝置，包括具有 Iv N極和兩個S極的細長條磁鐵本體I，關(guān)鍵是:在細長條磁鐵本體I的下方增設(shè)一個固定管體2，并在固定管體2和細長條磁鐵本體I之間設(shè)置至少兩個調(diào)節(jié)螺栓3，調(diào)節(jié)螺栓3穿過固定管體2與細長條磁鐵本體I的下端面連接。
[0014]在固定管體2與細長條磁鐵本體I之間的調(diào)節(jié)螺栓3上還設(shè)置有鎖緊螺母4。
[0015]所述的調(diào)節(jié)螺栓3設(shè)置51個，且等間距設(shè)置。
[0016]所述的細長條磁鐵本體I的N極和S極的外部分別包裹有不銹鋼方鋼體5。
[0017]本實用新型在具體實施時，磁場調(diào)節(jié)就是通過調(diào)整磁鋼整體向靶面靠近或遠離來改變靶面磁場強度，從而調(diào)節(jié)整體膜厚至產(chǎn)品的要求，依靠磁軛的變形來調(diào)整局部位置的磁場強度，我們采用把一條磁鋼分段調(diào)整的方式，是需要調(diào)整的局部能迅速的改變強度大小，對于不需要調(diào)整的地方維持不動。
[0018]具體制作時，細長條磁鐵本體I按照一定的順序在不銹鋼方鋼體5內(nèi)進行排列，完成后把不銹鋼方鋼體5封堵，從而達到細長條磁鐵本體I與不銹鋼方鋼體5外的任何介質(zhì)隔離的作用，無論腐蝕介質(zhì)是水或其他物質(zhì)，對于能腐蝕不銹鋼的特殊介質(zhì)，可以采用相應的材料加以防護。本實用新型能很快地調(diào)整磁鋼性能，達到真空磁控濺射膜厚均勻性的要求。防腐磁鐵方法的應用，保證了磁鐵性能的恒定，有效實現(xiàn)工業(yè)化的產(chǎn)品生產(chǎn)需求。
【權(quán)利要求】
1.一種磁鋼裝置，包括具有一個N極和兩個S極的細長條磁鐵本體(I )，其特征在于:在細長條磁鐵本體(I)的下方增設(shè)一個固定管體(2)，并在固定管體(2)和細長條磁鐵本體(I)之間設(shè)置至少兩個調(diào)節(jié)螺栓(3)，調(diào)節(jié)螺栓(3)穿過固定管體(2)與細長條磁鐵本體(I)的下端面連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磁鋼裝置，其特征在于:在固定管體(2)與細長條磁鐵本體(I)之間的調(diào)節(jié)螺栓(3 )上還設(shè)置有鎖緊螺母(4 )。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磁鋼裝置，其特征在于:所述的調(diào)節(jié)螺栓(3)設(shè)置5?8個，且等間距設(shè)置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磁鋼裝置，其特征在于:所述的細長條磁鐵本體(I)的N極和S極的外部分別包裹有不銹鋼方鋼體(5)。
【文檔編號】C23C14/35GK203602706SQ201320793161
【公開日】2014年5月21日 申請日期:2013年12月6日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月6日
【發(fā)明者】朱世元, 閆乃明 申請人:深圳市金耀玻璃機械有限公司